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捷捷半导体有限公司年产

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4 英 寸半导体分立器件芯片及 11.

48 亿只 半导体分立器件项目 环境影响报告书 (送审稿) 捷捷半导体有限公司 二一八年二月 捷捷半导体有限公司年产

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4 英寸半导体分立器件芯片及 11.48 亿只半导体分立器件项目 II 目录1概述.1 1.1 项目由来.1 1.2 项目特点.2 1.3 环评工作过程.2 1.4 分析判断相关情况.3 1.5 关注的主要环境问题及环境影响.5 1.6 主要结论.6

2 总则.7 2.1 编制依据.7 2.2 评价因子与评价标准.11 2.3 评价工作等级和评价范围.19 2.4 环境保护目标.22 2.5 相关规划及环境功能区划.22

3 建设项目工程分析.35 3.1 建设项目概况.35 3.2 生产工艺流程及物料平衡.47 3.3 建设项目水平衡.65 3.4 建设项目产污环节及污染源强核算.69 3.5 本项目环境风险评估.87 3.6 生态影响分析.90 3.7 清洁生产分析.92

4 环境现状调查与评价.104 4.1 自然环境现状调查与评价.104 4.2 环境质量现状调查和评价.106 4.3 区域污染源调查与评价.122

5 环境影响预测与评价.123 5.1 大气环境影响预测与评价.123 5.2 地表水环境影响预测与评价.145 5.3 噪声影响预测与评价.147 5.4 地下水环境影响分析.149 捷捷半导体有限公司年产

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4 英寸半导体分立器件芯片及 11.48 亿只半导体分立器件项目 III 5.5 固体废物环境影响分析.150 5.6 施工期环境影响分析.152 5.7 环境风险分析.155

6 环境保护措施及可行性论证.167 6.1 废气治理措施评述.167 6.2 废水治理措施评述.174 6.3 噪声治理措施评述.186 6.4 固废防治措施评述.187 6.5 土壤和地下水保护措施评述.189 6.6 环境风险防范措施.190 6.7 排污口规范化设置.194 6.8 环境保护措施、投资汇总及 三同时 一览表.194

7 环境影响经济损益分析.197 7.1 经济效益分析与社会效益分析.197 7.2 环境效益分析.198 7.3 环境经济损益分析.198 7.4 污染物总量控制分析.198

8 环境管理及监测计划.201 8.1 环境管理.201 8.2 环境监测.205 8.3 三同时 验收监测方案.213

9 环境影响评价结论.214 9.1 建设概况.214 9.2 环境质量现状.214 9.3 污染物排放情况.215 9.4 主要环境影响.216 9.5 公众意见采纳情况.217 9.6 环境保护措施.217 9.7 环境影响经济损益分析.218 9.8 环境管理与监测计划.219 9.9 总结论.219 捷捷半导体有限公司年产

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4 英寸半导体分立器件芯片及 11.48 亿只半导体分立器件项目

1 1 概述 1.1 项目由来 半导体行业是我国信息产业化的支柱产业之一,国家出台了一系列鼓励半导体企业发展的 政策.近年来,中国国内电子信息产业发展迅速,并迅速成为全球最大的电子产品制造基地. 汽车电子、网络通信、工业控制、消费电子都是未来对半导体器件需求增长较快的领域,各应 用领域都保持稳定增长的势头;

同时,随着我国特高压直流输电、高压变频、交流传动机车/ 动车组、城市轨道交通、电动汽车等技术的发展和市场需求的增加,对超大功率器件的需求非 常紧迫,而且需求量非常大;

作为电子信息产业发展的基础,国产电子元器件是决定电子信息 工业发展的根本,国家鼓励民族工业发展核心技术,围绕市场热点创造自主可控的基础产业. 在这一背景下,扩大电力电子器件产品的产能,提高我国电力电子器件产品自给率,是我国电 力电子器件产业发展的必然要求.2013年,中国功率半导体分立器件市场较2012年同比增长 8.4%,市场规模再创新高,达到749.4亿元,功率半导体分立器件作为中国发展信息化及网络 强国的核心器件,未来将迎来新一轮的发展阶段.预计2015年,中国功率半导体分立器件市场 增速为9.0,规模将突破800亿元.未来三年,预计中国功率半导体分立器件市场规模复合增长 率高达9.7%,整体销售规模将进一步提高. 江苏捷捷微电子股份有限公司前身是启东市捷捷微电子有限公司,自1995 年开始从事半 导体分立器件的专业生产,是国内最早生产方片式单双向可控硅的厂家,也是国内单双向可控 硅品种最齐全的专业生产厂家之一,为单、双向可控硅的国产化事业做出了贡献.2011 年8月公司经整体改制设立为股份公司,专业从事功率半导体分立器件的研发、设计、生产和销售, 依托自主创新能力,开发并生产种类齐全、应用广泛的功率半导体分立器件. 为适应市场需求,完善公司可控硅产品线和半导体防护器件产品线,推出具有更高性能的 功率器件和半导体防护器件产品,江苏捷捷微电子股份有限公司设立全资子公司捷捷半导体有 限公司,捷捷半导体有限公司位于苏通科技产业园纬十七路南侧,经十九路东侧,经三十路西, 纬三十二路以北.捷捷半导体有限公司拟投资 48177.35 万元,建设电力电子器件芯片生产线和 配套成品封装线

