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山东大学感应耦合等离子体化学气相沉积 系统采购 招标文件 项目编号:SDSS20190121-F004 采购人:山东大学 代理机构:山东三阳项目管理有限公司 二一九年二月 山东大学感应耦合等离子体化学气相沉积系统采购 项目编号:SDSS20190121-F004

2 目录第一部分 诚信廉政承诺书

3

第一章 招标公告

4

第二章 投标人须知

6 投标人须知前附表

6

一、说明.

12

二、招标文件.12

三、投标文件编写.13

四、投标文件递交.18

五、开标与评标.19

六、授予合同.27

七、相关费用.27

八、质疑.27

九、保密和披露.29

十、解释权.30 十

一、其他.30

第三章 评分办法

31

第四章 采购内容及项目要求.33

第五章 合同授予

38

第六章 附件44 附件一:投标函

44 附件二:授权委托书

45 附件三:开标一览表

46 附件四:报价明细表

47 附件五:投标报价内供应的备品备件、易损件、耗材、专用工具价格表

48 附件六:投标报价外供应的备品备件、易损件、耗材、专用工具价格表

49 附件七: 技术条款响应一览表

50 附件八: 业绩一览表

54 附件九: 商务条款响应一览表

55 附件十: 投标人资格声明

57 附件十一: 投标人资格声明

58 附件十二: 无重大违法声明

59 附件十三:其他材料

60 附件十四:投标文件封面格式

61 山东大学感应耦合等离子体化学气相沉积系统采购 项目编号:SDSS20190121-F004

3 诚信廉政承诺书 为充分体现公开、公平、公正、诚信原则,共同维护招投标市场秩序,本单位在 参与招投标过程中特作以下承诺: 1.严格遵守国家及山东大学招投标管理规定,保证在招投标活动中无任何违规、 违纪、违法行为. 2.不以各种名目向招标单位、工作人员及其相关人员请客、送礼、赠送有价证券、 提供回扣和行贿等. 3.不以不正当手段向招标人谋取资格预审及投标的照顾. 4.不以提供不正当利益等方式向标底编制、审查人员打听标底编制情况. 5.在确定中标人前,不向评标专家打招呼谋求照顾,不与招标人就投标价格、投 标方案等实质内容进行. 6.不与招标人或招标代理机构或其他投标人串通投标,损害国家利益、社会公共 利益或者他人的合法权益;

7.中标后,不向招标单位及工作人员赠送感谢费、好处费等. 8.合同履行过程中不以任何形式及手段进行违规、违纪、违法活动. 9.所提供的一切材料都是真实、有效、合法的. 10.不在开标后进行虚假恶意投诉. 11.主动接受、配合山东大学招标采购管理中心及纪检监察部门的监督检查. 若违反上述承诺,愿接受相应处罚,直至追究法律责任. 承诺单位(盖章): 法人代表(盖章): 年月日(投标单位签章后作为投标文件的一部分) 山东大学感应耦合等离子体化学气相沉积系统采购 项目编号:SDSS20190121-F004

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第一章 招标公告 山东三阳项目管理有限公司受山东大学委托,根据《中华人民共和国政府采购法》 等有关规定,现对山东大学感应耦合等离子体化学气相沉积系统采购进行公开招标,欢 迎合格的投标人前来投标. 项目名称:山东大学感应耦合等离子体化学气相沉积系统采购 项目编号:SDSS20190121-F004 采购单位联系方式: 采购单位:山东大学 地址:山东大学中心校区明德楼 联系人:王老师;

联系

电话:0531-88366151 代理机构联系方式: 代理机构:山东三阳项目管理有限公司 代理机构联系人:孙志勇 ;

联系

电话:18605314089 代理机构地址: 济南市高新区舜华路

2000 号舜泰广场

6 号楼

2101

一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍: 采购项目名称:山东大学感应耦合等离子体化学气相沉积系统采购 数量:一套 基本概况介绍:该设备是微电子学院制备半导体器件的必备设备,用于生长 SiO2 和SiN 等薄膜材料,ICPECVD 是目前学校里购置的第一台同类设备.该设备生长 SiO2 和SiN 薄膜的工艺参数符合实验室需求,是目前实验室急需的设备之一,可用于半导体 器件的制备和研究. 本项目共分为

1 个包.允许投标人投报原装进口设备,投标人不得对所投货物和服 务分解后进行响应.本项目预算为人民币 208.00 万元(包含外贸相关费用).

