编辑: f19970615123fa | 2019-07-03 |
3 相200V 50/60Hz 1.
5kVA 外部气体 0.3~0.5MPa
100 升/min (MAX) 炉内氧气浓度 (氮气使用时) 最低 100ppm 基板托盘 平托盘 上面加热 热风式:约675W(约75W*3 本*3 列) 可以对标准管口进行偏差设定 红外线加热器:约300W 下面加热 红外线加热器:约240W 温度精度 5℃以内 (最大基板中央 50W*50L mm 范围内) 测定温度 常温~330℃ 测定点数
3 点 氮气供给机能 流量调整阀 :100 升/min 重量 约50kg 【计测机能规格】 项目 规格 计测方法 通过激光湮患朴行Ъ撇庀旅娴谋湮 测定范围 X 轴方向:最大 70mm Y 轴方向:最大 70mm Z 轴方向:标准点 0~3mm 变位计分辨能 最大 0.2μm X-Y 轴驱动速度 最大 45mm/s(加减速度除外) 测定点 最大
19 点(以在任意的时间及温度内连续的计测指定范围) 选项:气体混合器