PDF《小型等离子装置 Plasma Innovation》

A 实验室仪器 Laboratory Instruments

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14 10 灭菌器 喷雾 干燥器 马弗炉 纯水 制造装置 恒温水槽 恒温 水循环 恒温箱 干燥箱 恒温 培养箱 等离子 装置 冷冻干燥 冷阱 搅拌器 振荡器 清洗机 选购品 旋转 蒸发仪

6 等离子装置高频输出 200W 反应腔 W130*D130mm 小型等离子装置 PiPi Plasma Innovation l 经济型、RIE模式、平行平板电极 经济型、最适合于研究开发用小型等离子清洗机. 经济型等离子清洗机 简单的等离子处理操作 等离子模式为RIE模式 特点 去除有机物 树脂/膜等表面改质 改善粘接效果 提高亲水性 去除金属氧化物 蚀刻 用途 型号 PM100 等离子方式 RIE模式 电极构造 平行平板式 高频输出 Max200W 频率 13.56MHz 电极尺寸 W130*D130mm 外形尺寸 W438*D520*H565mm 反应气体 Ar 填充气体 N2或干燥空气 反应气体流量计 流量计 控制方式 程序控制 电源 单相100V 真空泵(选配) 油泵 135L/min(50Hz) 规格 内槽 外形图 等离子 等离子为气体发生电离状态,形成带有正电的离子及带有负电的电子状态.等离子为 带有高能量、反应性非常高的状态,其容易与物质表面进行反应的特性被广泛使用. 等离子RIE(Reactive Ion Etching 方式) RIE是去除物体表面的有机物污垢,同时去除无机物的最合适的清洗方式. RIE方式为加速离子层中的阳离子,冲击污染表面的物理性清洗方式. Made in Japan