DOC《采购内容及项目要求》

采购内容及项目要求

一、项目简要概括 本项目为山东大学晶体材料研究所拟采购的脉冲激光沉积系统一套.

该设备可填补我校在脉冲激光薄膜制备方面的空缺,同时也为我校的薄膜工艺方面提供更加完善的硬件及技术支持. 本项目共分为1个包.允许供应商投报原装进口设备,供应商不得对所投货物和服务分解后进行相应.本项目预算为人民币125万元(包含外贸相关费用). 山东大学设备采购技术条款响应一览表 配置序号 配置名称 详细技术参数要求 数量

1 极限真空度 ≤6.67x10-6 Pa (经烘烤除气后);

1 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后,再开始抽气,20分钟可达到5x10-3Pa;

2 真空室组件 球型真空室尺寸Ф450mm,选用优质不锈钢材料制造,氩弧焊接,表面进行电化学抛光,不易氧化,持续提高及保持真空度.接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;

1 3 旋转靶台组件 旋转顺畅不卡顿,精确控制,提高靶材利用率.

1 靶位公转换位机构,PLC控制,编码器控制旋转精度,精度1°,可任意角度控制定位;

4 基片加热台组件 加热炉最高温度 800℃±1℃,由热电偶闭环反馈控制;

1 5 工作气路 精度高,反应快

1 100SCCM质量流量控制器(高精度,反应快)、充气阀CF

16、管路、接头等:1路;

6 抽气机组及阀门、管道 要求抽速快,极限真空度高

1 脂润滑分子泵及变频控制电源:1台(抽速1300升/秒);

7 安装机台架组件 优质方钢型材焊接,快卸围板表面喷塑处理;

四支脚轮,可固定,可移动,可升降10mm;

1 8 控制方式 采用触摸屏点动控制方式.

1 9 激光冷水机组件 机组采用水箱盘管蒸发器,不锈钢水泵,压力2公斤;

机组采用压缩机,制冷剂为R22,电源为:2PH/220V/50HZ

1 10 准分子激光器

1、 波长: 248nm

1

2、 脉冲能量:≥750mJ

3、平均功率: 7.5W

4、最大重复频率: 10Hz

5、脉冲宽度:

25 ns

6、 能量稳定性(1 Sigma): ≤0.75%

7、光斑大小(V*H): 24*10 mm

8、光束发散角(V*H): ≤3*1 mrad

9、指向稳定性(1 sigma):≤50 ?rad

11 激光器配套 氟氪氖预混气及减压阀:F2/Kr/Ne Premix Gases, 6000L,DIN8,1套 高纯氦气及减压阀:纯度99.999% , 6000升,1套 全反镜及聚焦透镜:全反镜、聚焦透镜及其调整架,2套 激光防护眼镜:248nm激光防护眼镜,2副