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北京世纪金光半导体有限公司 碳化硅单晶片生产项目 环境保护验收监测报告 建设单位:北京世纪金光半导体有限公司

2016 年4月I目录第1章总则.

1 1.1 前言.1 1.2 编制依据.1 1.3 调查目的.2 1.4 调查原则.3 1.5 调查工作程序.3 1.6 调查范围和内容.5 1.7 验收采用的标准.6 1.8 环境保护目标.7 第2章项目概况.9 2.1 工程概况.9 2.2 建设规模及内容.13 2.3 工艺流程.18 2.4 项目组织机构、医用设备及原辅材料

21 2.5 公用工程.23 2.6 环保工程.25 2.7 建设现状调查.27 第3章自然和社会环境概况.28 3.1 自然环境概况.28 3.2 社会环境概况.30 3.3 项目所涉及到的基础设施概况

32 第4章环境影响评价结论和建议.34 4.1 环评报告回顾.34 4.2 环评批复要求.38 第5章项目初步调查概况.41 5.1 环境治理各单元调查概况

41 5.2 环境管理制度.44 5.3 环境监测计划.45 5.4 环保投资落实情况.46 第6章主要污染源及治理情况调查.47 6.1 污染源及治理措施调查.47 6.2 项目环境主要污染防治措施落实情况

50 II 第7章环境影响与污染源达标情况调查.51 7.1 废水环境影响调查与分析

51 7.2 废气环境影响调查与分析

52 7.3 噪声环境影响调查与分析

52 7.4 固废环境影响调查与分析

53 第8章总量控制污染物排放情况调查.55 8.1 污染物总量控制.55 8.1.1 国家对污染物总量控制规定

55 8.1.2 北京市对污染物总量控制规定.55 8.2 污染物总量核算.55 第9章验收调查结论及建议.57 9.1 调查结论.57 9.2 调查建议.59 9.3 调查总结论.59

1 第1章总则 1.1 前言 北京世纪金光半导体有限公司成立于

2010 年12 月24 日,注册地址位于北 京市北京经济技术开发区通惠河干渠路

17 号院

2 号楼

3 层、4 层、5 层.经营范 围为:生产砷化镓单晶片、碳化硅单晶片;

销售电子产品、电子元器件;

技术转 让、技术咨询、技术服务;

货物进出口、代理进出口.

2011 年1月7日,北京世纪金光半导体有限公司取得北京经济技术开发区 环境保护局 关于北京世纪金光半导体有限公司碳化硅单晶片生产项目环境影响 报告书的批复 (京技环审字[2011]007 号) .取得批复后,设备经过安装调试, 于2015 年10 月投入试运营. 经试运营北京世纪金光半导体有限公司各项环保设 施均已投入正常运行,符合验收条件.2016 年3月,北京世纪金光半导体有限 公司申请验收. 受北京世纪金光半导体有限公司委托, 北京中企安信环境科技有限公司承担 《北京世纪金光半导体有限公司碳化硅单晶片生产项目环境保护验收调查报告》 的编制工作,由建设单位报送开发区环保局审批. 本项目取得批复后,北京世纪金光半导体有限公司出于环保方面的考虑,将 砷化镓生产线搬迁至外地建设, 不在北京经济技术开发区进行砷化镓单晶片的生 产,故本次验收只针对碳化硅

30 万片单晶片的生产(情况说明见附件) . 1.2 编制依据 1.2.1 环境保护法律、法规 (1) 《中华人民共和国环境保护法》 (2014 年修订、2015 年1月1日实施) ;

(2) 《中华人民共和国大气污染防治法》 (2004 年4月19 日修正) ;

(3) 《中华人民共和国环境噪声污染防治法》 ) (1996 年10 月29 日) ;

(4) 《中华人民共和国水污染防治法》 (2008 年2月28 修正) ;

(5) 《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》 (2004 年12 月29 日修订) ;

(6) 《中华人民共和国清洁生产促进法》 (中华人民共和国主席令第

72 号) ;

(7) 《中华人民共和国循环经济促进法》 (中华人民共和国主席令第

4 号) ;

(8) 《国家危险废物名录》 (2008 年8月1日实施) ;

2 (9) 《危险废物转移联单管理办法》 (国家环境保护总局令第

5 号) ;

(10) 《废物集中处置技术规范》 (环发[2003]206 号,2003 年12 月26 号) ;

(11) 《建设项目竣工环境保护验收管理办法》 (国家环保总局第

13 号,

2001 年12 月27 日颁布并实施) . 1.2.2 技术导则 (1) 《环境影响评价技术导则 总纲》 (HJ2.1-2011) ;

(2) 《环境影响评价技术导则 声环境》 (HJ2.4-2009) ;

(3) 《环境影响评价技术导则 大气环境》 (HJ2.2-2008) ;

(4) 《环境影响评价技术导则 地面水环境》 (HJ/T2.3-93) ;

(5) 《环境影响评价技术导则 地下水环境》 (HJ/610-2016) ;

(6) 《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ/T169-2004). 1.2.3 建设项目有关资料 (1)北京世纪金光半导体有限公司提供的《营业执照副本》 ;

