PDF《部分信息技术产品最惠国税率表》

118 84861020 制作单晶硅或晶圆的研磨设备

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119 84861030 制作单晶硅或晶圆的切割设备

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120 84861040 制作单晶硅或晶圆的化学机械抛光设备

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121 84861090 制作单晶硅或晶圆的其他设备

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122 84862010 制造半导体器件或集成电路用的热处理设备

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123 84862021 制造半导体器件或集成电路用的化学气相沉积装置

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124 84862022 制造半导体器件或集成电路用的物理气相沉积装置

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125 84862029 制造半导体器件或集成电路用的其他薄膜沉积设备

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126 84862031 制造半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机

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127 84862039 制造半导体器件或集成电路用的其他光刻设备

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128 84862041 ........