PDF《微电子工业贮存》

微电子工业贮存 及 使用特殊气体守则 微电子工业贮存及使用特殊气体守则-1-鸣谢 承蒙英国压缩气体协会(British Compressed Gases Association) 惠允,准予转载其拥有版权的刊物「 守则18- 微电子工业贮存、处理及使用特殊气体的安全方法」(Code of Practice

18 C The Safe Storage, Handling and Use of Special Gases in the Micro-electronic Industry) ,香港特别行政区政府消防处谨此致谢.

英国压缩气体协会保留本守则所转载资料的版权.任何人士如欲转载,须事先取得该会的书面批准.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-2-引言 本守则旨在就微电子工业贮存和使用特殊气体而申领危险品牌照的事宜提供指引.本守则列明关於贮存所的坐落地点、设计和建造的规定(例如机械通风系统、气体侦测系统、灭火系统、电力装置等),以 及发牌当局所订明须遵守的相关条文.此外,本守则就建立安全工作系统一事,给予全面的指引.本守则加入了微电子工业业界、本地大学及政府其他相关部门所提供的知识和意见.遵行本守则的规定须要运用良好的工程技术.本守则是现行法例的补充,因此遵从本守则并不豁免使用者遵守本港其他相关法例.本处会定期检讨此守则,亦欢迎业界提共改善建议.消防处 是次修订:二零零五年十二月十六日微电子工业贮存及使用特殊气体守则-3-目录 部分内容页数1词汇解释52危险品牌照的申请程序63坐落地点的限制74申请危险品牌照所需的资料85发出危险品牌照的条件10

6 牌照续期的条件11

7 室外贮存12

8 室内贮存14 一般规定工作通道机械通风系统9晶片装嵌区(洁净室)18

10 贮存地方的兼容性20

11 气体侦测系统21

12 灭火系统23 微电子工业贮存及使用特殊气体守则-4-13 排放及使用气体24 气体贮存柜配送系统14 控制室27

15 电力装置及装备28

16 气瓶29 气瓶的标准气瓶的处理17 安全的工作系统31 一般规定健康及安全预防措施紧急程序训练定期检讨及审核18 消防规定35

19 气体的危害特性36 健康危害毒性职业o生标准火警危机20 查询41 附录风险评估报告I建议的最短安全分隔距离II 特殊气体一览表III 微电子工业贮存及使用特殊气体守则-5-1. 词汇解释本守则所用的某些词汇M简称定义如下,以便参考:认可人士指获当局认可的工程师,有资格进行测试、检验和核证气瓶及喉管.当局指消防处处长.具资格人士指具相关资格及经验的专业化验师或职业o生师,即他们已通过American Board of Industrial Hygiene、 Canadian Registration Board of Occupational Hygienists、British Institute of Occupational Hygienists、 Australian Institute of Occupational Hygienists、 香港职业及环境o生学会所举办的核证计划.其他持同等资历的人士亦会获承认为具资格人士.1.4 消防处指香港消防处.1.5 低层楼宇指由通往地面第一层梯级起计至最高一层的地面为止不超过30 米的楼宇.1.6 Material Safety Data Sheet (MSDS) 指物料安全数.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-6-2. 危险品牌照的申请程序2.1 关於微电子工业贮存及使用特殊气体的申请,应呈交香港消防处的危险品课,地址是香港新界葵涌兴盛路86 号消防处葵涌办公大楼3字楼.2.2 收到申请后,消防处会把申请转交相关的政府部门,例如劳工处的锅炉及压力容器监督、环境保护署及政府化验所,就压缩气体及加压系统的安全问题、环保问题及化学物质的兼容性,徵询这些部门的意见.在制定特订的消防规定时,消防处会考虑上述监督及部门的意见.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-7-3. 坐落地点的限制3.1 只有属於单一使用性质,而且易於疏散人群的低层社团楼宇或工业楼宇,才视作适合贮存和使用这些气体.3.2 贮存或检查气瓶的地点须位於街道水平,以便运货车、手推车或其他运输工具可以到达,方便运送气瓶,或在紧急情况时移走气瓶.大型消防车亦应可到达贮存区及装嵌区,以扑灭火警.3.3 贮存和使用气体的地点应有足够的逃生途径,可通往安全的地方.逃生途径须时刻保持畅通无阻.3.4 所有室内及开放式的贮存地点须小心选址,尽量减低对附近用作其他用途的地方所构成的风险.3.5 申请人应视乎情况而就土地使用的事宜向规划署或地政总署徵询意见.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-8-4. 申请危险品牌照所需的资料根段Ｏ掌(一 般 )规 例》(第 295B 章 )第

