PDF《明专利说明书》

2 (490MPa) 以上,而热膨胀系数本质上与低碳钢没什么不同,因此,不能充分抑 制搭拱现象. 更且,其耐蚀性也与低碳钢和因瓦合金相等,保管时仍然要涂布 防锈油. 可是,在荫罩用金属薄板上穿设微细孔时,一般使用利用金属腐 蚀溶解现象的光刻法. 光刻加工法按如下顺序实施即可得到作为目标的荫罩:(a) 将金属薄板脱脂洗净,在其表面上形成感光性的光致抗蚀 剂膜,将预定的图形烘烤并硬化;

(b)其次,将其显影,形成作为目标的形状的光致抗蚀剂图形;

(c) 在形成该光致抗蚀剂图形的金属薄板面上雾化喷射氯化铁 溶液,将金属露出部分溶解,从而穿高微细孔;

(d)最后将光致抗蚀剂膜剥离. 在用此蚀刻加工法将金属薄板腐蚀溶解过程中,如附图1所示断 面状态那样,除了向深度(D) 方向而且还向被称为侧边蚀刻(S) 的 横向的浸蚀扩展同时进行.在附图1 中,1 是金属板,2 是光致抗蚀 剂膜、3是被蚀刻的孔. 这里,将蚀刻深度(D) 用侧边蚀刻(S) 除,将其商值叫做 蚀 刻因子 . 即,在附图1的蚀刻断面状态的模式图中,设: M:光致抗蚀剂膜的图形宽度;

W:蚀刻加工后的沟宽;

00801264.4 说明书第3/22页6S:侧边蚀刻;

D:蚀刻加工后的深度, 则蚀刻因子(EF)的计算式如下列数学1式: E F =D / S =D / [ ( W - M ) /

2 ] ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ( 数学式1 ) 为了用光刻加工法进行如荫罩那样的精细穿孔加工,上述侧边蚀 刻以尽可能少为宜,为此,作为荫罩用的金属材料使用其蚀刻因子 (EF)大者成为所期望的条件. 又,当钢中存在大量夹杂物时,由于蚀刻加工所致夹杂物近旁不 均匀的溶解,使穿孔形状不整齐,因此,当使用这样的金属材料时, 难以进行像荫罩那样的精细穿孔加工.因此,夹杂物极少的材质也是 作为荫罩用材料的必要条件. 可是,作为荫罩用原材料的金属薄板一般是,将原材料金属热轧 作成板材之后,将其反复冷轧和退火来制造的.并且,在退火的原来 状态下,有时机械性能不够,因此,一般进行光整冷轧,使达到最终 预定板厚和机械强度. 另外,当光整冷轧的金属平坦度不良时,在将荫罩架设时,由于 不能承架均匀的张力,所以造成皱纹,因此,在此情况下,为了矫正 板的形状,有时反复进行边施加张力;

边回弯的矫形( 张力平整) . 可是,如上述那样施加冷轧或矫形的金属板有这样的问题:即使 在外观上看是平坦的板,但如用蚀刻加工从单面进行减削板厚(半蚀 刻)时,产生翘曲. 特别是,作为矫形后的金属板,有时,它与冷轧的原来状态相比, 即使其平坦度有改善,但经过蚀刻加工时的翘曲更大. 总之,在荫罩上所穿设的微细孔,像附图2所示断面状态那样, 一般谋求在电子枪一侧( 电子束进入一侧) 开孔( 小孔4) 开得小;

而在荧光面一侧( 电子束穿出一侧) 开孔( 小孔5) 开得大,藉此设 计以便将电子束正确地导向预定的荧光面,但是当在施加光整冷轧等 冷轧和矫形而制造的荫罩用金属板上用如常规方法加工穿设微细孔 时,容易引起产生翘曲那样的麻烦. 当在荫罩上有翘曲时,或是在操作时易于产生 折断 等毛病;

或是在将荫罩粘结时,产生需要将翘曲形状修正的工序等的作业上的 麻烦. 00801264.4 说明书第4/22页7作为防止如上所述的 由于在金属板上施加非对称的蚀刻加工所 产生的翘曲 的有效手段,已知有如特许第1783068号公报所公开的 边对冷轧后的金属板施加屈服点以下的张力;