(2)北京世纪金光半导体有限公司提供的与北京金隅红树林环保技术有限 责任公司签定的《危险废物处置协议》 ;

(3) 《北京世纪金光半导体有限公司碳化硅单晶片生产项目建设项目环境影 响报告书》 (北京市劳动保护科学研究所, 国环评证乙字第1026号, 2010年11月) ;

(4) 《 北京世纪金光半导体有限公司碳化硅单晶片生产项目》环评批复(京 技环审字[2011]007 号) ;

(5)废气检测报告(北京联合置业检验检测有限公司,2016 年2月) ;

(6)废水检测报告(北京联合置业检验检测有限公司,2016 年3月) ;

(7)北京世纪金光半导体有限公司停止生产砷化镓的说明(见附件 8) ;

(7)北京世纪金光半导体有限公司提供的其他相关资料. 1.3 调查目的 (1)调查项目生产运行和管理等过程中落实环境影响报告书中所提出的环 保措施的情况,以及对环境影响报告书批复要求的落实情况. (2)调查工程在废水、噪声、固体废物等方面所采取的环境保护与污染控 制措施的运行效果,调查环境管理水平,对不完善的措施和环境管理制度提出改

3 进意见. (3)根据验收监测反映出的环境问题及潜在的环境影响,提出环境保护补 救措施. (4)按《建设项目竣工环境保护验收管理办法》中的要求,分析环境现状 检测结果,从技术角度全过程论证运营以来污染源达标情况和存在的环境问题, 为环保行政部门提供该项目竣工环境保护验收技术文件和验收依据. 1.4 调查原则 (1)认真执行国家和地方有关的环保法律、法规、规定和规范性文件,符 合区域环境功能区划的要求. (2)坚持 污染防治 的原则. (3)坚持 客观、公正、科学、实用 的原则. (4)坚持 现场监测、实地调查与理论分析相结合 的原则. 1.5 调查工作程序 本次建设项目环保验收调查实施程序见图 1-1.

4 图1-1 建设项目环保验收调查工作流程图

5 1.6 调查范围和内容 1.6.1 调查范围 主要调查项目环境影响和环境保护措施的落实情况及治理效果,范围如下: (1)项目运营期环境影响调查 调查运营期主要污染物、污染防治措施落实情况及环境影响. (2)环保投资调查 调查项目环保投资的金额,占总投资的比例、投资项目、环境保护对象等与 环评报告书中所论述内容的相符性. (3)环境管理情况调查 调查项目运行期管理制度的制定、执行、监督情况. 1.6.2 调查内容 (1)大气环境 调查项目生产废气来源及处理情况、废气排放量和达标情况. (1)水环境 调查项目生产废水、综合污水来源及处理情况、污水排放量和达标情况. (2)声环境 调查项目的产噪设备噪声强度及噪声影响程度,厂界噪声达标情况. (3)固体废物 调查项目一般工业固体废物、危险废物的产生、收集、处理情况. (4)其他 调查项目现行的环保制度及执行情况. 1.6.3 调查因子 项目现状调查因子,详见表 1-1 所示. 表1-1 调查评价因子列表 类别 调查评价因子 废水 pH、SS、COD、BOD

5、砷、氨氮、石油类 废气 含砷气体、甲醇、氨气、氯气、非甲烷总烃 噪声 等效连续 A 声级(LAeq) 固体废物 一般工业固体废物、危险废物 管理措施 本项目的各种环保规章制度的建立与执行情况

6 1.6.4 调查重点 核实项目环评报告书及批复中所提到的环保措施的落实情况,调查生产废 气、废水处理及达标排放情况、厂界噪声达标情况,以及危险废物、一般工业固 体废物、生活垃圾处理情况等. 1.7 验收采用的标准 根据北京经济技术开发区环保局 《关于对北京世纪金光半导体有限公司碳化 硅单晶片生产项目环境影响报告书的批复》 (京技环审字[2011]007 号) ,本项目 环境保护验收调查所采用的环境标准与原批复(京技环审字[2011]007 号)所采 用的标准一致,对已修订新颁布的标准采用新标准进行校核. 项目污染物排放执行如下标准: (1)水污染物排放标准 该项目反渗透处理、切片清洗和研磨等过程产生的废水,分别经污水处理设 施处理后达标排放.东区污水厂运营前,该项目生活污水排放执行北京市《水污 染物排放标准》 (DB11/307-2005)中排入地表水体及其汇水范围的水污染物排放 限值的相关标准,如CODcr100mg/L,BOD530mg/L,pH6-9,SS80mg/L 等.东 区污水处理厂运营后污水排放执行北京市 《水污染物排放标准》 (DB11/307-2005) 中 排入城镇污水处理厂的水污染物排放限值 中的各项指标. 其中总砷在车间处 理设施排放口达标. 路东区污水处理厂已经建成,本项目污水排放应执行北京市《水污染物排放 标准》 (DB11/307-2005)中 排入城镇污水处理厂的水污染物排放限值 中的各项 指标,该标准已经更新为北京市《水污染物综合物排放标准》 (DB11/307-2013) , 故本项目污水排放执行北京市《水污染物综........