PDF《快速退火炉操作说明》

快速退火炉操作说明 Master:付海龙 Tel:18610929302 快速退火炉整体结构 注意事项

1、 使用仪器要注意检查氮气、氢气压强,打开水冷机.

2、 取放样品时要十分小心,防止损坏样品台.退火开始时要保证样品腔门处于 关闭状态,退火过程中禁止打开样品腔.

3、 退火温度和时间需要在如下表格要求范围之内.

4、 使用仪器请在记录本做好记录. Temperature(℃) Time(s) Temperature(℃) Time(s)

250 9999

650 1200

300 7200

700 900

350 5290

750 720

400 4050

800 600

450 3600

850 514

500 3200

900 450

550 2592

950 400

600 1800

1000 360 操作流程 准备:

1、 打开水冷机.水冷机位于超净间垃圾存放隔间,使用时打开电源开关.

2、 打开气路开关.目前使用的气体有压缩空气、氮气、氢气,需要打开的阀门如图所 示,各气路的压强、流速已经调节好,不需要再调.

3、 打开总电源.总电源位于退火炉上方的配电箱. 运行:

1、打开显示器电源.

2、启动仪器.顺时针旋转前面板的钥匙总开关至水平位置,然后按 "EMO Reset"按键,仪器启动.

3、放入样品.轻轻打开样品腔门,将样品放到样品台中央位置,然后轻轻关闭腔门并 且锁死.

4、登陆系统.仪器启动后会进入控制软件主界面,如图所示.点击"Log on"进入登 陆界面,登陆界面的"User Name"下拉菜单有 PROD、ENG 和MPT 三个选项,使用 已有 recipe 进行退火请选择 PROD,Password 为P.新建或更改 recipe 请选择 ENG, Password 为E.

5、按仪器前面板的"Power ON"按钮,使仪器处于准备退火状态.

6、选择要使用的 recipe,然后点击"Start Process"开始退火.退火过程中软件界面实 时显示退火进度,蓝色线条代表 recipe 的温度时间关系,红色线条代表即时温度, 绿色线条代表设定的温度值.

7、退火结束后,软件界面会显示"Process Over" ,点击"Cancel"返回主界面. 关闭:

1、按"Power Off"按钮.

2、在软件界面点击"Log Off" ,然后单击"EXIT"退出程序.

3、按照常规方式关闭电脑,然后按"EMO"按钮关闭仪器,关闭钥匙.

4、关闭气路.

5、关闭配电箱总电源.

6、关闭水冷机.