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5 项专 利外, 还获得一 种通过加曝图 形制作掩模板 的方法

1 项发 明专利

9 激光修补图 形缺陷技术 修(ZAP 激光祛除黑缺陷)/补(LCVD 激光化学气相沉积补白 缺陷)最小尺寸:2?m/3?m;

精 度达到 0.16?m/0.45?m. 该技术属国内先进. 缺陷修补 自主 研发 获得激光气相 沉积方式修补 白缺陷的方法、 一种铬版修补 胶及采用该铬 版修补胶修补 铬版白缺陷的 方法

2 项发明 专利和........