PDF《犔犌犁 声表面波双模温度传感器研究》

1 1 图3为不同温度下, 瑞利波模式谐振频率随温 度的变化曲线.由图可看出, 谐振频率随温度呈非 线性的二次函数曲线, 这意味着1个谐振频率将对 应2个温度.本文选择的 L G S晶体切向的转变温 度在室温附近, 因而在未测试低温下的谐振频率时, 不能在图中直观体现出1个谐振频率对应2个温度 点的特性.但对于其他切向的 L G S基底材料, 当其 转变温度高于常温时, 可明显发现这一现象[

1 0 ] . 图3 瑞利波模式谐振频率随温度变化曲线 谐振频率随温度的变化可采用下式进行拟合: 1=

0 1 +1( -0) +1( -0)

2 (

1 ) 式中: 1为不同 温度下测 得 的瑞 利波模式 谐振频率;

01为室温时S AW 谐振器瑞利波模式频率;

1、 1分别为瑞利波模式的

一、 二阶温度频率系数;

为环境温度;

0 为基准温度, 即室温2

5 ℃. 由图3可看出, 拟合曲线和实验测试结果吻合 较好.从拟合结果可得 1=-

1 6

6 .

3 , 1=-

1 2 .

1 1 . 图4为不同温度下体声波模式的谐振频率随温 度的变化曲线.由图可看出, 体声波模式谐振频率 随温度呈非线性的二次函数曲线.谐振频率随温度 的变化可采用下式进行拟合:

1 5

6 第5期喻恒等: L ........