PDF《真空用X轴小型自动平台-5相步进电机》

G102 Motorized Stages 介绍 控制器/驱动器 软件 AC伺服 电缆 压电陶瓷 转动系列 摆动 选购件 40mm 60mm 80mm 85mm 100mm 120mm 应用系统 光学元件・ 薄膜产品 镜架 底座 手动平台 驱动装置 自动平台 光源 目录 直线运动系列 真空用 其它 步进电机 ?在电机部, 和极限位置传感器部处, 附有1m长的镀有聚四氟乙烯层的 电缆, 可用于直接连线到真空腔的插头部.

?关于CE认证的真空用小型自动平台, 请另外咨询. ?还备有其他多种真空用途的底板, 支架类产品. D023 信息 技术指标 型号 VSGSP-60(X) VSGSP-60(XY) VSGSP-60(Z) 机械 技术指标 行程 〔mm〕

20 20

20 台面尺寸 〔mm〕 55*60 55*60 55*60 丝杠 〔mm〕 精密研磨丝杠直径φ4 导程0.5 精密研磨丝杠直径φ4 导程0.5 精密研磨丝杠直径φ4 导程0.5 导轨形式 十字交叉滚柱 十字交叉滚柱 十字交叉滚柱 主要材料 铝合金 铝合金 铝合金 表面处理 无无无自重 〔kg〕 0.55 1.1 0.6 精度 技术指标 分辨率 (整步) 〔μm〕

1 1

1 (半步) 〔μm〕 0.5 0.5 0.5 最大速度 〔mm/sec〕

5 5 - 重复定位精度 〔μm〕

6 6

6 承载能力 〔N〕 29.4(3.0kgf) 19.6(2.0kgf) 14.7 (1.5kgf) 空行程 〔μm〕

5 5

5 传感器 种类 真空用极限位置传感器 真空用极限位置传感器 真空用极限位置传感器 极限位置传感器 接触式 接触式 接触式 原点传感器 无无无近接原点传感器 无无无电机/传感器技术指标 电机 类型 真空用5相步进电机 0.75A/相 (多摩川精机 (株) ) 型号 TS3664N5 (24mm) 步距角 0.72° 传感器 输出端电气特性 接触式 接触式 接触式 信号的含义 常开 常开 常开 推荐选用的驱动器/控制器型号 电器系统 驱动器 SG-5M, MC-S0514ZU, SG-514MSC, MC-7514PCL 控制器 SHOT-302GS, SHOT-304GS 真空用X轴小型自动平台-5相步进电机 VSGSP-60 可用于真空腔内的小型自动平台. 体积小, 不浪费真空腔的空间. G103 WEB http://www.sigma-koki.com/index.php?lang=cn E-mail [email protected] TEL +81-3-5638-8228 FAX +81-3-5638-6550 介绍 控制器/驱动器 软件 AC伺服 电缆 压电陶瓷 转动系列 摆动 选购件 40mm 60mm 80mm 85mm 100mm 120mm 应用系统 光学元件・ 薄膜产品 镜架 底座 手动平台 驱动装置 自动平台 光源 目录 直线运动系列 真空用 其它 步进电机 内六角螺栓 M4*10…4个VSGSP-60(X) 内六角螺栓 M4*10…4个VSGSP-60(XY) 内六角螺栓 M4*15…2个VSGSP-60(Z) (115.5) 27.8

60 20

20 2-M4 深8 4-M4 深8

55 22

22 20

20 (97.8) 可动范围10 可动范围10 4-φ4.5安装孔 φ7.5沉孔

40 40 4.5

28 27

15 3 (127.6) 可动范围10 可动范围10 4-M4 深8 2-M4 深8 可动范围10 可动范围10

55 22

22 20

20 60

20 20 (146.2)

40 56

43 15

3 4.5

40 4-φ4.5安装孔 φ7.5沉孔

8 2-M4 深8 4-M4 深8

60 40 (128) (97.4)

60 27.8

40 40

55 44

40 5

53 2-φ4.5安装孔 聚四氟乙烯电缆 1m 聚四氟乙烯电缆 1m 聚四氟乙烯电缆1m W9081 目录编号 外形图 真空用极限位置传感器 GND (OV) 黑导线 电机侧 (+) 极限位置传感器 LS (+) 白导线 非电机侧 (-) 极限位置传感器 LS (-) 红导线 电机侧, 非电机侧极限位置传感器的使用条件为 [常开] . 关于真空用平台的接线方法 真空用平台使用的是真空用步进电机 (型号: TS3664N5) , 它有5根外接导线. 接线时, 请参考下图所示信息. (注意: 驱动器等说明书中提到的电缆接线图中所示的电机导线, 都是普通步进电 机用的接线图. 如下图所示, 它们的接线图是不同的. ) 真空用步进电机导线颜色 蓝蓝红红红白橙黄绿黑黑普通步进电机用电机导线颜色 真空用步进电机接线图 5相步进电机的接线图 (SGSP系列)