PDF《JEM-2100F/2200FS 操作说明》

JEM-2100F/2200FS 操作说明 制作:北京东方捷欧技术服务站 马宁 一,开机(此步只能由实验室管理员操作) .

1. 合上配电柜中电镜主机的单相电源,同时合上循环水的三相电源. 2. 合上主机的稳压电源开关. 3. 合上主机电源柜上的电源开关. 4. 确认电子枪的模式转换器在 COND 模式(见图一) . (图一) 5. 按压主机控制台上的 I 键

2、3 秒钟后松开,RP 开始动作,主机启动. 6. 打开 TEM 控制 PC,首先等待 PC 显示器右下角的图标由未建立通讯状态 转变为已建立通讯状态 , 这通常要等 待5分钟,再等操作控制台上按键指示灯变亮后双击桌面上的 打开 TEM 控制软件,确认 Status Monitor-System 中各项显示都为 Running 状态(如图二) . (图二) 未建立通讯状态(图三) :如果发生这种情况,关闭软件确认通信建立后再打开.如果 还不行,关闭计算机,然后再 VME RESET,等1分钟再将 PC 打开,通信建立后打开 软件. (图三) 7. 确认电源柜上的 60L,20LSIP真空档位选择器在X10-6 Pa的位置,并且指针基本上 是在左端基本到底的位置,如指针指示超过 0.5X10-6Pa,请立即通知服务中心. (图四) 8. 确认真空符合要求后加高压(在COND 模式,从100KV 起加,参照长假期处理) 备注:如无法正常开机,请检查下列各项: 1, 检查电源,包括电源柜中的主闸及电镜分开关是否正常,稳压电源是否在开启 状态,以及主机电源柜的空开是否在开启状态. 2, 打开 Status Monitor-Alarm,察看是否有变红的报警提示(一般会自动弹出此报 警窗口,如图五),如有请与服务中心联系. (图五) 3, 打开 TEMCON 软件后弹出下列窗口(图六)是由于过早打开软件造成,关闭 软件后再次开启此问题就会解决 (图六) 二,插拔样品杆 1, 放入样品杆前,如当时 EMSN 是ON 的状态不要关掉灯丝(热场的灯丝一般总保 持在发射状态,所以无须关灯丝,这是与普通电镜的区别之处) ,同时更换不同的 样品杆要在计算机里选择相应的型号. 2, 如果柱体是通过 SIP 抽的,请将 150L SIP 真空指示表放在 KV 档. 3, 样品杆抽真空时,如绿灯很快就亮不要马上将样品杆插入,最好总的抽气时间不要 少于

5 分钟,但也不要超过

10 分钟(注:有时绿灯很长时间不亮,可能是由于工 作点漂移造成,并不是由于真空真的没有达到,此时需要电路上的调节,但电位的 漂移通常是一个渐变的过程) ,长时间的通过油扩散泵给样品杆抽气会对样品造成 污染,有条件的用户最好配备样品予抽室,不用的样品杆平时可放在里面长时间的 抽. 4, 200KV 电镜 ACD 是标准配置,强烈建议早上工作前先将液氮加好,这样有利于镜 筒的真空卫生,对灯丝寿命、样品污染以及离子泵的寿命都有好处. 5, 样品杆刚插入 COL 时不要马上将 V1 打开, 因为在插入样品杆的过程中多少会有一 些泄露,即使插入后真空看上去很好,最好在插入后再等 1~2 分钟开 V1 阀. 6, 到真空度达到低于 4x10-5 PA时,打开V1 阀. (最好低于 2x10-5 PA) 7, 样品观察. 8, 拔出样品杆之前,首先要关掉 V1 阀,但决不要关灯丝(热场的灯丝一般总保持在 发射状态,所以无须关灯丝) . 9, 样品杆回零-点击 Holder Exchange. (如果不回零就拔会损坏样品杆, 尤其是双倾台) (图七) 直到出现下面的对话框,才可进行下步操作. (图八) 10, 如果柱体是通过 SIP 抽的,请将 SIP 真空指示表放在 KV 档. 11, 拔出样品杆到放气位置,放气后,拔出样品杆. 备注: 1) 测角台是整个设备中机械部分最精密的部分, 所以在插拔过程中一定不要使蛮 力,否则会损坏测角台.在整个运动过程中它应始终保持在轻松灵活的状态, 如感吃力,决不可硬转,硬拔,要马上通知管理员或服务中心. 2) 样品杆在插入柱体的过程中,由于里面是负压,样品杆应是被吸入的,所以要 拉住直到完全进入后才可松手.如此时感到涩,不是很顺利的被吸入,那么就 要在样品杆的两个橡皮圈上涂抹白色的 FOMBLIN 真空脂 (可用牙签挑上一些 涂抹在橡皮圈上,不宜太多) . (图九) 3) 如样品杆长时间不能抽到绿灯亮, 请检查橡皮圈是否有损伤, 样品杆是否放置 正确,橡皮圈上的真空脂是否干了,样品杆是否长期放在外面受潮,样品是否 受潮. (如还不行请与服务中心联系) 4) 如有样品杆予抽机的最好将样品杆插在上面予抽,没有的用户在观察完样品 后,最好将样品取下再将样品杆插入到 COL 中以保持干燥. 5) 带有 ACD 装置的请在早上一上班就将液氮加好,但它加满后只能维持 7~8 个 小时, 所以最好在中午下班前再将它不充满, 这样就可完全保证整个下午的工 作了.用液氮后,下班前一定要用加热棒将 ACD 中的残余液氮烘烤出来,否 则会由于液氮挥发完后原来吸附在冷阱上的脏东西快速挥发出来造成 SIP 的 停机. 三, 日常加高压在 EMSN ON 的状态 (通常 EMSN 都是 ON 的状态) 1, 高压通常保持为 160KV,点击 DIALOGUE 中的 HIGH VOLTAGE CONTROL 检查 高压暗流值以及 EMSN 束流值是否正常(160KV=77μA,200KV=96μA) . (如不 正常请与服务中心联系) 2, 检查各 SIP 真空度是否正常(如不正常请与服务中心联系) . 3, 点击 HIGH VOLTAGE CONTROL 中的 Normal 后按确认,将自动由 160KV 升到 200KV. (图十) 4, 加高压到 200KV 后再等待

