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!"模板层对 ,- +% 薄膜 的铁电性能增强效应的研究! 王秀章! 刘红日 (湖北师范学院生化分析技术湖北省重点实验室, 湖北师范学院物理系, 黄石 "#$%%&) (&%%' 年(月)% 日收到;

&%%' 年*月)# 日收到修改稿) 通过 +,-.

/0- 法在

12 ())))基片上分别制备了 34526# (356) 底电极和 34526# 734%8# 19%8( :26# (356731:6) 底电极;

然 后采用 +,-./0- 方法, 在两种衬底上分别制备了 9%8$ :2%8$ ) 6# (:) 铁电薄膜;

?@A 分析表明, 两种 : 薄膜均具 有钙钛矿结构, 且在

356 底电极上的 : 薄膜呈 ()%%)择优取向, 而在 356731:6 底电极上的 : 薄膜呈随机取向;

铁电性能测试表明, 相对

356 衬底上制备的 : 薄膜, 在356731:6 底电极上制备的 : 薄膜的剩余极化强度得到 了有效的增强, 同时矫顽场也增大;

介电常数和漏电流的测试表明, 356731:6 底电极上制备的 : 薄膜具有大的 介电常数和漏电流;

关键词:: 薄膜,铁电性,漏电流,34%8# 19%8( :26# ,011:(($$,((B%,B))$ !湖北省教育厅重大科技项目基金 (批准号: , 黄石市科技攻关计划项目基金 (批准号: 黄科技发成 [&%%'] )B 号) , 湖北师范学院 研究生启动基金 (批准号: &%%"C%") 等资助的课题 ;

! D.E42-: FGHI*)J +,IK;

L,E )8 引言近年来, 铁电薄膜由于其在存储器、 光电器件等 领域 的潜在应用, 而得到了广泛研究与极大关注[)―'] ;

人们在制作上述各种铁电器件时, 普遍采用 ! ' 的067 比为 (?;

) , 搅拌使溶解, 然后加入适量的 @ ')

5 , 搅拌 +- 0&1 使溶解, 最后加入适量的冰乙酸, 得到 -"( 067/# 的 溶液) 然后将上述溶液采用旋转甩胶法 (2A&18B6$C&19) 在*& (+++) 衬底上制备 过渡层) 具体制 备方法是将 前驱体溶液滴在 *& (+++) 衬底上, 然后以 ,--- ./0&1 的转速匀胶, 匀胶时间为 !- 2, 匀胶后的薄膜放在快速热退火炉中在 (4- 3预 退火 ( 0&1, 然后在 ( 0&1 内升到 ,4- 3, 再退火 ( 0&1)以上过程共重复 , 次获得一定厚度的 ! ' 和E. (%'( ) 5・4>! ' 以及 @ ')

5 为原料, 以乙二醇甲醚为溶剂, 冰乙酸为稳定剂制备)称取适 量的 DF ! ・ (>! ' 加入 (-

07 乙二醇甲醚, 在 烧瓶中回流 (- 0&1;

同时称取适量的 E. (%'( )

5 ・ 4>! ' (与DF ! ・ (>! ' 的物质的量比为 +?!, 加入 +-

07 乙二醇甲醚加热溶解, 量取适量的 @ ')

5 (与DF !・(>! ' 的物质的量比为 + ? !) , 溶于+-

07 的乙二醇甲醚中) 将上述 ( 种溶液混合搅 拌, 然后加冰乙酸将溶液浓度调至 -"( 067/#) 将制备的 DE< 前驱体溶液采用旋转甩胶法分 别在 #%'/*& 衬底和 衬底上制备 DE< 薄膜)具体制备方法是将 DF (E.-"4

1 P, #" Q P, H"G R P, &@G> S Q 366A %-12

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?) [曾华荣、 李国荣、 殷庆瑞、 唐新桂 366A 物理 学报 #& 5C4A] [2] T@G> R,!F?G

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?) [郑分刚、 陈建平、 李新碗 366, 物理学报 ## A6,C] [55] #" L V,H@< S 366+ %-12

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?) [李建 康、 姚熹366+ 物理学报 #' 3JA4] [53] #" / N,TI N,#"I - R 5JJ4 7).0 ,8'.9 A4, J A C

5 A 期 王秀章等:#@6:A !B6:C &"%A 模板层对 )D (-B6:+ &"6:+ ) %A 薄膜的铁电性能增强效应的研究

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