编辑: hgtbkwd 2018-11-15
技术参数需求: 纳米尺度多场耦合表征平台光激励与检测系统主要由以下系统构成:包括光源激励系统、光学检测系统、同轴光路系统、温度控制系统、环境控制系统等组成.

主要技术指标: 光源激励系统包括三路光源:(1)纳秒脉冲激光光源;

(2)高稳定性氦氖激光光源;

(3)光纤耦合可调制合束激光光源;

纳秒脉冲激光光源:中心波长520nm,可调脉宽:5 -

39 ns,触发脉冲的最高频率10 MHz,峰值频率> 13mW;

高稳定性氦氖激光光源:中心波长632.8 nm,线偏振,光纤耦合输出,输出功率10mW;

光纤耦合可调制合束激光光源:7路输出波长分别为:405nm,450nm,520nm,635nm,650nm,685nm,785nm;

每路输出功率不小于3mW,7路可同时或以任意组合的方式输出;

调制方式包括模拟与数字调制,调制频率小于等于300kHz;

光学检测系统:包括单入口狭缝,CCD和狭缝双出口光谱仪,仪焦长193mm,数值孔径F/3.6,波长精度(nm):0.15nm,波长重复性(nm)75pm;

包括两种光栅(1)1200刻线光栅500nm,(2)300刻线光栅500nm;

可见-近红外光纤耦合输入,SMA接口. 同轴光路系统:变倍主体连续变倍0.6X-5.0X,变倍比1:8.3,20X长工作距离无限远平场消色差物镜,及光路调整透镜,反射镜组. 温度控制系统:输入通道2路,数模分辨率24位,每通道可以在出厂前设定为二极管/电阻或热电偶;

PID控制环路2路,输出直流电流,功率(1)25W,(2)2W;

环境控制系统:四路气体混合,质量流量计控制,流量计标准量程50sccm,50sccm,200sccm,200sccm,工作压差:0.1~0.5Mpa,最大压力:3Mpa,准确度:±1.5%F.S,针阀:316 不锈钢,混气罐:Φ 80*120mm. 供货时间:合同签订后4个月 质保时间:1年

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