PDF《探头维修,维护与保养》

探头维修,维护与保养 以单探头为例 探头维护与保养 以单探头为例 探头 真空连接 电缆 连接法兰 BNC接头 常见问题

1 水温不稳,

2 保养不良,

3 接地不良,4 硬件故障 可造成下列现象 1.

ACTIVITY值低 2.镀膜速率不稳定 3.晶片寿命短 4.新晶片实效 首先检查冷却水 ? 保证冷却水足够流量, 水温正常 检测方法:测量探头出水 温度,整个工艺过程 中,水温稳定,如果升 高,则水量过小 典型故障:重复性差 探头维护与保养 以单探头为例 标准单探头结构 探头维护 清洁该表面,不许有镀膜残渣 簧片调整 陶瓷座簧脚调整为45度,陶瓷边缘变黑后要更换 簧片调整 探头维护与保养 卡簧007-007,4000次换片后要更换 探头维护与保养 750-171-P1,4000次换片后要更换 水管弯曲 水气管可以弯曲,但不能在根部折弯 真空连接电缆 接触面由于高温氧化造成 接触不良, 或安装方式造成断线 检测短路或断路 连接法兰 短路或断路 拆接 检查断路或短路 用万用表测量图示联线电阻 值,应〈1欧姆 万用表针一端测此簧脚 万用表另一端测此接 头内电缆芯 震荡包 针脚短路 造成元件 击穿 XIU检测 Diagnostics Source

1 Shutter Advance Crucible

1 Output

1 is set Source

2 Shutter Advance Crucible

2 Output

2 is clear Sensor

1 Shutter Active XIU Test Output

3 is clear Sensor

2 Shutter RS-232 Loopback Output

4 is clear Press TOGL to activate selected test. Press MENU to exit Diagnostics mode 40.0A/S 183.6KA 0.0% 连线 针脚短 路或断 路