PDF《离子渗 氮是20世纪7》

3 . 升温 升温 时 ,应注 意两点 :一是 控制 好辉光 厚度 ;

二 是掌握好升温速度.将增 大辉光 电流和增加氯气流量交 替进行 ,使辉光厚度保持一致 .增大辉光 电流 ,升温功 率增加 ,需加 大氨气流量 ,增加导 电离子数量 ,不然辉 光电流调不上去,辉光厚度也要变厚.随时注意观察工 件温度,并根据工件温度的高低,增大或减小辉光电 流,调节升温速度.对易变形工件,应缓慢升温,并在

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0 ~ C左右停顿 一段时 间 ,让工件温 度均匀 ,以减 小工 件变 形的趋势 .

4 . 冷却出炉 保温 结束后 ,工件 必须随 炉冷 却 ,冷却 方法有 以 下两种 : (

1 )关闭辉光 电源后 ,关闭蝶 阀,停泵,过 几分 钟再关 闭氨气流量计 ,使 炉内充入 一定量 氨气 ;

也 可立 即关 闭氯 气流量计 ,停止供 气,让 工件在 原渗氮气氛中 随炉冷却 ,同时关 闭氨瓶 阀和氨气减压器 . (

2 )关闭辉光 电源后 ,关 闭氨气流量 计 ,不停真 空泵 ,边抽真空边冷却 . 推荐使用第一种方法 ,因为充一定的氨气,一方 面可增加工件对流传热效果 ,工件冷却快 ;

另一方面关 停真空泵 ,节 电节能 ,可延长真空泵 的使 用寿命 .第二 种方法工件冷却慢 ,如果炉体密封不好 ,空气会进入炉 体内,工件会局部氧化 ,出炉后表面颜色不好看 ,且浪 费能源. 工件温度降至250℃以下时可关冷却水,降 至150~C以下 出炉 ,工件表面颜色才好看 . 出炉后 最好 同时装 入下 一炉 工件 .若暂 时不 装入 工件 ,应 将炉 罩吊回到炉底上 ,并抽真空 ,使炉内始终 处于真空 状态 ,以防止 炉体腐蚀生锈 . 出炉后的工件非渗氮部位应及时涂油防锈 .

5 . 日常维护 离子 渗氮炉 的13常维护非常重要 ,必须认真对 待.该工作做好了,一方面可保证工艺稳定性 ;

另一方 面可延长设备的使用寿命 .笔者认为重点有以下几点 : (

1 )定期检查冷却水进出水管是否畅通 ,水压是 否正常. R e s e a r c 矗&

铆胁 砌l!壅苎皇里柱部件阴阳极之间的绝缘性能. 如果 阴极输电装置和热电偶装置是独立的两个部 件,尤其要注意热电偶的绝缘性.如果热电偶是陶瓷管 或玻璃管绝缘 ,经常会 因为震动而发生破裂 ,必须 经常 检查 .推荐采用阴极输 电测温一体化装 置 ,该装 置是将 不锈钢外壳的热电偶直接穿过阴极杆,热电偶外壳与阴 极 同电位 ,而热电偶芯与其外壳是绝缘的 ,这样就从根 本上 消除了热 电偶打弧的隐患 ,而且可以直接测量 阴极 ( 工件)的温 度.此结 构更换热电偶时要注意 ,除要求 型号 、规 格一 致外 ,还 要求 热 电偶芯 与外 壳(不锈钢 管 )绝缘 ,以免高压直 流信号通过热 电偶芯线传至测温 仪表 , 烧坏仪表,且外壳顶端密封性好,以免影响炉膛 内的真空 度.接热 电偶导 线时 ,也要避免线头与热 电偶 外壳接触 . 支撑柱 部件 的护 隙宽度应 为lmm左右 ,发现 搭桥 应及时清理调 整.如果 发现 绝缘支柱上溅射物较厚 或 出现短路现象 ,应用砂布将溅射沉 积物 打磨干净后再 使用 . 阴阳极 间绝缘 电阻的 测量 方法是 :断 开热 电偶 线 和阴极连线 ,在非真空状态 下 ,用 l o o o v~ E 欧表 ( 俗称 摇表)测量阴阳极间的电阻,其绝缘电阻阻值应不低于 4M Q . (

3 )定 期用无水酒精 或丙 酮擦洗观察 窗玻璃上的 溅射物 ,便于观 察工件的实际温度. (