编辑: 霜天盈月祭 2013-11-09

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26 行业研究行业周报 领域成长速度最快,一季度定单约 9,640 万美元,环比上涨 242.1%,同比上涨 373.7%. 这得益于

2016 年11 月和材料加工的激光器研发与制造领导者罗芬公司(Rofin-Sinar) 的收购以及医疗设备端的需求量的增加.而其他应用端,如仪器设备与元件代工(约4690 万美元,同比增 56%) 、科研(约3480 万美元,同比增 3.1%) .

2016 年是 Coherent 成立

50 周年,在2016 年年底如此优秀的业绩也让我们看到了市 场对公司激光技术,尤其是其中 ELA 系统技术的认可.同时也看到了因下游平板显示 市场需求端的增长所联动而来的的上游激光技术领域的腾飞. Coherent 激光技术于平板显示的运用 微电子、仪器设备与元件代工、 材料加工和工业应用、科学研究和政府项目是 Coherent 公司专研的四大领域,其中微电子领域的技术最为出彩,在四大领域中带来的经济效益 也最高.而微电子业务又可细分为三个板块:平板显示器制造(FPD) 、先进封装互联 (API)和半导体前端制造技术(SEMI) .在FY2017 第一季,平板显示(FPD)成为驱动 公司利润高速增长的引擎,这与其息息相关的准分子激光退火技术密不可分. 准分子激光退火技术(ELA)介绍 随着智能手机、平板电脑、手提电脑、电视和可穿戴设备的需求激增,平板显示器(Flat Panel Display, FPD)的制造商不得不面临着日益严苛的要求,例如更高的分辨率、增 强的对比度、更快的响应时间,同时还要降低显示器的功耗.这些要求超出了常规显示 屏(非晶硅背板)的性能极限.平板显示器如果配备高密度的多晶硅薄膜晶体管,显示 性能大大增强,但过去这些多晶硅层只能在高温下昂贵的特殊玻璃上生产. 现在准分子激光退火技术(ELA)使在传统的玻璃基板上大批量生产低温多晶硅(LTP)变 成可能,同时还能在塑料基板上的生产柔性显示器.准分子激光退火技术促使平板显示 屏制造业从非晶硅转变到多晶硅背板,能提高电池寿命,降低生产成本,赋予显示屏更 优越的亮度和分辨率,不论是对于传统的 LCD 还是市场的新宠 OLED 的制造都是绝佳 选择. 图3:晶体随机垂直生长原理(左)和ELA 工艺中的典型晶粒模式(右) 资料来源:工业激光解决方案,长江证券研究所 目前这款应用的最先进的产品是 Coherent 的准分子 VYPER 激光器. 它能在 308nm 处 保持

1200 瓦的输出,具有高度的能量稳定性.两束完全同步的脉冲激光通过外部光束 混合器合成输出

2 焦耳的激光脉冲.VYPER 激光器使 LTPS 显示器制造商能够从目前 请阅读最后评级说明和重要声明

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26 行业研究行业周报 的第 5.5 代面板无缝转向第

6 代,显著提高产量.VYPER 的先进设计和能力支持直至 第八代的设计,从而使制造商也能满足未来严格的成本目标. 图4:VYPER 激光器(含参数) 图5:双生 VYPER 激光器(TwinVYPER,含参数) 资料来源:Coherent,长江证券研究所 资料来源:Coherent,长江证券研究所 这些技术是当前 LTP 智能手机显示屏制造过程中不可或缺的一部分. 如此制造出的显示 屏的分辨率可达

300 像素/英寸(PPI),甚至高端智能手机的 PPI 大于 500.准分子激 光退火技术促使平板显示屏制造业从非晶硅转变到多晶硅背板, 它同样适用于制造新兴 的OLED 显示屏以及柔性显示屏. ELA 技术的应用 在盈余电话会议上,Coherent CEO John Ambroseo 强调 ELA 成熟的系统和服务使得 公司平板显示相关订单在第一季度表现强劲,未来也将交付给更多个国家的客户使用. 终端客户现在依然在持续输出 LTPS LCD 显示屏,但是其对 OLED 爆发式的需求增长 更是不容小觑.Coherent 目前几乎所有的此类激光工具的设计都是用于柔性 OLED 的 生产订单. 除了前端 ELA 加工,市场上如今出现越来越多以激光为基础的后端平板显示应用程序, 如手机听筒激光打孔、手机 home 键激光切割等.这些应用的特定需求也将会带来大量 订单.Coherent 称,目前这些后端特殊应用的需求实现好于其

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