62 条的规定,如微电子工业申请贮存特殊气体的牌照,须连同申请一并递交贮存所的图则2份,图则须尽量依比例绘制,而每份图则须包括以下详情:-(a) 贮存所的坐落地点;

(b) 用以或将用以建造贮存所的物料;

(c) 如涉及机械通风设备,须另加通风图则;

(d) 将气体由贮存所输送至由贮存所或拟由贮存所供应气体的处所任何部分的喉管路线及铺设方法,以及建造喉管的物料;

以及(e) 其他由当局规定须在图则上显示的详情(如 有的话), 例如废物处理系统和排水系统.4.2 每份图则须连同以下文件一并递交:-(a) 一份书面陈述,声明所需领取牌照而会贮存的气体(一 种或多於一种)的 性质及最大储存量;

(b) 风险评估报告(风险评估报告的涵盖载於附录I) ;

(c) 贮存所提供的电力装置(包括照明装置和气体侦测系统)的规格;

微电子工业贮存及使用特殊气体守则-9-(d) 任何拟建造的输送喉管或其他附属设备的设计及规格;

(e) 气体侦测系统、气体贮存柜,以及任何其他安全装置或危害控制措施的设计及规格;

以及(f) 内容包括紧急程序的健康及安全计划.4.3 可能须向政府其他部门呈交有关输送喉管或其他设备的图则、设计及规格副本.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-10 - 5. 发出危险品牌照的条件5.1 除非当局信纳有关的贮存所符合下列条件,否则消防处不会发出关於微电子工业贮存和使用特殊气体的牌照:(a) 本守则第3及第4部分所指的贮存所坐落地点及图则已获当局批准,而贮存所的建造亦与图则相符;

(b) 消防处发出的消防规定已获遵从.持牌人有责任确保贮存所时刻遵从消防规定;

