编辑: 5天午托 2019-07-01

8 传感器 重点攻克基于MEMS工艺的传感器设计集成技术、先进制造及封测工艺,加强与标准CMOS工艺结合,提升传感器的精度、可靠性和稳定性;

突破传感器无线通信技术、传感器信号处理技术、传感器可靠性设计与试验技术、传感器精密制造与检测技术、光器件关键共性技术等;

加快布局基于新结构、新材料和新原理的传感器,发展检测技术.

9 集成电路先进工艺 重点突破16/14纳米工艺关键共性技术,布局10/7纳米工艺,面向5/3纳米工艺,建立IP工艺库,验证开发国产关键装备与材料.

10 工业信息安全 重点突破工业信息安全威胁感知关键技术、制造业与互联网融合发展中的信息安全纵深防护技术、工业信息安全威胁情报共享技术、工业控制系统多维度隐患筛查技术、大型技术装备信息安全质量保障技术和智能制造供应链........

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