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成都科美特特种气体有限公司 年产3500吨半导体用电子级三氟化氮气体生产线 技改项目 环境影响报告书 (公示本) 四川省环科源科技有限公司 二一八年一月 1-1

1 总论1.

1 建设项目的由来及意义 成都科美特特种气体有限公司(以下简称 公司 或 科美特公司 ) 创建于

2006 年,目前位于四川省彭州市的成都航空动力产业园南区 新增区域内,属民营股份制企业,是一家专业从事六氟化硫、四氟化 碳等产品生产的企业.公司现厂占地约

120 亩,经过多年的发展和壮 大,现具备年产六氟化硫

4000 吨和四氟化碳

1200 吨的生产能力,以及30 吨/年氟氮混合气体生产能力(目前未投入生产). 三氟化氮是一种工业特种气体,其主要用作推进剂(火箭)、氟 化剂、电子气、等离子蚀刻及用于掺杂、激光、光导纤维等,是超大 规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过 程不可缺少的基础性支撑原材料.三氟化氮的反应性与氟相似,具有 在等离子条件下释放氟(F)的能力,是一种热力学稳定的氧化剂. 350℃条件下其反应活性相当于氧(O),可作为游离基的供给源, 比氟气稳定且易于处理.基于以上性质,三氟化氮在等离子蚀刻工艺 中既可作为淀积等离子体增强化学沉积氮化硅源气体, 又可在蚀刻氮 化硅时作为腐蚀气体,其应用在化学气相沉积室的清洗中,可使生产 率提高 30%,排放物减少 90%,具有操作简便、清洁绿色等优点. 特别是在当前国家大力推进微电子产品以国产化替代进口的大环境 下,三氟化氮市场需求潜力十分巨大,社会效益十分显著. 基于以上三氟化氮特种气体的良好性能和广阔的市场前景, 成都 科美特特种气体有限公司为进一步在特种气体领域发展壮大, 拟在现 厂区预留用地内建设 年产

3500 吨半导体用电子级三氟化氮气体生 产线技改项目 ,该项目属公司的扩建工程,占地约

41 亩,总投资 2.65 亿元,已由彭 州市工业和科学技术信息化局以川投资备 1-2 [2017-510182-26-03-217336]JXQB-1444 号备案.目前, 该占地范围内 已建有生产厂房及配套用房、道路等构筑物,其环境影响登记表由彭 州市环保局以彭环登备[2016]18 号文备案 (见附件 6, 需要说明的是, 原公司拟建设 年产

3500 吨半导体用电子级三氟化氮气体和年产

150 吨六氟化钨生产线项目 ,后根据市场情况取消年产

150 吨六氟化钨 生产线).本次项目将在已建厂房等构筑物基础上进行扩建,并新建 部分公辅、环保设施.项目实施后公司将新增

3500 吨/年半导体用电 子级三氟化氮气体生产规模,有利于促进三氟化氮气体行业发展,提 升公司产品品种和市场竞争力,增加当地就业,为企业和社会带来良 好的经济效益. 按《环保法》、《环评法》要求,成都科美特特种气体有限公司 年产

3500 吨半导体用电子级三氟化氮气体生产线技改项目 必须 进行环境影响评价. 建设单位于

2017 年10 月委托四川省环科源科技 有限公司承担本项目的环境影响评价工作.环评单位在各级政府、相 关职能部门以及在协作单位的大力支持配合下,在现场踏勘、工程分 析、环境监测、公众调查等基础上,编制完成了本环境影响报告书. 经环保行政主管部门批准后可作为项目环境管理和环保设计的依据. 1.2 项目与产业政策和规划的符合性 1.2.1 项目与国家产业政策的符合性 本项目属科美特公司现厂的扩建工程,不新增用地,项目实施后 新增

3500 吨/年半导体用电子级三氟化氮气体生产规模.据国家发改 委《产业结构调整指导目录(2011 年本)(修正)》,本项目属于 鼓 励类 第九条化工类第

8 款 有机硅、有机氟及高性能无机氟化工产 品生产 . 项目已由彭州市工业和科学技术信息化局以川投资备1-3 [2017-510182-26-03-217336]JXQB-1444 号备案,见附件 1. 因此,项目符合国家产业政策. 1.2.2 项目与当地规划的符合性 项目位于成都航空动力产业园南区新增区域内,成都科美特特种 气体有限公司现有厂区内,占地约

