XLS《Sheet1》

8483600090 , 离合器及联轴器〔包括万向节〕 ,

17

38 ,

8483900090 , 其他编号8483所列货品用其他零件〔包括单独报验的带齿的轮、链轮及其他传动元件〕 ,

17

39 ,

8484100000 , 密封垫或类似接合衬垫〔用金属片与其他材料制成或用双层及多层金属片制成〕 ,

17

40 ,

8484200010 , 耐UF6腐蚀的转动轴封〔专门设计的真空密封装置,缓冲气体泄漏率1000cm3/min〕 ,

17

41 ,

8484200020 , 转动轴封〔专门设计的带有密封式进气口和出气口的转动轴封〕 ,

17

42 ,

8486101000 , 利用温度变化处理单晶硅的机器及装置〔制造单晶柱或晶圆用的〕 ,

17

43 ,

8486102000 , 制造单晶柱或晶圆用的研磨设备 ,

17

44 ,

8486103000 , 制造单晶柱或晶圆用的切割设备 ,

17

45 ,

8486104000 , 制造单晶柱或晶圆用的化学机械抛光设备(CMP) ,

17

46 ,

8486109000 , 其他制造单晶柱或晶圆用的机器及装置 ,

17

47 ,

8486201000 , 氧化、扩散、退火及其他热处理设备〔制造半导体器件或集成电路用的〕 ,

17

48 ,

8486202100 , 制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置〔化学气相沉积装置(CVD)〕 ,

17

49 ,

8486202200 , 制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置〔物理气相沉积装置(PVD)〕 ,

17

50 ,

8486202900 , 其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备 ,

17

51 ,

8486203100 , 制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机〔步进光刻机〕 ,

17

52 ,

8486203900 , 其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置〔制造半导体器件或集成电路用的〕 ,

17

53 ,

8486204900 , 其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备 ,

17

54 ,

8486205000 , 制造半导体器件或集成电路用离子注入机 ,

17

55 ,

8486209000 , 其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 ,

17

56 ,

8486301000 , 制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备 ,

17

57 ,

8486302100 , 制造平板显示器用化学气相沉积装置(CVD) ,

17

58 ,

8486302200 , 制造平板显示器用物理气相沉积装置(PVD) ,

17

59 ,

8486302900 , 其他制造平板显示器用薄膜沉积设备 ,

17

60 ,

8486303100 , 制造平板显示器用分步重复光刻机 ,

17

61 ,

8486303900 , 其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置〔制造平板显示器用的机器及装置〕 ,

17

62 ,

8486304900 , 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置 ,

17

63 ,

8486309000 , 其他制造平板显示器用的机器及装置 ,

17

64 ,

8486401000 , 主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置〔掩膜版(mask),投影掩膜版(reticle)〕 ,

17

65 ,

8486402100 , 塑封机〔主要用于或专用于装配与封装半导体器件和集成电路的设备〕 ,

17

66 ,

8486402200 , 引线键合装置〔主要用于或专用于装配与封装半导体器件和集成电路的设备〕 ,

17

67 ,

8486402900 , 其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备 ,

17

68 ,

8486403100 , IC工厂专用的自动搬运机器人 ,

17

69 ,

8486901000 , 升降、搬运、装卸机器用零件或附件〔子目848640项下商品用,但自动搬运设备用除外〕 ,