DOC《内容简介：有关制作微米/纳米器件及结构的各种技术及其物...》

编辑： 黑豆奇酷 2018-09-23
内容简介:有关制作微米/纳米器件及结构的各种技术及其物理原理,包括抗蚀性原理,光学光刻,离子束、电子束、X射线的形成及其与物质的相互作用的物理过程,干法及蚀法刻蚀原理.

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