PDF《多功能蒸发控制模块》

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气体/液体质量流量计/控制器(MFM/MFC) Bronkhorst High-Tech B.

V.,专注于提供质量流量控制解决方案, 具有多年的丰富经验,且应用广泛,如:半导体、化工和太阳能 等行业.仪表壳根据客户的需求定制,可适用实验室、工业系统 或OEM系统安装的要求.Bronkhorst?热式流量计/控制器为惰性 气体和反应器气体提供高精准、高重复性的控制,其量程范围从 0.7 mln/min 到10000 m3 n/h (满量程).Bronkhorst基于热式传感器 的液体流量计/控制器,用于较小流量,其范围从75 mg/h 到20 kg/h;

基于科氏传感器的则用于较大流量,量程范围从50 mg/h 到600 kg/h. >

蒸发混合配比控制 作为传统发泡系统的现代完美替代方案,Bronkhorst于90年代中期 推出了蒸发混配控制系统,即CEM系统.该创新的蒸发解决方案是 基于一台液体流量控制器、载气控制器和温度控制来实现蒸发混配 的.此蒸发解决方案的特点是精度高、复产高效、响应快速,对工 况温度和压力要求不高.CEM技术在分析应用、镀膜系统和反应器 加湿等领域有很多成功的应用案例. >

多功能蒸发控制模块 集成CEM系统和更多组件后,Bronkhorst推出了创新的VDM系列 产品.VDM系统具有一体化结构,和多合

一、多功能的特点. 除了集成气液控制器和温度控制蒸发器之外,VDM系统还集成了 1,8 TFT数字显示模块和相关控制功能模块.另外,增加了就地或 远程加热温度控制的监控可选功能.即插即用又小巧的VDM模块 可产生(饱和)蒸汽,其流量范围从50 mln/min 到10 ln/min.可 用于大气或真空工艺,可蒸发混合物,甚至溶于溶剂中的固体. >

特性 u 提供稳定而精准的蒸汽质量流量 u 快速响应 u 复产高效 u 可处理水、溶剂、液体混合物 u 灵活多变的气液比 u 工作温度低于传统发泡系统 u 经实践验证的蒸发方式 u 无需设计或生产经验 u 预测试,安全可靠 u 本地或远程控制(RS232 / FLOW-BUS) u 读数/控制面板,包括1,8 TFT显示器、报警/信号和计数功能 >

可选项 u 双载气供应 u 稀释气体供应 u 监控加热温度控制,带状态指示 多功能蒸发控制模块 >

技术参数 测量/控制系统 气体流量范围(入口) : 0,05…10 ln/min carrier gas* 液体流量范围(入口) : 0…120 g/h water, precursor fluid, etc.* 蒸汽流量(出口) : 0,05…10 ln/min* 入口压力 : up to

10 barg* 出口压力 : vacuum…5 barg* 环境温度 : 5…40 ?C 加热器最高温度 :

200 ?C * 以订单为准 机械部件 进气口 or

6 mm OD compr. type or ? face seal male 进液口 or

6 mm OD compr. type or ? face seal male 蒸汽出口连接件 : ? tube (other on request) 吹扫出口 : ? OD compression type or ? face seal male 接液材质 : SS316, Viton/Kalrez seals, Kalrez plungers 电气性能 显示 : 1.8 (TFT technology) 交流(主)电源入口 : IEC 60320-1/C20 male socket with on/off switch, 230V / 115V;

50Hz / 60Hz 能耗情况 : max.

250 VA;

add

300 VA for optional tracing control 电气连接 : FLOW-BUS (2 x RJ45 connector) or RS232 (1 x 9-pin sub-D connector) Optional: Pt100-connection (1 x 4-pin M12 male, a-coded) Optional: IEC 60320-2-2/C13 female tracing outlet 注:VDM模块配备热式或科氏MFM/MFC或整合这些仪表以实现气液流量控制. 技术规格和尺寸(如有)变更,恕不另行通知. >

容量 典型应用:优化太阳能电池镀膜的光伏性能 >