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3 除了满足高级器件的生产检测需求,eS30还具备了65-纳米和以下先进工艺开发所需的灵敏度.完备的像素 范围选择使得工具的操作员能够在生产力和灵敏度之间找到最佳的平衡,以获得最优化的检测结果.改进的成 像灵活度使得eS30能够检测出各种层上的关键缺陷,包括SOI(绝缘体上硅晶圆)以及低k电介质层等. KLA-Tencor 晶圆检测、审查和分析部的执行副总裁Rick Wallace 表示: 对领先的芯片制造商而言,当务 之急是开发次130-纳米工艺以满足量产需求,电路在线监控将是制造商的生产缺陷管理策略中不可缺的一环, 并将在制造商达成良率和收益率目标过程中扮演重要的角色.我们最新推出的产品eS30,克服了生产力和拥有 成本的顾虑,这是一直以来存在的制约电子束检测在生产中实践应用的障碍.正在规划先进生产厂的客户已经 考虑安装多台电子束系统以用于电路在线监控.当这些芯片制造商进行量产时,光学和电子束检测工具将整合 为一体的组件,构成有效的生产监控策略. KLA-Tencor 目前正在接受eS30 系统的订单.业界领先的几个300-mm晶圆制造商已经在他们的生产厂安装 了eS30系统 ,用于生产的在线监控. 编者注释:Note to Editors: 欢迎随时查询关于 KLA-Tencor eS30 技术的更多信息. KLA-Tencor 公司简介:KLA-Tencor是全球领先的专为半导体制造和相关行业提供工艺过程控制和产出管 理解决方案的供应商.公司总部设在美国加利福尼亚州圣何塞,在世界各地设有销售和服务机构.KLA- Tencor 公司被S&

P评为全美

500 强企业之一.KLA-Tencor 公司在 Nasdaq 上市交易,交易代码 KLAC.欲 了解更多信息,请访问公司网站http://www.kla-tencor.com. ### eControl 是KLA-Tencor 的注册商标. ........