DOC《上海大学公开邀请招标购置“等离子增强化学气相沉积系统”...》

上海大学公开邀请招标购置 等离子增强化学气相沉积系统 的公告 招标编号:SDSB-13014 根据《中华人民共和国政府采购法》《上海市政府采购招标暂行办法》和《上海大学仪器设备招、投标管理办法》,上海大学中瑞联合微系统集成技术中心因科研、教学需要,现公开邀请招标采购等离子增强化学气相沉积系统.

设备需求 设备名称:等离子增强化学气相沉积系统 技术要求: 本仪器可以完成石墨烯,碳纳米管的薄膜沉积,工作条件要求无尘室或较为洁净的实验室,供电电源380VAC(±10%),50Hz. 2.1 腔体配置和材质: *2.1.1衬底温度可达800°C以上;

2.1.2 真空舱:不锈钢和石英材质,配有观察窗;

2.1.3 加热器:5个2-inch加热器.采用PID 温度闭合(热电耦) 控制. 2.2 等离子发生器:1KW,配有同步电压、电流和功率调节装置,频率可选,工作周期可选. 2.3 系统气路和气体流量控制器 2.3.1 8路或者4路配有二通阀的流量控制器,分别控制CH4,H2和Ar气体等;

*2.3.2不锈钢管道配有VCR 管件,通过 10-9 mbar-L/sec 的氦气泄漏试验. *2.4 真空系统:两级回转式泵体,抽气能力不小于16m3/hr. 2.5 控制系统 2.5.1 控制系统:可以自动控制整个材料的生长过程,并对生长过程的参数等进行记录;

2.5.2 控制服务器:带有USB或光驱能将有关数据导出. 2.6 其他配套系统 2.6.1 冷水机组:闭路循环;

2.6.2 配有清洁炉装置清洁腔体. 3. 主机、附件详细清单 3.1 主机(包括材料生长室、泵体、控制系统、等离子发生器, 1台 气体流量计,气压阀等) 3.2 冷水机组(闭路循环)1套3.3 清洁炉装置 1套3.4 顶部加热器 2个4. 易损、易耗件清单和价格表 请投标人提供所投设备的备品备件、易损、易耗件清单和价格表,并承诺在质保期后3年内以不高于上述清单价格按招标人不时要求的数量及合理时间向招标人提供该易损件和备品备件.

二、设备报价 1. 报价单位应根据设备需求的规定进行报价,其报价在采购过程中是不可以改变的(除非买方对设备提出新的要求). 报价单位对设备需求中所列的设备进行报价.报价单位可以用技术规格 等于或高于同类品种的设备进行报价. 报价方式为CIF上海(外币金额).

三、交货时间 中标厂家须在合同签约之日起180天内保质保量交付所有设备和附件.

四、验收方式: 设备到货后,由卖方、买方共同开箱验货;

卖方保证货品的型号、规格、数量与合同相符.卖方负责派工程师到用户现场免费进行安装调试,在系统整体调试完成后,买方认为合格后,签订系统安装验收报告.卖方应在设备到货前一个月,对仪器实验室场地条件,如工作台、水、电、气等配套设施提出建议并出具场地准备书.验收一般应在二周之内完成,超过视作延期交货.延期多少天,相应地质保期延长延期天数的三倍(双方另有约定除外).

五、付款方式: 100%不可撤消即期信用证(无预付款),其中90%货款凭装运单据支付,10%待合同执行完毕,设备验收合格后,凭加盖设备部门的验收报告一次付清.

六、质量保证与售后服务 质保期为自用户签署最终验收报告之日起24个月,在质保期间出现故障,供货商在接收到用户通知后于1小时以内予以回应、提出解决方案,4小时内维修人员到场,72小时排除故障(特殊情况和不可抗拒因素除外).在此期间,设备发生任何非误操作造成的故障和损坏,均由供货方负责免费修复,失效零件予以免费更换,更换时所发生的商检、运输、清关等费用均由供货方负担.质量保证期内,停机待修时间不得超过一个月,若超过一个月,则保修期延长待机间的3倍.同时,提供软件免费升级. 货物到达学校后7天内由卖方负责免费安装、调试与技术培训,调试仪器所需耗材由供货方自行负担.仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训:参与培训人员3~5人;