2 分钟, 确认暗流正常后点击 BEAM VALVE 中的 OPEN 打开 V1 阀(如不正常请与服务中心联系) 5, 样品观察 四,日常退高压(EMSN ON 的状态) 1,直接点击 Stand By 后系统会自动从 200KV 降到 160KV,并维持到第二天. 五,长假期间的处理(此步只能由实验室管理员操作)

(一) ,将OPERATION 模式换为 COND 模式-降场 1, 点击(图十)中右下角的 More 后弹出 High Voltage Control 中的第一级隐藏菜单. (图十一) 2, 直接点击 Auto HT &

Emission 中的 Turn off 来直接关闭灯丝. 它的过程是: 先从现在的电压降为 100KV 后EMSN OFF,然后高压再降为 0KV,在此过程中会 依次显示下面的提示信息. (图十二) 3, 等提示结束后,将OPERATION 模式换为 COND 模式,通过点击 (图十一)最下 面的向下箭头来打开 High Voltage Control 中的第二级隐藏窗口,确认右下角 Cond Knob Position 中显示为 COND.如果显示为 Not Ready 则是由于 Conditioning Handle 位置不正确所致,重新调整到 (图一)的正确位置. (图十三) 4, 点击(图十三)HT 中的 ON,然后从 Auto HT 中的 Target 设置 160KV,Step 选择 1KV, Time/Step 选择

3 sec,然后点击 Start,高压将自动加到 160KV,确认暗电 流正常后就一直保持 160KV 到假期结束.

(二)假期后将 COND 模式换为 OPERATION 模式-升场 1, 在COND 模式将高压从 160KV 退到 100KV,点击 HT Conditioning 中Manual Conditioning 中的 ON. (确认暗流正常) 2, 每5秒1kv 加到 140KV,等5分钟. (确认暗流正常) 3, 每15 秒1kv 加到 160KV,等10 分钟. (确认暗流正常) 4, 每6秒0.1KV 加到 180KV,等30 分钟. (确认暗流正常) 5, 每60 秒1KV,加到 190KV,等15 分钟. (确认暗流正常)此时高压实际为 210kv, 不要超过

30 分钟. 6, 每60 秒1KV,加到 200KV,等15 分钟. (确认暗流正常)此时高压实际为 220kv, 不要超过

30 分钟. 7, 从Auto HT 中的 Target 设置 100KV,Step 选择 1KV, Time/Step 选择

1 sec,然后 点击 Start,高压将自动降到 100KV,点击 HT Conditioning 中Manual Conditioning 中的 OFF,点击 HT OFF, 8, 待(图十二)对话框消失后,将COND 模式换为 OPERATION 模式,如(图十四) (图十四) 9, 转换成功后,High Voltage Control 窗口的右下角将显示 OPERATE. (图十五) 10, 放入样品杆(否则无法打开 V1) 11, 在0KV 下HT ON. 12, 打开 V1 阀,观察 20L SIP 的真空指示