41 亩,用地性质属工业用地,国 土证号:川(2017)彭州市不动产权第

0004215 号.目前该场地已建 有部分生产厂房,本项目将利用已建厂房并新增一个生产厂房,建成 后进行半导体用电子级三氟化氮气体的生产, 经分析项目符合园区规 划和规划环评要求.项目国土证见附件 2. 项目与园区规划和规划环评符合性分析详见 4.3 小节. 因此,项目选址符合当地规划. 1.2.3 项目与消耗臭氧层物质相关规定的符合性 项目位于成都科美特特种气体有限公司现有厂区内,建成后产品 为电子级三氟化氮,属特种气体. 项目生产的三氟化氮及公司现有产品六氟化硫、 四氟化碳均未列 入《中国受控消耗臭氧层物质清单》(环境保护部、国家发展和改革 委员会、工业和信息化部,公告

2010 年第

72 号);

项目生产过程中 采取多级精馏、吸附等措施提高三氟化氮纯度,三氟化氮达电子级、 作为产品外售,外排废气以氟化氢为代表性污染物、且采取了 五级 水洗 五级水洗+五级碱洗 等治理措施,含氟废碱液定期排出后, 在厂区专门设置的含氟废水处理装置处理后回用,不外排,固废分类 暂存、处理处置,符合《四川省控制温室气体排放工作方案》要求. 经分析,项目与消耗臭氧层物质相关规定相符. 1.3 评价目的和原则 本项目为成都科美特特种气体有限公司半导体用电子级三氟化 氮生产技改建设项目,建成后进行电子级三氟化氮的生产,在施工期 1-4 和运行期会不可避免地带来一些环境问题.因此,本次评价将针对这 些环境影响问题,并结合本工程的特点,坚持以下原则,达到以下目 的: 1)实现项目建设与当地自然、社会、经济、环境保护的持续协 调发展,即按可持续发展战略指导本项目的建设. 2)着重分析项目与国家、地方相关产业政策、文件的符合性;

3)从环境保护角度论证工程内容及选址的可行性和合理性. 4)环评中坚持 达标排放、总量控制、清洁生产 的原则. 5)梳理公司现厂已建工程情况,提出 以新带老 措施和 三 本账 计算. 6)从经济、技术角度论证项目污染防治措施的可行性. 7)合理设置评价专题,突出评价重点,评价内容具体、真实, 方法可靠. 8)强化项目环境风险防范措施及应急处置措施及预案. 1.4 编制依据 1.4.1 国家有关环境保护政策法规 1)《中华人民共和国环境保护法》(2015 年1月1日实施);

2) 《中华人民共和国大气污染防治法》 (2016 年1月1日实施) ;

3) 《中华人民共和国水污染防治法》 (2018 年1月1日施行);

4)《中华人民共和国环境噪声污染防治法》(1997 年3月1日施行);

5)《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》(2005 年4月1日施行);

6)《中华人民共和国水法》(2002 年10 月1日施行);

7)《中华人民共和国环境影响评价法》(修订后于

2016 年9月1日起施行);

8)《中华人民共和国清洁生产促进法》(2003 年1月1日起施 1-5 行);

9)《中华人民共和国节约能源法》(1998 年1月1日施行);

10)《国务院关于落实科学发展观加强环境保护的决定》(国发 [2005]39 号文);

11) 《国务院关于加快发展循环经济的若干意见》 (国发[2005]22 号文);

12)《国务院关于印发 十二五 节能减排综合性工作方案的通 知》(国发[2011]26 号文);

13)《产业结构调整指导目录(2011 年本)(修正)》(国家 发改委

2013 年第

21 号令);

14)中华人民共和国国务院令第

682 号《建设项目环境保护管理 条例》(2017 年7月16 日);

15)中华人民共和国国务院令第

591 号《危险化学品安全管理条 例》(2011 年2月16 日);

16)《建设项目环境影响评价分类管理名录》,国家环境保护部 (2015 年4月9日施行);

17)印发《关于加强工业节水工作的意见》的通知,国经贸资源 [2000]1015 号文;