二、投标人的资格要求: 1.具有本项目制造、供货或实施能力,响应并参加投标竞争的法人或其他组织;

2.国内企业参与投标应提供经年检合格的营业执照、税务登记证、组织机构代码证 (或三证合一的营业执照);

3. 核心产品或原装进口产品同一品牌只允许一家投标人参与投标,所投产品为进 口产品且投标人为代理商的,须出具制造商的合法授权书原件;

山东大学感应耦合等离子体化学气相沉积系统采购 项目编号:SDSS20190121-F004

5 4.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人,不得参加同一 合同项下的政府采购活动;

5.投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款的规定条件并按 《政府采购法实施条例》第十七条第一款的规定提供相关证明材料;

6. 在 信用中国 网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网 (www.ccgp.gov.cn)中被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采 购严重违法失信行为记录名单的投标人,不得参加本次政府采购活动. 7.本项目不接受联合体投标.

三、招标文件的发售时间及地点等: 预算金额:208.00 万元(人民币) 时间:2019 年2月28 日至

2019 年3月6日(北京时间,节假日除外),每日 9:00-11:

30、 13:00-16:00. 地点:济南市高新区舜华路

2000 号舜泰广场

6 号楼

2101 招标文件售价:$300.0 元,本公告包含的招标文件售价总和. 招标文件获取方式:凡有意参加投标者,请携营业执照复印件、法人授权委托书及 信用网站查询网页截图(以上材料加盖公章一套)到济南市高新区舜华路

2000 号舜泰 广场

6 号楼

2101 获取招标文件,未按上述要求报名,或者报名资料不全,招标代理机 构均不予发售文件.投标单位资料必须真实,严禁借资质参加投标. 本项目实行资格后审,获取招标文件成功不代表资格后审通过.

四、投标截止时间:2019 年3月21 日9:00

五、开标时间:2019 年3月21 日9:00

六、开标地点:山东大学中心校区明德楼 C804 会议室

七、其它补充事宜 本采购项目经核准允许采购进口产品. 本公告期限为自发布之日起

5 个工作日.

八、采购项目需要落实的政府采购政策: 《中华人民共和国政府采购法》及其实施条例等法律法规.

2019 年2月27 日 山东大学感应耦合等离子体化学气相沉积系统采购 项目编号:SDSS20190121-F004

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第二章 投标人须知 投标人须知前附表 本表是对 投标人须知 正文的具体补充和修改,如有不一致,以 前附表 为准. 序号 内容说明

1 项目名称:山东大学感应耦合等离子体化学气相沉积系统采购

2 项目编号:SDSS20190121-F004

3 采购人: 山东大学 联系人:王老师 联系方式:0531-88366151

4 代理机构:山东三阳项目管理有限公司 联系人:孙志勇 联系

电话:0531-82020101

18605314089 5 资金来源:已落实

6 投标人资格要求: 1.具有本项目制造、供货或实施能力,响应并参加投标竞争的法人或其他 组织;

2.国内企业参与投标应提供经年检合格的营业执照、税务登记证、组织机 构代码证(或三证合一的营业执照);

3.核心产品或原装进口产品同一品牌只允许一家投标人参与投标,所投产 品为进口产品且投标人为代理商的,须出具制造商的合法授权书原件;

4.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人,不得 参加同一合同项下的政府采购活动;

5.投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款的规定 条件并按《政府采购法实施条例》第十七条第一款的规定提供相关证明材料;

6.在 信用中国 网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(w ww.ccgp.gov.cn)中被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政 山东大学感应耦合等离子体化学气相沉积系统采购 项目编号:SDSS20190121-F004

7 序号 内容府采购严重违法失信行为记录名单的投标人,不得参加本次政府采购活动. 7.本项目不接受联合体投标. 注:1)采购代理机构将在本项目递交投标文件截止时间之前,在上述网站 上查询失信单位名单,凡被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、 政府采购严重违法失信行为记录名单的已购买本项目招标文件的投标人, 在评标 过程中的资........