DOCX《热蒸发式真空镀膜仪技术参数》

热蒸发式真空镀膜仪技术参数 1.

工作条件 1.1电力供应:380V(6%),50Hz,功率不高于15KW,地线对地电阻4Ω 1.2工作温度:CC 1.3工作湿度:< 60% (20C) 1.5仪器运行的持久性:仪器可连续使用 1.6 仪器的工作状态:较强的防震抗磁能力,工作稳定 1.7 仪器设备的安全性:符合放射线防护安全标准和电器安全标准 2. 设备用途: 实现热蒸发式碳膜喷镀.特别用于低温单颗粒三维重构中的的低温样品载网支持膜制备,确保样品制备中载网支持膜的导电性和良好的支撑性能. 3. 技术规格 3.1 真空镀膜腔室尺寸不小于 ?350*H350mm 3.2 真空镀膜腔室配有观察窗. 3.3 真空系统为无油系统. *3.4 极限真空:≤5*10-5Pa *3.5 暴露大气10分钟内并充干燥氮气开始抽气,30分钟真空度≤6*10-4Pa,两小时内真空度≤1*10-4Pa. 3.6 设两组蒸碳电极,并配备直径3mm碳棒卡套.蒸发电源为2kW/8V直流恒流电源 3.7 蒸碳电极周围配备挡板,实现定向碳棒喷镀,降低真空腔体表面污染 3.8 在样品与蒸发源间设有高度可调的电动挡板 3.9 样品台可在电机驱动下绕自身轴线旋转,也可静止喷镀. 3.10 留出供inficon-SQC310C膜厚仪进行膜厚测量的接口 注:*表示必须满足且重要的指标 4. 技术文件: 4.1 投标人应提供仪器主体及主要附件的详细的操作,安装,及调整说明书. 4.2投标人应提供电子版说明书. 5.技术服务 5.1 设备安装、调试和验收 5.1.1现场安装;

现场调试;

按照买方和卖方双方同意的标准对主机、附件,软件的性能和功能进行测试;

在买方对主机、附件,软件的性能和功能进行测试合格的基础上,由买方授权人签字验收. 5.1.2服务:在中国设立两家或以上的固定维修站,并配备专业维修工程师,北京地区至少1名工程师,能提供及时有效的售后服务. 5.2保修期及维修: 5.2.1保修期为3年,自买方签字验收之后算起.安装验收合格后,厂家提供相应的免费保修,保修期厂家负担因质量问题造成的所有费用. 5.2.2. 在保修期期间免费维修和在紧急情况接到电话24个工作小时内做出响应,在3-5天内到达用户现场,保证提供及时优质的售后服务. 5.2.3.提供全套的备品备件清单. 5.3技术培训: 5.3.1现场基本操作培训:由卖方安装人员对买方使用人员进行安装现场培训,培训应使买方使用人员能够进行熟练操作和一般维护. 5.3.2在国内对用户进行现场培训.培训内容包括仪器的技术原理、仪器操作、数据处理、软件的使用和结果分析、仪器基本维护等.