5 分钟看是否下降很多.同时确认 60L SIP 真空指示不动. 13, 关闭V1,再次将V1 打开

5 分钟,观察 20L SIP真空后小于 0.5X10-6 Pa,60L SIP小于 0.5X10-6 Pa,将V1 关闭. (如有问题请联系服务中心) 14, 点击(图十五)Auto HT &

Emission 中的 Start up 开始自动加高压升场,大约要

2 小时. (此过程是 HT 先加到 100KV,然后升场,最后加到 200KV.注意待升场 完后确认 EMSN 电流和高压暗流值是否正常,通常升场刚结束时 EMSN 电流值要 较假期前低一些,此为正常,过两天后升至稳定值) (注意高压箱带有 HS 标签的要 在转为 OPERATE 模式后等一小时再升场) 15, 放入样品,确认柱体真空小于 4x10-5 Pa后打开V1(最好低于 2x10-5 Pa) 16, 合轴,观察样品.. 六,BAKE OUT (柱体真空变坏,柱体放气后,长时间使 用后都需要烘烤,建议每月做一次,但最少

3 个月做一次) 1, 退出所有光阑. 2, 关闭 V1 阀. 3, 不要放入样品杆. 4, 点击 Auto HT &

Emission 中的 Turn off 来直接关闭灯丝和高压. 5, 转换提示消失后, 并确认高压为 0KV 后将 OPERATION 模式换为 COND 模式. 6, 从MAINTENANCE 中的 ACD&

BAKE 中设定BAKE OUT 时间以及冷却时间. (建议周末烘烤

60 小时以上,冷却时间不少于

4 小时) 7, 将V1 保护盖扣上. 8, 确认 LENS 开关 ON(在左手门中) . 9, 点击 BAKE OUT 中的 Start 10, LENS WATER 进水阀关闭(红色的阀门) . 11, BAKE OUT 结束后打开 LENS WATER 进水阀门. 12, 先关 LENS 后再开 LENS. 13, HT ON 在100KV 14, HT COND ON. 15, 每5秒1kv 加到 140KV,等5分钟. (确认暗流正常) 16, 每15 秒1kv 加到 160KV,等10 分钟. (确认暗流正常) 17, 每6秒0.11KV 加到 180KV,等30 分钟. (确认暗流正常) 18, 每6秒0.1KV,加到 190KV,等15 分钟. (确认暗流正常) 19, 每6秒0.1KV,加到 200KV,等15 分钟. (确认暗流正常 20, 退到 100KV,HT COND OFF, HT OFF. 21, 待图十二的提示框消失后将 COND 模式换为 OPERATION 模式 22, HT ON 在0KV. 23, 将予抽好的样品杆放入镜筒(否则无法打开 V1 阀) . 24, 打开 V1 保护盖. 25, 确认COL真空低于 4X10 -5 , 打开V1 阀, 观察 20L SIP的真空指示

5 分钟看 是否下降很多.同时确认 60L SIP真空指示不动. 26, 关闭 V1,再次将 V1 打开 2-3 分钟, 观察 20L SIP 真空后, 将V1 关闭. (如 有问题请联系服务中心) 27, 点击(图十五)Auto HT &

Emission 中的 Start up 开始自动加高压升场, 大约要

2 小时加到. (注意高压箱带有 HS 标签的要在转为 OPERATE 模式等一 小时后再升场) 28, 确认 EMSN 电流值正常后打开 V1 29, 观察 七:HT DARK CURRENT(下面的值仅供参考) HT (KV) TANK ONLY (μA) WITH GUN COND MODE (μA) WITH EMSN OPE MODE (μA)

50 14

23 60

17 28

70 20

33 80

23 37

90 26

42 100

29 47

49 110

32 52

54 120

35 56

59 130

38 61

64 140

41 66

68 150

44 71

73 160

46 75

77 170

49 80

82 180

52 85

87 190

55 89

91 200

58 94

97 210

61 99

220 64

104 MONITOR 与DATA 值MONITOR DATA A1 (KV) A2 (KV) BIAS (KV) FIL (A) 八:做COND 的频率 1, 对于新枪, 要在头

3 个月里每月做

1 到2次COND (到220KV) 2, 此后每

3 个月最少做一次 3, 由于做 BAKE OUT 也是 1~3 个月,所以最好与 BAKE OUT 同步. 九:UPS 充电电池 UPS 充电电池需要

3 年更换一次. ........