编辑: 颜大大i2 2015-05-03

1500 万元, 严重制约了国 内LED 产业自主化发展. MOCVD 作为一个战略性新兴产业的重 大、 核心装备而言, 如果完全依靠进口, 从整个 产业安全的角度来考虑不是十分妥当的. 李晋 闽表示. 自主研发 MOCVD 重大装备凸显重要性. 半导体所在漫长的研发过程中,跨越了无数技 术难关. 在 九五 期间, 半导体所设计研制了一台 适合 GaN 材料生长的 MOCVD 研究型设备, 一次可外延生长一片

2 英寸外延片. 十五 期间, 在

863 计划的支持下, 半导 体所研制出可一次生长

3 片2英寸外延片的 MOCVD 设备样机. 之后至

2009 年, 在国家

863 计划的支持 下,半导体研究所研制成功国内首台

7 片MOCVD 小型装备,同时进行了批量外延材料 工艺验证, 为后续开展大型产业用 MOCVD 装 备的研制奠定了技术基础. 虽然研制过程艰辛,却让半导体所收获不 浅: 掌握大量关键技术和制造经验.至此, 半导 体所有底气进行产业化. 花落粤之地 带着自主知识产权与丰富的研发制造经 验,

2009 年, 时任半导体所所长的李晋闽带队走 出去, 为MOCVD 项目寻找产业化合作伙伴. 半导体照明在国内的产业基地主要集中在 珠三角和长三角两个区域.前者更多集中了该 产业链下游的封装应用层面;

后者则更多关注 高端外延芯片. 在这两个区域,李晋闽和同事们在一年多 时间里跑了数十座城市. 甚至, 他们一度还考虑 过有工业基础底子的东北地区. 为了给 MOCVD 重大项目寻找到最适合 的合作伙伴, 李晋闽与同事们算过一笔账: 一台 生产型的 MOCVD 设备,大概要超过

2000 万 元人民币;

要形成一定规模的产业,至少需要 10~20 台设备. 因此, MOCVD 设备在整个生产 线的配置上要占到 50%~60%的投资量. 此外, 除了地方政府的支持政策、 企业自身 的创新能力等问题,企业自身科研投入的资金 实力也是一个重要的衡量标准. 那段时间,广东省希望改变其一直处在中 下游低端产业的布局形态,着眼于向外延高端 延伸, 他们在寻找科技成果落地. 因此,当广东地方政府得知半导体所的 MOCVD 项目后,迅速向时任广东省委书记汪 洋作了汇报. 李晋闽回忆道, 汪洋非常重视此事, 并特意 向中科院写了一封信, 在信中,广东省政府表 示了强烈的合作愿望,希望中科院半导体所的 技术落地广东. 他说. 时任中科院副院长白春礼也非常支持中科 院半导体所的技术落户该省,支持广东半导体 照明这一战略性新兴产业的发展,更进一步优 化广东省的产业布局. 无巧不成书.最终,半导体所的 MOCVD 项目落户广东省. 在重大核心装备的研发过程中,特别是 研发到产业的过渡过程中,科研院所走出去 与企业对接是至关重要的一环. 有了这一环 节, 才有了真正的成果转移转化.这个过程也 可以总结为一代装备产生一代材料,一代材 料产生一代器件, 一代器件带来一代应用. 李晋闽说. 记者在采访中感到, 科研成果产业化过程 中, 科研团队遇到的难题不是长期出差外地的 辛苦,也不是南方湿热环境带来的不适应, 而 是一些来自人才与产业化环境的难题. 例如, 中科宏微缺乏专业产业化人才. 尽管 半导体所的科研人员在科技和工艺方面具备深 厚功底,但是大型设备制造却不仅需要相关技 术, 更需要设备、 装备制造、 产业化管理等多方 面能力, 这些正是专业科研人员所欠缺的. 为此, 中科宏微在国内外引进了几位大型 工业制造、 管理方面的人才, 完善团队力量. 但是,对于国内竞争逐渐激烈的MOCVD设 备市场而言, 企业需要不断补充有实战经验的 人才, 如此才能有所应对. 另外,配套产业环境也尚需时日才能构 成、 不断完善. 比如, 一些MOCVD的重要部件是非标产品, 半导体所的科研人员必须自己设计、自己加 工, 时常面临缺乏相关产业链的支持. 有时候, 这些厂商面对数十万元做一个部 件的订单却犹豫不决, 接还是不接? 如果接了订 单,既没有其他产品可模仿又没有生产经验可 参考, 万一生产不出对方想要的部件怎么办? 面对这样的情况, 我们只能寄希望于双方 不断磨合, 共同成长. 在这个过程中, 希望越来 越多的配套厂商看到未来光明的 MOCVD 装备 产业,从而使产业配套大军的队伍不断壮大, 推动 MOCVD 装备产业与 LED 产业的发展. 创业 一封来信促成一段 佳缘 姻本报记者 杨琪 有效载荷数据处理单元, 是 天宫一号 空 间应用系统的核心组成部分之一,北京国科环 宇空间技术有限公司 (以下简称国科环宇) 承担 了这一部分的研发工作. 国科环宇是隶属于中国科学院的高新技术 企业, 为航天、 航空和军用领域, 提供电子学产 品及系统解决方案. 齐伟刚是这里的研发总监, 他在接受 《中国科学报》 记者采访时表示: 我起 初创业时只是做普通的财务软件,从未想过自 己的产品会 '

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