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附件:东莞市首台(套)重点技术装备推广应用指导目录 (2018 年版) 东莞市经济和信息化局
2018 年7月26 日 (联系人:林建荣,联系
电话:22328770) -1- 附件4: 东莞市首台(套)重点技术装备推广应用指导目录 (2018 年版)
2018 年7月-2- 1.电子及医疗专业装备 编号 产品分类及名称 单位 产品性能技术参数 1.1 电子专用设备 1.1.1 超短脉冲(皮秒)激光切割机 台1.切割精度:±20 μ m;
2.切割厚度:≤1mm(非金属);
3.最大加工尺寸:650*550mm;
4.平台定位精度:±3μ m;
5.平台重复定位精度:±1μ m;
6.激光功率:≥30 瓦;
7.激光频率:≥1.2MHz;
8.激光脉宽:≤10ps. 1.1.2 全自动高速 PCB 封装点胶机 台1.重复定位精度:±0.01mm;
2.点胶速度每次完成点胶时间≤1ms;
3.点胶量误差≤±5 %;
4.工作速度:每分钟最大点胶数
60000 点,最大工作速度 1000mm/s;
5.最大移动速度:1200mm/s;
6.最小点胶直径 0.3mm;
7.智能系统,包括 SPC 分析系统及 MES 系统模块. 1.1.3 锡球高速精密激光微焊设备 台1.焊接范围 180*200mm;
2.适用锡球直径规格:?760μ m 、?600μ m、?500μ m;
3.焊接工作台
2 个;
4.定位精度:±0.007mm;
5.焊接工作高度范围(0~20)mm;
6.激光适用能量范围 0.2J~1J;
7.焊接速度:(0.5~0.7)s/pcs. -3- 编号 产品分类及名称 单位 产品性能技术参数 1.1.4 宽幅高速双层挤压涂布机 台1.幅宽:1150mm;
2.速度:≥80m/min;
3.双面对齐度:≤±0.25mm;
4.卷径:≥?1200mm;
5.面密度误差:≤±1%;
6.油加热、蒸汽加热可选. 1.1.5 柔性线路板对位机 台1.重复定位精度:±0.005mm;
2.贴合精度:±0.01mm;
3.CCD相机应用数量:4套;
4.最大适用基材尺寸:250mm*500mm. 1.1.6 双轨式垂直连续电镀铜生产线 套1.过板厚度: 软板 0.036mm~1.2mm,硬板 0.05mm~5.0mm;
2.过板尺寸: 最小:250mm*250mm,最大 622mm*730mm;
3.电镀铜均匀性:COV≤3.5%;
4.深孔能力: 通孔 ?≥0.1mm,盲孔 ?≥0.05mm, 5.填孔能力: 盲孔 ? 0.05mm,AR1:1 TP≥90%. 1.1.7 高速高精固晶机 台1.固晶效率:UPH≥14K;
2.固晶精度:X、Y 方向:位置≤±25μ m;
角度:≤±3°;
3.固晶压力:(0.1~0.3)N 可调;
4.芯片尺寸:0.5mm*(0.5~8)mm*8mm;
5.晶圆处理能力:≤8 寸晶圆;
6.基板处理能力:长(50~300)mm,宽(15~110)mm. -4- 2.成形及加工专用装备 编号 产品分类及名称 单位 产品性能技术参数 2.1 数控机床及系统 2.1.1 高精密陶瓷加工中心 台1.主轴最大转速≥36000 rpm ;
2.X/Y/Z 轴行程≥500 x
400 x 250mm;
;
3.X/Y/Z 轴最快进给速度≥30m/min ;