1 条、半导体防护器件芯片生产线和配套成品封装线

1 条及工程技术研发中心, 年产出

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4 英寸半导体分立器件芯片及 11.48 亿只半导体分立器件.其中年产 Φ4 英寸电 力电子器件圆片

42 万片及自封装电力电子器件 4.28 亿只 、 年产半导体防护器件 Φ4 英寸圆片

48 万片及自封装半导体防护器件 7.2 亿只和建成超快恢复功率二极管研发试验线、功率 MOSFET、 IGBT 研发试验线、碳化硅器件研发试验线三条新产品研发试验线及一个产品性能检测和试验 捷捷半导体有限公司年产

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2 站.产品广泛应用于家用电器、消费电子、电力系统产品、汽车电子等众多领域. 根据《中华人民共和国环境保护法》、《建设项目环境保护管理条例》(中华人民共和国 国务院令第

253 号)、《中华人民共和国环境影响评价法》中有关规定,本项目需进行环境 影响评价.根据《建设项目环境影响评价分类管理名录(2017)》,本项目属于 二十八 计算 机、通信和其他电子设备制造业 中

81 电子真空器件、集成电路、半导体分立器件制造、光 电子器件及其他电子器件制造 的 显示器件:含前工序的集成电路 类,应当编制环境影响评 价报告书.为此,捷捷半导体有限公司于

2017 年11 月委托苏州合巨环保技术有限公司对捷捷 半导体有限公司年产

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4 英寸半导体分立器件芯片及 11.48 亿只半导体分立器件建设项 目进行环境影响评价.我公司接受委托后,认真研究该项目的有关资料,并踏勘现场的社会、 自然环境状况,调查、收集有关建设项目资料,根据项目所选区域的环境特征、该项目的工程 特征等有关资料 , 编制了本项目环境影响评价报告 , 为环境保护行政主管部门批准立项的依据 . 1.2 项目特点 本次项目位于苏通科技产业园海悦路南侧,经十九路东侧,经三十路西,纬三十二路以北, 建设性质为新建,主要特点有:

1、本项目生产工艺可分为芯片制造(又称前工序)、成品电力电子器件封装(又称后工 序),芯片制造生产时产生的废气以酸性废气为主,主要污染物为氟化物、氯化氢、硫酸雾、 硝酸雾等,通过车间吸风装置进行收集后进入废气洗涤塔,采用碱液喷淋的方法净化,配套

30 米高的排气筒(1#、2#、3#);

封装生产线中的表面处理工序委外,不在本次评价内;

2、本项目排水主要来源于生产工艺中产生的废水,根据产生废水产污环节,本项目废水 分为用试剂清洗硅片产生高浓废水、纯水清洗硅片产生的普通工艺废水、抛光和划片产生的磨 片废水,每股水由单独集水池收集并通过独立管道输送到厂内污水处理厂且采用不同的工艺处 理,实现分质输水和分质处理 . 废水经厂内污水站处理后接入开发区第二污水处理厂达标排放 ;

3、根据现场勘查,项目周边以工业用地为主,厂界周边不存在对本项目建设的制约性因 素.周边距离本项目最近的环境敏感保护目标为农场老场部,距离本项目北侧厂界最近距离为

600 米.

4、距离项目周边最近的生态保护区为老洪港湿地公园,位于项目西北侧约 7.3km,离项 目地较远,项目建设对其生态影响较小. 1.3 环评工作过程 根据《建设项目环境影响评价技术导则-总纲》(HJ2.1-2016)等相关技术规范的要求,环境 捷捷半导体有限公司年产

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3 影响评价工作一般分为三个阶段,即调查分析和工作方案制定阶段,分析论证和预测评价阶 段,环境影响报告书(表)编制阶段.拟建项目环境影响评价的工作过程环境影响评价工作程 序见图 1.3-1. 图1.3-1 环境影响评价工作程序图 1.4 分析判断相关情况 (1)与产业政策和现有环保政策相符性 编制环境影响报告书(表) 捷捷半导体有限公司年产

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4 本项目属于半导体分立器件制造、光电力电子器件及其他电子器件制造项目,不属于国家 《产业结构调整指导目录(2011 年本)2013 年修改版》、《江苏省工业和信息产业结构调整 指导目录》 (苏政办发[2013]9 号) 、 《关于修改部分条目的通知》(苏经信产业[2013]183 号),中淘汰类项目分析判定建设项目,且 本项目已在江苏南通苏通科技产业园行政审批局备案(苏通管项【2015】23 号);

本项目采用了较为先进的工艺,新建的

101 厂房为万级洁净车间,生产设备较先进,产品 质量稳定,符合清洁生产、循环经济和节能减排要求,所以项目符合国家和地方有关环境保护 法律法规和标准;