以及(c) 本守则的其他规定已获遵从.5.2 申请人亦须遵从政府其他部门就发出牌照而订定的规例或规定.5.3 申请人须遵从发牌条件,并缴交费用(如《危险品(一 般 )规 例》有订明),当局才会发出牌照.5.4 当局保留权利,在有需要时按情况修订持牌条件.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-11 - 6. 牌照续期的条件6.1 牌照到期后可予以续期,通常每年一次.6.2 牌照到期前,消防处人员会进行实地巡查,确保贮存所的布局与最新获接纳的图则相符.6.3 牌照续期的条件,是时刻遵从已发出的消防规定及本守则.6.4 申请牌照续期时,消防处人员会进行实地巡查,当巡查结果合格, 及申请人亦已缴付根 危险品(一 般 )规 例 》订 明的有关费用后,当局才会批准牌照续期.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-12 - 7. 室外贮存7.1 假如特殊气体须要贮存在室外,贮存所须位於处所的露天地方,或在一座位於露天空地上的独立式单层楼宇内.该独立式单层楼宇的设计和建造,须符合本守则第8部分关於室内贮存的规定.7.2 室外贮存所的坐落地点,须有足够的自然通风,以免密封环境内积存任何泄漏的气体.选址须够开扬(至少有两边属开放式设计),以 提供一个高度自然通风的环境.屋顶须提供通风口,以免轻於空气的气体积存在屋顶的围.贮存所结构须有足够的净空高度,以提供良好的对流通风.7.3 室外贮存所须用不可燃物料建造.贮存气瓶的室外围,其屋顶须以不可燃物料建造,以免受天气影响.贮存易燃气体的围,其屋顶须以轻身脆物料建造.基於保安理由,贮存围亦须设有钢丝网栏.为保护贮存所免受车辆或叉车等碰撞,须设置适当的防撞栏.7.4 须设法使气瓶保持直立.7.5 贮存围须远离火源、楼宇后巷、楼宇开口或通风入口.与各种风 险类别的最短分隔距离,请参照附录 II. 微电子工业贮存及使用特殊气体守则-13 - 7.6 气体须根湮：μ刂史殖刹煌楸.不能互相兼容的气体,不可贮存在同一贮存所内.7.7 差不多空的气瓶须与全满的气瓶分开摆放.由於这类气瓶仍存在危险,因此须与全满的气瓶一样予以清楚标明,并以相同的方法贮存.这些气瓶应在切实可行的情况下尽快交还气体供应商.7.8 须提供经核准的喷水系统.7.9 须提供经核准的气体侦测系统.7.10 须在贮存围提供合适的排水设施.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-14 - 8. 室内贮存8.1 一般规定8.1.1 假如特殊气体须要贮存在室内,贮存所须位於街道水平,其四周与任何火源、通风入口、楼宇开口或楼宇出口相距至少6米.8.1.2 贮存所由地面至天花板须以不可燃物料建造,有关物料的耐火时间应符合屋宇署就特殊危害所订的规定.这些有特殊危害的地点应有良好的通风,不论是机械通风或由至少两个不同方向的开口构成的自然通风.8.1.3 气瓶贮存所及排气房须设置有交流效应的机械通风系统.须在合适的位置提供抽气点,以免气体积存并与补充空气混合而燃烧.8.1.4 须提供经核准的自动花洒系统.8.1.5 须提供经核准的气体侦测系统,以侦测是否有危险情况出现.8.2 工作通道8.2.1 工作通道的设计,是供人以运货车或手推车运送危害物料往返贮存围.不得在走火通道运送危害物料.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-15 - 8.2.2 至於现时没有工作通道的楼宇,则须使用指定路线运送气瓶.其他人不应在运送气瓶时使用该路线.假如不能提供指定路线,应使用特别设计的气瓶盛器,为气瓶提供额外的保护.8.2.3 气体侦测系统之手动动警报按钮须适当地分布在工作通道内.系统动时应发出独特的声响及视像警报.有关信号亦须传送至处所内指定的控制房.8.2.4 在指定路线运送气瓶须由受过训练的人员负责,并由具资格人士监督进行.8.2.5 通道须设置经核准的花洒系统.8.3 机械通风系统8.3.1 除非气瓶是贮存在气体贮存柜内,否则须为气瓶贮存地方及排气房,提供最小换气率为每小时10 次的强制通风系统.8.3.2 该系统须有紧急电源.气瓶贮存所及排气房的机械通风系统,以及气体贮存柜的抽气系统须要连接紧急电源继续运行.8.3.3 为处理有害气体而设的独立机械通风系统,在运 作期间,必须保持运行.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-16 - 8.3.4 使用中的通风风扇及后备组件应能独立运作.假如使用中的风扇失灵,后备风扇应自行启动,以维持最小换气率;

此系统亦需动独立的声响及视像警报,并把风扇失灵信号传送至处所内指定的控制室,以提醒管理人员立即安排进行维修.8.3.5 楼宇结构的任何部分(例如管槽)不得用作输送空气或抽气系统的整体部分.穿插间隔墙或抗火结构的抽气管,须以建筑物料围封,而围封物料的耐火时效须与楼宇结构的耐火时效相同,以保持妥为分隔.8.3.6 所有管道系统,包括入气口、排气管、空气配送及回风系统,须以符合英国标准BS476 第4部分或当局接纳的其他标准的「 不可燃」物料建造.除非有可证明的理由,否则一般来说,在执行这项规定时,应遵照《建筑物(通 风系统)规 例》进行.假如废气是易燃的,风扇组件须以可减少静电及火花的物质制成.排气系统不须装置防火闸.假如风扇是利用外置的马达驱动,应加入特别设计,以免废气经驱动装置溢出.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-17 - 8.3.7 假如气体混和时会产生火警或化学反应的危险,不同的气体贮存柜或间隔的废气管便不得连在一起.通风系统所有管道的压力须加以调校,作出平衡,以确保废气不会由一个间隔或贮存柜倒流至另一个间隔或贮存柜.贮存柜的门打开时而引致即时的压力改变,亦应加以特别考虑.8.3.8 每个通风系统须装置具备故障安全防护设计的气 流保险侦测器.除了 声响及视觉警报外,通风系统完全失灵时,会透过联锁装置自动暂停受影响间隔及贮存柜内的操作.在恢复通风前,不得自动重设警报系统及重新开始操作程序.8.3.9 抽气系统失灵时,须动气体供应系统的自动断流装置.8.3.10 由气瓶贮存所、贮存所的抽气系统、检查围、驱气设备、气体贮存柜或防超压工具所排出的废气,不得循环再流.8.3.11 废气须经适当的设备妥为处理后,才可排出户外.排放废气的地点........