PDF《电子行业专项监察工作手册》

电子行业专项监察工作手册 (电子工业窑炉部分) 工业和信息化部

2019 年6月1目录

一、监察对象和内容

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(一)监察对象.

2

(二)监察内容.2

二、监察工作程序

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三、执行标准及能耗计算.3

(一)执行标准.3

(二) 能耗统计范围.3

(三)单位产品能耗计算.5

四、企业自查及初审

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(一)企业自查.7

(二)监察机构初审.7

五、现场监察.8

(一)核查企业执行单位产品能耗限额标准情况.8

(二)核查企业执行淘汰落后制度情况.9

(三)核查企业能源计量情况.9

(四)核查企业执行能源消费统计制度情况.10

(五)核查企业装备和节能设施.10

(七)收集相关资料.11

(八)现场检查结果.11

六、监察结果及上报

11 附件 1:企业自查报告模板.12 附件 2:节能监察报告模板.22 附件 3:电子窑炉能耗专项监察结果汇总表.28 附件 4:参阅材料

30 2 电子工业窑炉能耗专项监察工作手册 为更好地贯彻落实工业和信息化部印发的《关于印发

2019 年工业节能监察重点工作计划的通知》 (工信部节函〔2019〕77 号) ,指导各地深入开展电子行业企业能耗专项监察工作,特制 定本手册.

一、监察对象和内容

(一)监察对象 监察对象为使用电子工业窑炉如氢气炉、 真空炉、 扩散炉、 单晶炉、推板炉、网带炉、双通道推板式电窑等电子窑炉进行 生产活动的企业.

(二)监察内容 主要监察内容为企业单位产品能耗限额标准执行情况、淘 汰落后制度执行情况、能源计量管理制度执行情况、能源消费 统计制度执行情况等.

二、监察工作程序

(一)企业按照有关要求进行自查,向地方主管部门(或 节能监察机构)提交自查报告(见附件 1) ;

(二)地方主管部门委托节能监察机构对企业自查报告进 行初审,按有关要求实施现场监察;

(三)节能监察机构根据初审及现场监察情况,编制节能 监察报告(见附件 2) ,报送主管部门;

(四)省级主管部门汇总监察结果,编制 专项节能监察

3 工作报告 ,按时报送工业和信息化部.

三、执行标准及能耗计算

(一)执行标准 《 用能单位能源计量器具配备和管理通则》(GB 17167-2006) ;

《综合能耗计算通则》 (GB/T 2589-2008) ;

《单晶炉能源消耗规范》 (SJ/T 11450-2013) ;

《扩散炉能源消耗规范》 (SJ/T 11451-2013) ;

《电真空器件用推板炉能源消耗规范》 (SJ/T 11452-2013) ;

《网带炉能源消耗规范》 (SJ/T 11453-2013) ;

《电真空器件氢气炉能源消耗规范》 (SJ/T 11667-2017);

《电真空器件真空炉能源消耗规范》 (SJ/T 11668-2017) ;

《双通道推板式电窑能源消耗规范》 (SJ/T 11669-2017) 等.

(二)能耗统计范围 1.单晶炉:统计单晶炉系统消耗的实耗电能量,即直接消 耗电能量、冷却水折合电能量、氩气折合电能量之和;

统计单 晶炉合格产品产量,即统计期内单晶炉拉出的经检验合格的单 晶硅棒的整体质量(包括头尾)之和.具体测算方式依据《单晶 炉能源消耗规范》 (SJ/T 11450-2013)执行. 2.扩散炉:统计扩散炉系统消耗的实耗电能量,即直接消 耗电能量、冷却水折合电能量、氧气折合电能量、氮气折合电

4 能量之和;

统计扩散炉合格产品的折合产量.具体测算方式依 据《扩散炉能源消耗规范》 (SJ/T 11451-2013)执行. 3.电真空器件用推板炉:统计电真空器件用推板炉系统消 耗的实耗电能量,即直接消耗电能量、冷却水折合电能量、氢 气折合电能量、氮气折合电能量之和;