(2)与苏通科技产业园用地规划相符性 本项目位于苏通科技产业园纬十七路南侧,经十九路东侧,经三十路西,纬三十二路以北, 根据苏通科技产业园土地规划,项目地块规划为一类工业用地,符合苏通科技产业园土地规划 要求和选址要求;

(3)项目和 三线一单 的相符性分析: ① 与生态保护红线相符性 本项目位于距老洪港湿地公园东南侧方向,距离 7.3km;

项目位于老洪港应急水源保护区 东南侧方向,距离 7.6km.项目不在划定的生态红线

一、二级管控区内,选址符合《江苏省重 要生态功能保护区区域规划》、《江苏省生态红线区域保护规划》. ② 与环境质量底线相符性 评价区域大气环境质量良好,且项目在苏通科技产业园,项目周边以工业用地为主,远离 环境敏感保护目标,正常情况下,项目废气经各废气治理措施处理排放对评价区域环境敏感目 标影响较小;

本项目员工生活废水及生产废水经厂区预处理后接入污水管网送开发区第二污水 处理厂处理,最终经开发区第二污水处理厂处理达《城镇污水处理厂污染物排放标准》 (GB18918-2002)一级 A 标准后排入长江,本项目清下水则直排雨水管网,排入附近水体;

产生的危险废物委托有资质单位处置;

高噪声设备经采取减振、隔声等降噪措施后,不会引起 所在区域声环境质量功能的改变.另外经预测分析,项目建成后污染物采取有效措施后均能达 标排放,不会降低环境质量底线. ③ 与资源利用上线相符性 本项目生产过程中所使用的资源主要为水资源、电、土地. 项目所在地工业基础好,工业用水有保证,且本项目循环冷却系统排水可以作为设备、地 面冲洗用水,减少了水的用量;

电能由园区直接供电,园区电力丰富,能够满足项目用电需求, 捷捷半导体有限公司年产

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5 项目用地为捷捷半导体有限公司新征土地

65216 平方米,不新增土地.因此,本项目符合资源 利用上线标准. ④ 与环境准入负面清单相符性 本项目为国民经济的行业类别中的 C3972 半导体分立器件制造,不属于《产业结构调整 指导目录(2011 年本)》及(《国家发展改革委关于修改有关条款的的决定》,国家发展改革委第

21 号令,2013 年2月16 日)和《江苏省工业和信 息产业结构调整指导目录(2012 年本)》及(《关于修改部分条目的通知》,苏经信产业[2013]183 号,2013 年3月15 日)中的 淘汰和限制类项目. 本项目不属于《江苏省工业和信息产业结构调整限制、淘汰目录和能耗限额》(苏政办发 [2015]118 号)中限制类和淘汰类项目. 本项目不属于《限制用地项目目录(2012 年本)》 、 《禁止用地项目目录(2012 年本)》、 《江苏省限制用地项目目录(2013 年本)》和《江苏省禁止用地项目目录(2013 年本)》中 的建设项目. 不属于《南通市工业结构调整指导目录(2007 年本)》中的淘汰类和限制类项目,亦不属于 其它相关法律法规要求淘汰和限制的产业. 因此本项目符合《关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知》环环评 [2016]150 号文件要求. 经过上述分析判断后,可开展环境影响评价工作. 1.5 关注的主要环境问题及环境影响 本次评价主要关注的环境问题是建设项目建成营运后项目生产对周边环境的影响以及发 生的可预测突发性事件或事故(一般不包括人为破坏及自然灾害)引起有毒有害、易燃易爆等 物质泄漏,或突发事件产生新的有毒有害物质,所造成的对人身安全与环境的影响.本项目关 注的环境问题及环境影响是: (1)运营期工艺废气,主要为酸碱废气、有机废气、 锅炉燃烧废气等对周边环境的影响;

(2)营运期产生的工艺废水对周边环境的影响;

(3)运营期冷却塔、空调机组、生产设备等噪声对周边环境的影响;

(4)运营期各类溶剂贮存过程中可能引发的环境风险. 捷捷半导体有限公司年产

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6 1.6 主要结论 ⑴ 项目不属于国家《产业结构调整指导目录(2011 年本)2013 年修改版》、《江苏省工 业和信息产业结构调整指导目录》(苏政办发[2013]9 号)、《关于修改部分条目的通知》(苏经信产业[2013]183 号)及《南通 市工业结构调整指导目录》(南通市发改委

2007 年4月30 日)中限制类和淘汰类项目;

⑵ 项目地块性质为工业用地,符合苏通科技产业园土地利用规划;

⑶ 项目各项污染物经采取有效措施后可实现达标排放;

⑷ 经预测分析,项目建成后污染物采取有效措施排放不会降低区域环境功能类别;

⑸ 项目各污染物总量可满足区域总量控制要求;

⑹ 项目从原辅料、工艺、设备、能耗物耗及污染物排放等方面加强管理、源头控制、综合 利用、末端治理,........