PDF《MEMS气体质量流量计》

气体质量流量计 MEMS 系列 MF5700 在使用本产品之前,请您仔细阅读说明书,并请 妥善保管,以备将来需要 气体质量流量计 气体质量流量计 提供世界领先的 流量传感器技术及产品,以满 MEMS ? 传感芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了流量计的高精度计量 ? 灵敏度高,能够对极小的始动流量就可以开始计量 ? 在单个芯片上实现了多传感器集成,使其量程比达到了50:1甚至更高 ? 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性 ? 支持多种气体的测量,允许客户对某些特殊气体进行现场标定 ? 响应速度快 ? 输出方式灵活,提供LCD现场显示,也可提供RS485通讯接口由上位机查询输出数据 ? 可通过按键配置参数 ? 具有超量程报警指示功能 ? 便携式设计,电池供电和外部供电方式可以任意切换 ? NPT连接方式,易于安装与使用 也可根据客户需求定制其他接口 , 1.

产品特点 2.产品应用 医药行业 食品行业 化工行业 科研院校 机电行业 烟草行业 农林渔业 饮料行业 玻璃行业 分析仪器行业 广州纹徕仪器仪表有限公司 产品说明书

1 足客户广泛 的应用需求.本手册为现有定型产品的使用说明,我司也能够根据客户要求设计和定制产品. 进一步的信息,请直接与我司联系. MF5700系列气体质 原理是利用流动气体传热传质的依存关系,在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量. 该流量计同时实现热源的产生与温度的测量.当芯片处于工作状态时,在传感器的周边形成稳定的 温度场分布.一旦一定质量的气体流过传感器时,气体的流动将破坏该温度场的分布,形成特定 并把这一变化转换为电信号,由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理. 由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不同,因而能测量气体的 质量流量或总流量.下图为该系列流量计的原理框图. 3.工作原理 放大器

0 0 A/D 转换器 u1 x1 (Pin3)VCC MEMS流量 传感芯片 缓冲器 滤波器 电源 模块 驱动 电路 3V供电 信号调理电路 3V 高速 微控制器 RS

485 通讯接口 报警模块 (可选) RS485A RS485B (Pin4)GND EEPROM存储器 (3.6~9)VDC 显示与按 键驱动 LCD 显示器 按键检测 接口 RTC模块 电池 电路 选配线缆 量流量计是基于广州纹徕仪器仪表有限公司自主研制的MEMS流量传感芯片,其的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布. 纹徕仪器仪表流量计芯片上的传感器将测量这一变化 产品说明书

2 4.性能指标 精度 ± (2+0.5FS) ± (2.5+0.5FS) ± (2.5+0.5FS) % 重复性 % 响应时间 sec 供电方式 功耗 mW 输出方式 显示方式 显示单位* 显示分辨率 0.01 0.1 0.1 L/min 键盘 功能描述 工作压力 MPa 工作温度 ℃ 压力损耗 Pa 工作时间周期(电池) 天 标准校准气体 引出线 管径 12mm mm 机械接口** NPT 1/2 重量 g 约350 ≤

2 ≤

10 ≤ 0.8 -10 ~

55 4节AA电池或外部适配电源 >

60 ≤2500 RS485 (选配)

3 瞬时流量:SLPM (L/min);

累积流量:NCM (m ) ? NPT 1/4 6mm 三个按键 密码设置;

总量设置和清零;

报警功能 氮气 专用miniUSB连接通讯电缆(选配) 0.5 LCD ≤200 ≤2000 * SLPM-标准升每分钟,NCM-标准立方米;

** 可根据要求定制. MF5706 性能参数 MF5712 单位 产品说明书

3 量程 0-10 0-25 0-200 L/min 注: 1)按照箭头指示方向接入气流,如果反接,则显示的流量将始终为0;