PDF《真空名词术语定义 真空名词术语定义》

24、油扩散真空泵 扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流.在分子流条件下,气体分子不断地向蒸流中扩散,并被蒸汽带向泵出口处逐级被 压缩后再由前级泵排除.

25、低温真空泵 利用 20K 以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵.

26、冷阱(水冷挡板) 置于真空容器和泵之间,用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置.

27、气镇阀 油封机械真空泵的压缩室上开一小孔,并装上调节阀,当打开阀并调节入气量,转子转到某一位置,空气就通过 此孔掺入压缩室以降低压缩比,从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇 阀.

28、真空冷冻干燥 真空冷冻干燥,也称升华干燥.其原理是将材料冷冻,使其含有的水份变成冰块,然后在真空下使冰升华而达到 干燥目的.

29、真空蒸镀 在真空环境中,将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀,或叫真空镀膜.

30、真空干燥 利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法.

31、真空系统常用名称 (1)主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是 主泵. (2)前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵.如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前 级泵. (3)粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵.如真空镀膜机中的滑阀泵, 第3页共3页就是粗油泵. (4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵.为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工 作,此泵叫维持泵.如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵. ........