PDF《FSM Series》

1152 FSMSeries ! 黑 (信号线) 茶 (电源+) 蓝 (电源-) 模拟输出型 FSM-A- - V S G 分离显示器蓝黑(OUT1) 茶主回路输出短路 保护回路 白(OUT2) 灰 模拟输出 F.

G. 负荷 负荷 负荷 茶 输出短路 保护回路 F.G. 蓝黑(OUT1) 主回路白(OUT2) 灰 模拟输出 负荷 负荷 负荷

1 模拟输出特性

2 内部回路及负荷连接例子

0 F.S.流量

1 5 流量( /min) 模拟输出 (V) 主回路主回路灰线(模拟输出) 茶线(电源+) 黑线(开关输出) 白线(开关输出) 蓝线(电源-) max50mA 负荷 负荷 负荷 蓝线(电源-) 灰线(模拟输出) 负荷 负荷 负荷 茶线(电源+) 黑线(开关输出) 白线(开关输出) 蓝线(电源-) 负荷 茶线(电源+) 黑线(模拟输出) 主回路max50mA max50mA max50mA 输出短路保护回路输出短路保护回路(注) 超过流量范围情况下,最高8V输出. 要解除短路保护,可切断供给电源, 或补正配线错误后再接通电源. 要解除短路保护,可切断供给电源, 或补正配线错误后再接通电源. FSM-N 显示器型 NPN输出 FSM-A 模拟输出型 (注) 金属本体(不锈钢本体、铝合金本体)型,请将本体与电源正极或负极连接的装置F.G.连接. 另外F.G.连接状态中请不要进行绝缘阻抗・耐压试验.否则有可能会被损坏或烧损. FSM-P 显示器型 PNP输出 模拟输出型连接方法 FSM-A 分离显示器 NPN FSM-A 分离显示器 PNP FSM- - 内容电源DC12 24V 0V GND 模拟输出

1 5V OUT1 max50mA OUT2 max50mA 电线颜色 茶蓝黑内容电源DC12 24V 0V GND 模拟输出

1 5V 电线颜色 茶蓝灰黑白电线颜色 茶蓝灰黑白内容电源DC12 24V 0V GND 模拟输出

1 5V OUT1 max50mA OUT2 max50mA

1153 流量传感器小型空气氮气用冷冻式 干燥机 干燥剂式 干燥机 高分子膜式 干燥机 空气 过滤器 其它 排水器 F.R.L 组件 F.R.L 分类 小型F R 精密R 净化 F R 电空R F.R.L 相关元件 速度 控制器 消声器 止回阀 其它单向阀 管接头 气管 真空F 真空R 真空发生器 真空辅助 设施 衬垫 吸盘 机械式 压力开关 电子式 压力开关 电子差压 开关 着座 密合 确认开关 空压传感器 紧固用 压力开关 小型流量 传感器 流量 传感器 全空压系统 (全空压系统) 全空压系统 γ 循环式 水冷却装置 水用流量 传感器 ! FSM Series 压力损失特性 FSM- -005- FSM- -010- FSM- -050- FSM- -100- FSM- -200- FSM- -500- FSM- -101-

0 0.1 0.2 0.3 0.4 流量 /min

0 0.7 0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0.5 0.3MPa 0.1MPa 0.07MPa 0.3MPa 0.1MPa 0.3MPa 0.1MPa 0.3MPa 0.1MPa 0.3MPa 0.1MPa 0.07MPa 0.3MPa 0.1MPa 0.07MPa 0.3MPa 0.1MPa 0.07MPa 压力损失 kPa

0 0.2 0.4 0.6 0.8 流量 /min

0 1.6 1.4 1.2

1 0.8 0.6 0.4 0.2

1 压力损失 kPa

0 1

2 3

4 0

5 4.5

4 3.5

3 2.5

2 1.5

1 0.5

5 压力损失 kPa

0 2

4 6

8 0

5 4.5

4 3.5

3 2.5

2 1.5

1 0.5

10 压力损失 kPa

0 4

8 12

16 流量 /min

0 5 4.5

4 3.5

3 2.5

2 1.5

1 0.5

20 压力损失 kPa

0 10

20 30

40 0

18 16

14 12

10 8

6 4

2 50 压力损失 kPa

0 20

40 60

80 0

25 20

15 10

5 100 压力损失 kPa 流量 /min 流量 /min 流量 /min 流量 /min

1154 FSMSeries ! FSM系列的测量原理 FSM系列采用硅微型加工技术的白金传感芯片 3mm 7mm 加热部分与硅基板绝热,热容量非常小,高速响应高灵敏度. 如图所示加热部分与含环境温度传感器部分电桥组合,相对于环境温度传感器可使加热器的温度保持一定的温度差.加热器的材料使用了阻抗值 与温度变化成正比的白金.气体流动时,为了补充被加热器夺走的热量(使加热器保持一定的温度差),电桥回路输出(电压)与流量成正比上升.使用 该控制方法可检测不容易受温度变化和压力变化影响的流量.另外该控制方式适合检测较大流量. Vout 7mm FLOW 3mm 传感芯片 加热器 环境温度传感器 电极 加热器 环境温度传感器 !"# !