18)国土资源部国土资发[2004]232 号《关于发布和实施 工业 建设用地控制指标(试行) 的通知》;

19)《关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知》 (国家环保部 环发[2012]77 号,2012 年7月);

20) 《关于切实加强风险防范严格环境影响评价管理的通知》 (国 家环保部 环发[2012]98 号,2012 年8月);

21)《环境影响评价公众参与暂行办法》(国家环保总局环发 2006[28 号],2006 年3月18 日起施行);

22)《重点区域大气污染防治 十二五 规划》(国家环保部、 1-6 国家发展和改革委员会、国家财政部环发[2012]130 号);

23)《大气污染防治行动计划》(国发[2013]37 号);

24)《国务院关于印发水污染防治行动计划的通知》(国发 [2015]17 号);

25)《环境保护部关于加强土壤污染防治工作的意见》(国家环 境保护部环发[2008]48 号);

26)《建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法》 (环发[2014]197 号);

27)《国务院关于印发土壤污染防治行动计划的通知》(国发 [2016]31 号);

28) 《国务院关于印发 十三五 生态环境保护规划的通知》 (国发[2016]65 号);

29)关于印发《重点流域水污染防治规划(2016-2020 年)》的 通知 (环境保护部、 国家发展和改革委员会、 水利部, 环水体[2017]142 号);

30)《消耗臭氧层物质管理条例》(国务院令第

573 号,2010 年4月);

31)关于发布《中国受控消耗臭氧层物质清单》的公告(环境保 护部、国家发展和改革委员会、工业和信息化部,公告

2010 年第

72 号). 1.4.2 地方有关环境保护政策法规 1) 《四川省 〈中华人民共和国环境影响评价法〉 实施办法》 (2007 年12 月);

2)川府发[1992]5 号文 四川省人民政府印发《四川省地面水水 域环境功能划类管理规定》的通知 ;

3) 《四川省人民政府关于加快发展循环经济的实施意见》 (2005 年12 月);

1-7 4) 四川省人民政府贯彻《国务院关于落实科学发展观加强环 境保护的决定》的实施意见 ;

5)川环函[2012]811 号文 四川省环境保护厅关于转发环境保护 部《关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知》和《关 于切实加强风险防范严格环境影响评价管理的通知》的通知 ;

6)四川省人民政府关于印发四川省大气污染防治行动计划实施 细则的通知(川府发[2014]4 号);

7) 四川省环境保护厅、 四川省发展和改革委员会等关于印发 《四 川省灰霾污染防治实施方案》的通知(川环发[2013]78 号文);

8)四川省人民政府关于印发《四川省 十二五 循环经济发展 规划的通知》(川办发[2011]79 号);

9)四川省环境保护厅办公室 川环办发[2013]179 号《关于进一 步落实好环境影响评价风险防范措施的通知》;

10)《水污染防治行动计划》四川省工作方案(川府发

59 号);

11)四川省人民政府关于印发《四川省控制温室气体排放工作方 案的通知》(川府发[2017]31 号);

12)《四川省生态保护红线实施意见》(川府发[2016]45 号). 1.4.3 国家及地方有关规划 1)《全国主体功能区规划》及《四川省主体功能区规划》;

2)《全国生态功能区划》及《四川省生态功能区划》;

3)《四川省国民经济和社会发展第十三个五年规划纲要 (2016-2020 年)》,2016 年1月29 日四川省第十二届人民代表大 会第四次会议通过;

4)《成都市国民经济和社会发展第十三个五年规划纲要 (2016-2020 年)》;

5)《彭州市国民经济和社会发展第十三个五年规划纲要 (2016-2020 年)》;

1-8 5)《彭州市土地利用总体规划(2006-2020)》;

6)《彭州市城市总体规划(2014-2030)》;

7)《成都航空动力产业园南区新增区域控制性详细规划 (2017-2025 年)》. 1.4.4 环境影响评价技术导则和相关规范 1)《环境影响评价技术导则-总纲》(HJ/T 2.1-2016);

2)《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ/T 169-2004);

3)《环境影响评价技术导则-大气环境》(HJ 2.2-2008);

4)《环境影响评价技术导则-地表水环境》(HJ/T 2.3-93);

5)《环境影响评价技术导则-生态影响》(HJ 19-2011);

