PDF《D07 -22AM 型》

D07 -22AM 型质量流量计使用手册版本

2010 .

04 目录1. 使用须知…1 8. 故障判断和处理 …………………

14 2. 用途和特点…1 9. 保证、 保修与服务…15 3. 主要技术指标…2 9.1 产品保证和保修.15 4. 结构…3 9.2 保修对使用的要求.15 5. 安装和接线

4 9.3 服务.15 5.1 外形及安装尺寸…4 10. 附录.16 5.2 气路接头形式…5 10.1 气体质量流量转换系数 …………

16 5.3 开关稳压电源连接…6 10.2 转换系数使用说明 ………………

18 5.4 串行通讯连接…7 6. 使用方法和操作步骤 ………………

9 6.1 开机预热…9 6.2 检查和调整零点…9 6.3 通气工作…9 6.4 关机…9 7. 注意事项…9 7.1 禁用流量介质…9 7.2 使用腐蚀性气体问题 ……………

9 7.3 安装位置问题…9 7.4 标定和不同气体的换算……………..

10 7.5 D07-22AM 标准订单填写格式……

11 MASS FLOW METER 第1页共18 页使用手册1. 使用须知 尊敬的用户,感谢您购买本公司生产的 D07 系列质量流量控制器/质量流量计产品.本 手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项. 产品使用者,请务必认真参阅本手册并理解后使用,在使用过程中,请注意带有 标 志的文字及注意事项中包含的所有内容. 对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害,本公司有权不承担责任. 本手册对您安装、维护及故障维修时,必不可少,请妥善留存保管. 2. 用途和特点 质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量.它 在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领 域的科研和生产中有着重要的应用.其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;

以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应 装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器. D07-22AM 型质量流量计具有精度高、线性好、响应速度快、稳定可靠、操作使用方 便, 可任意位置安装等特点.因为其本身集成液晶显示屏可实时显示瞬时流量,所以不需 要另配流量显示仪. 集成 RS232/485 通讯接口, 便于与计算机连接实现自动控制. D07-22AM 型质量流量计外观如图

1 所示. 图1. 质量流量计外观 第2页共18 页3. 主要技术指标 表1. D07-22AM 型MFM 性能指标 编号 项目D07-22AM ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

1 流量规格 ( 0~1,2,3,5,10) SLM

2 准确度 ±0.5 % F.S.

3 线性 ±0.25 % F.S.

4 重复精度 ±0.2 % F.S.

5 响应时间 ≤2 sec

6 工作压差范围