PDF《真空用超声波驱动装置》

真空用超声波驱动装置 VPKAACT 可以在高真空腔内进行远程操作的低释气超声波驱动装置.

可以在高真空腔内进行远程操作的低释气超声波驱动装置. W8020 VPKA-C1805 ?如需要与您使用的平台或镜架等组合使用,请咨询. ?如需改变前端端面形状,请咨询. ?如需与真空用镜架VMHG系列组合使用,请咨询定制球头规格. 外形图 VPKA-13ACT/VPKAS-13ACT与PKA-ID-02连接电缆 Option 技术指标 型号 VPKA-13ACT VPKAS-13ACT 行程[mm]

13 分辨率[μm] 0.5mm/sec 自重[kg] 0.2kg 0.1kg 具有小型化,行程13mm,速度可达0.5mm/sec. 运动部使用了高级真空油脂(BARRIERTA SUPER IS/V). 技术指标 型号 DS3-CA-SG-2.5 电缆长度[m] 2.5 VPKA-13ACT VPKAS-13ACT http://www.global-optosigma.com/cn/ 东京总部 邮政编码130-0021 日本 东京 墨田区 绿1-19-9

电话:+81-3-5638-8228 / 传真:+81-3-5638-6550 真空特性评估 ?出气量 测试装置概要 排气装置 种类:涡轮分子泵 型号:STP-301 制造商:精工精机(现:Edwards) 排气速度:300 ?/s 质量分析仪 种类:四极质谱分析仪 型号: QME200 原子质量数范围:1~200 制造商 :PFEIFFER社制造 电导调制法是通过测量真空装置的电导值变化,评估排气量或真 空度的一种方法.常被用于测量评估出气量随时间的变化情况, 或进行不同产品的出气特性的比较实验. 控制器接口的管脚定义(PKA-ID-02) Axis1,Axis2接口 号码 名称 号码 名称

1 A脉冲 输出+

4 B脉冲输出-

2 A脉冲 输出-

5 -

3 B脉冲 输出+

6 - 驱动装置 线缆 管脚定义 (PTFE 线缆) 号码 电缆 名称

1 茶 A脉冲 输出+

2 黑 A脉冲 输出-

3 蓝*4 B脉冲 输出+

4 红*4 B脉冲 输出- 线缆 管脚定义 (DS3-CA-SG-2.5) 号码 名称 号码 名称

1 A脉冲输出+ (橙黑)

4 B脉冲输出- (灰红)

2 A脉冲输出- (橙红)

5 -

3 B脉冲输出+ (灰黑)

6 - ?真空腔内的真空度 型号 放出气体量(排气40分钟后) 【Pa?m3/s/unit】 VPKA-13ACT 7.78*10?? VPKAS-13ACT 3.65*10?? 插头 HR10G-7R-6S (广濑电机(株)) 插头 HR10A-7P-6P(广濑电机(株)) http://www.global-optosigma.com/cn/ 东京总部 邮政编码130-0021 日本 东京 墨田区 绿1-19-9

电话:+81-3-5638-8228 / 传真:+81-3-5638-6550 1.00E7 1.00E6 1.00E5 1.00E4 1.00E3

10 100

1000 时间[min] チャンバ`空VPKA13ACT VPKAS13ACT 1*10?? 1*10?? 1*10?? 1*10?? 1*10?

3 真空度 〔pa〕 腔内空