PDF《Q-Motion®精密线性平台》

06.

11.2018 压电电机可实现高力和小巧设计 压电惯性驱动器 压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器,其保持力相对较大,行程几乎是无限的.惯 性驱动原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器.促动器缓慢膨胀,移动转子.由 于其惯性,转子无法跟上促动器随后的快速收缩,停留在其位置上.工作频率高达20千赫兹时,驱动直接作用在动轮 上,实现最大为10毫米/秒的速度. 直接测量原理 可提供带非接触式光学线性编码器的版本.分辨率为1 纳米.带编码器的版本具有参考点开关 真空和无磁性环境 所有Q-Motion?线性平台都适用于高真空中的操作,真空可达10 -6 百帕.此外,适用于10 -

9 百帕的超高真空版本也可供货.可按需提供非磁性版本 应用领域 微装配, 光子, 光学对准, 显微镜, 高能束线设备, 半导体技术, 测试 Q-545 Q-Motion?精密线性平台 ? 宽度仅为45 毫米 ? 推/拉力为8 牛?带位置分辨率的增量传感器 ? 不带接装板的XY组合可供选择 ? 真空兼容至10-6 百帕 (Q-545.xx0) ? 真空兼容至10-9 百帕 (Q-545.xxU) 06.11.2018 规格 运动和定位 Q-545.100 / Q-545.10U Q-545.140 / Q-545.14U Q-545.200 / Q-545.20U Q-545.240 / Q-545.24U 单位 公差 行程为13毫米, 开环 行程为13毫米, 分辨率为1纳米 行程为26毫米, 开环 行程为26毫米, 分辨率为1纳米 主动轴 X X X X 行程

13 13

26 26 毫米 集成传感器 C 线性编码器 C 线性编码器 传感器信号 C 模拟量,1 伏峰峰值 C 模拟量,1 伏峰峰值 传感器分辨率 C

1 C

1 纳米 最小位移 500(开环)

6 500(开环)

6 纳米 典型值 单向重复精度 C 0.018 C 0.018 微米 双向重复性 C ±0.018 C ±0.018 微米 转动串扰 ±50 ±50 ±80 ±80 微弧度 线性串扰 ±1 ±1 ±2 ±2 微米 最大速度,开环

10 10

10 10 毫米/秒 最小 最大速度,闭环 C

10 C

10 毫米/秒 参考点开关 C 光学 C 光学 机械特性 Q-545.100 / Q-545.10U Q-545.140 / Q-545.14U Q-545.200 / Q-545.20U Q-545.240 / Q-545.24U 单位 公差 负载容量

10 10

10 10 牛 轴向刚性 1.5 1.5 1.5 1.5 牛/微米 ±10 % 侧向刚性

9 9

10 10 牛/微米 ±10 % 保持力,断电

8 8

8 8 牛 最小 推拉力

8 8

8 8 牛 典型值 驱动特性 Q-545.100 / Q-545.10U Q-545.140 / Q-545.14U Q-545.200 / Q-545.20U Q-545.240 / Q-545.24U 单位 公差 电机类型 压电惯性驱动器 压电惯性驱动器 压电惯性驱动器 压电惯性驱动器 其他 Q-545.100 / Q-545.10U Q-545.140 / Q-545.14U Q-545.200 / Q-545.20U Q-545.240 / Q-545.24U 单位 公差 工作温度范围

0 到50

0 到50

0 到50

0 到50 °C 材料 铝铝铝铝质量,含电缆

216 /

210 216 /

210 245 /

240 245 /

240 克 电缆长度 Q-545.100:

2 Q-545.10U:

1 Q-545.140:

2 Q-545.14U:

1 Q-545.200:

2 Q-545.20U:

1 Q-545.240:

2 Q-545.24U:

1 米 连接器 Sub-D

15 Sub-D

15 Sub-D

15 Sub-D

15 推荐电控 E-872.401 E-873.1AT, E- 873.3QTU, E- 873.10C885 E-872.401 E-873.1AT, E- 873.3QTU, E- 873.10C885 用于达10 -6 百帕的真空版本可供货,订购编码如下: Q-545.xx0. 可提供真空达10 -9 百帕的版本,如Q-545.xxU. 06.11.2018 对于真空中的操作,与标准环境相比,我们建议将占空比减小为20%,最大电机推/拉力为30%.滑板的固有质量也必须予以相应考虑. 询问定制版本. 06.11.2018 图纸/图片 Q-545,100, 尺寸单位为毫米 06.11.2018 Q-545,140, 尺寸单位为毫米 06.11.2018 Q-545,200, 尺寸单位为毫米 06.11.2018 Q-545,240, 尺寸单位为毫米 订购信息 Q-545.100 Q-Motion? 线性平台,压电惯性驱动,行程为13毫米,不带用于开环操作的位置传感器,推/拉力为8牛,尺寸为45 *