6)《环境影响评价技术导则-声环境》(HJ/T 2.4-2009);

7)《环境影响评价技术导则-地下水环境》(HJ 610-2016);

9)《危险化学品重大危险源辨识》(GB18218-2009). 1.4.5 项目的工程文件及支撑性文件 1)《项目可行性研究报告》;

2)彭州市工业和科学技术信息化局出具的项目备案表;

3)成都市环境保护局关于《成都航空动力产业园南区新增区域 规划环境影响报告书》的审查意见(成环建评[2017]257 号);

4)项目用地国土证;

5)项目环境监测报告;

6)其他资料. 1.5 项目外环境关系 1.5.1 厂区外环境关系 本项目位于成都航空动力产业园南区新增区域内,利用成都科美 特特种气体有限公司现厂区内的预留用地进行建设,用地性质属工业 用地.项目位于彭州市城区下风向,项目下风向区域主要为园区已建 工企业.项目南距成都市城区绕城高速约 21km. 1-9 项目东距成绵 (复线) 高速约 650m, 西北距彭州市城区建成区 (即 天彭镇)最近约 1.7km(晋林小区),距爱国小区约 1.7km,北距景 丽小区最近约 1.3km,东北距九尺镇场镇约 5.5km,东距三邑镇场镇 约11km,东南距清流镇场镇约 6km,南距利济镇场镇约 5.4km,西 南距致和镇场镇约 2.5km,西侧距彭州城区华庆小区约 2.4km.此外, 项目南距六支渠最近距离约 2.2km,距青白江最近距离约 6.5km. 从近距离范围看, 项目西侧与成都科美特特种气体有限公司已建 四氟化碳和六氟化硫厂区(即现厂区)隔墙相邻,西侧距园区主干道 (东三环路)约260m;

北侧与四川科文建材科技有限公司隔墙相邻, 距四川亚通塑胶有限公司约 160m;

东侧隔园区道路约 20m 为四川恒 明科技开发有限公司;

南侧与成都市利民电器有限公司、四川省仁铭 印务有限公司隔墙相邻.整体说来,项目拟建地周边近距离范围内目 前均为园区已建工企业,而东侧约 180m 外现状为园区未使用、规划 工业用地.项目以生产车间、库房边界外划定 200m 区域形成的包络 线范围作为项目卫生防护距离,该范围内无住户,不涉及环保搬迁. 本项目出厂废水执行《无机化学工业污染物排放标准》(GB31573-2015)表1 水污染物间接排放限值 ,经园区污水管网 进入彭州市水质净化站(即彭州市第一城市污水处理厂)进行处理, 彭州市第一城市污水处理厂现状尾水达 《城镇污水处理厂污染物排放 标准》(GB18918-2002)一级 A 标准,排入六支渠,流经约 5km 后 汇入青白江.目前该污水处理厂正在实施提标改造工程,预计

2018 年年底前完成,届时尾水将达《四川省岷江、沱江流域水污染物排放 标准》(DB51/2311-2016)表1 城镇污水处理厂 限值要求.此外, 根据规划环评,待规划的彭州工业污水处理厂建成后,项目废水(包 括现厂废水)将进入彭州工业污水处理厂处理,最终出水满足《地表 水环境质量标准》(GB3838-2002)中Ⅳ类(总氮除外)水质标准, 尾水经致和电站尾水渠最终排入青白江.项目排污口下游约 10km 范1-10 围内无集中式饮用水取水口,项目拟建地无需特殊保护的风景名胜、 自然保护区,未发现文物古迹等敏感区域和目标. 项目地理位置及区位关系见附图 1,外环境关系及主要环保目标 见附图 2. 1.6 评价因子 1.6.1 现状监测及评价因子 地表水:pH、CODCr、BOD

5、NH3-N、氟化物、SS,共6项. 地下水:pH、CODMn、氨氮、亚硝酸盐、铁、锰、氟化物、总 硬度、Na+ 、K+ 、Ca2+ 、Mg2+ 、SO4 2- 、CO3 2- 、HCO3 - ,共15 项. 环境空气:SO

2、NO

2、PM

10、PM2.

5、氟化物,共5项. 声环境:厂界噪声. 土壤:pH、汞、铅、铬、镉、镍、砷、........