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com 6? ? 分子束外延生长系统(MBE) 分子束外延生长(MBE)是一种在高真空或超高真空环境下,将从蒸发源 释放出分子或原子,在目标样品表面形成高纯度薄膜的薄膜制备技术. MBE 可在原子尺度上精确控制薄膜厚度和薄膜纯度,广泛应用于:金属、 半导体、化合物、有机物薄膜制备、分子自组装等方面. 技术参数: 本底真空