PDF《建设项目环境影响报告表》

4 表1-1 项目主要原辅材料情况表 表1-1 项目主要原辅材料情况表 名称 组分、规格 状态 使用量 kg/a 来源 最大存储 量 包装方式 储存位置 储存 条件 运输 方式 现有 此次技改 增加 技改后全 厂 晶圆 二氧化硅(11g/片、直径 150mm) 固态 772.2 77.22 849.42 外购 15kg 盒装 原料仓库 常温 汽车运输 晶圆 PZT 压电陶瓷(25g/片,含 质量 0.05%铅) 固态 60.1 6.01 66.11 20kg 盒装 原料仓库 常温 PZT 锆钛酸铅 固态

0 10

10 20kg 盒装 原料仓库 常温 丙酮 99.9% 液态

23000 2300

25300 2000kg 50L 铁桶装+加仑桶装 甲类化学品仓 常温 硝酸 95% 液态

2304 230.4 2534.4 150kg 50L 桶 化学品仓库 常温 缓冲氧化刻蚀液 BOE 8.2%氟化铵、 33-35%氢氟 酸、水43.2%~58.5% 液态

15000 1500

16500 1200kg 200L 桶装 化学品仓库 室温 铝蚀刻液 磷酸 80%、醋酸 15%、硝酸5% 液态

2000 200

2200 1700kg 200L 桶装 化学品仓库 室温 双氧水 30% 液态

20160 2016

22176 4500kg 50L 桶装+加仑桶装 甲类化学品仓 常温 异丙醇 99.5% 液态

33984 3398.4 37382.4 5000L 200L 桶装+加仑桶装 甲类化学品仓 常温 BPC1000 二甲亚砜、乙醇胺、四甲 基氢氧化铵 液态

1340 0

0 300kg 20L 桶装 化学品仓库 室温 EKC 清洗液

5 %乙醇胺、25 %异丙醇 胺、25 %羟胺、水45% 液态

2880 134

1474 1000kg 200L 桶装 化学品仓库 室温 硫酸 75% 液态

17280 288

3168 3500kg 200L 桶装+加仑桶装 化学品仓库 常温 50% 液态

10000 1728

19008 5000kg 10m3 /储罐 储罐 常温 盐酸 40% 液态

10800 1000

11000 500kg 20L 桶装+加仑桶装 化学品仓库 常温 氨水 35% 液态

10259 1080

11880 2400L 200L 桶装 化学品仓库 常温

5 氢氟酸 50% 液态

5184 1025.9 11284.9 1200L 加仑桶装 乙类化学品仓 常温 硅烷 100% 气态

624 62.4 686.4 40kg 10kg 气瓶 气柜 常温 KOH 30% 液态

1152 900

2052 50kg 4L 瓶装 化学品仓库 常温 二氯硅烷 100% 气态

989 98.9 1087.9 160kg 37kg 气瓶 化学品仓库 室温 C4F8 100% 气态

2304 230.4 2534.4 300kg 50L 气瓶 化学品仓库 室温 CHF3 100% 气态

58 5.8 63.8 60kg 50L 气瓶 化学品仓库 室温 HBr 100% 气态

288 28.8 316.8 100kg 50L 气瓶 化学品仓库 室温 三氟化硼 BF3 100% 气态

102 10.2 112.2 100kg 50L 气瓶 化学品仓库 室温 六氟化硫 SF6 100% 气态

5760 576

6336 300kg 50L 气瓶 化学品仓库 室温 磷烷 100% 气态 115.3 11.53 126.83 10kg 330g 气瓶 气柜 常温 N20 100% 气态

1786 178.6 1964.6 58kg 50L 钢瓶 气柜 常温 Cl2 100% 气态

2765 92

2857 100kg 50L 钢瓶 气柜 常温 HCl 100% 气态

1440 48

1488 50kg 25kg 钢瓶 气柜 常温 NH3 100% 气态

2304 230.4 2534.4 40kg 20kg 钢瓶 气柜 常温 HF 100% 气态

96 9.6 105.6 8kg 8kg 钢瓶 气柜 常温 含硝酸的硅蚀刻 液80%硝酸、氢氟酸 5%、冰 乙酸 5%、水10% 液态

3840 384

4224 800kg 加仑桶装 化学品仓库 常温 氢氧化钠 30% 液态

288000 28800

316800 20m3 20m3 /储罐 储罐 常温 光刻胶 酚醛树脂 20%、丙二醇醚 脂80% 液态

2112 211.2 2323.2 50L

500 毫升塑料桶装 化学品仓库 常温 BCl3 100% 气态

127 12.7 139.7 100kg

40 升钢瓶装 气柜 常温 CaCl 30% 液态

188160 18816

206976 20m3 20m3 /储罐 废水区 常温 氢气 100% 气态

9494 949.4 10443.4 445kg 50L*15 钢瓶集装格

6 组、4000 立方管束、压力200 公斤 供氢站 常温 N-甲基吡咯烷酮 C5H9NO 100% 液态

11520 0