编辑: 夸张的诗人 | 2022-11-05 |
下游电子信息产业的技术进步,对上游特种气体的产品质量和品质提出了非常高的要求.由于国内半导体行业快速增长,带动了半导体材料需求快速释放,其对高纯度前驱体材料的需求量也在稳步增长. 恒坤集团始建于1996年,于2015年在新三板挂牌,集团公司致力于为半导体及集成电路厂商提供高性能光刻胶、电子特殊气体等先进电子化学品材料.大连恒坤新材料有限公司是恒坤集团建立的全资子公司,公司成立于2018年5月29日,主要经营集成电路前驱体材料研发、货物、技术进出口等.基于集成电路前驱体广阔的市场需求,大连恒坤新材料有限公司投资10000万元,在大连松木岛化工园区建设年产1500t集成电路前驱体项目.本项目已获得企业投资项目备案确认书(大普经备[2018]44号)、建设用地规划批复(地字[2019]第210282201910001号)和建设用地规划许可证(地字第210282201910001号)等相关手续. 本项目不属于《产业结构调整指导目录(2011年本)及其2013年修订版》中所列的 "鼓励类"、"限制类"、"淘汰类"项目,属于允许类. 建设项目概况及工程分析 2.1建设项目概况 项目名称:大连恒坤新材料有限公司集成电路前驱体项目;
建设性质:新建;
单设单位:大连恒坤新材料有限公司;
建设地点:本项目建设地点位于大连松木岛化工园区纬二街和经六路交口处(N 39°25'46.25",E121°43'32.23");
拟建厂址东侧为规划工业用地,目前为空地;
西侧为纬二街;
南侧为规划工业用地,目前正在施工;
北侧为经六路.本项目地理位置见图3-1. 图3-1 项目地理位置 建设内容:项目总占地面积3770.37m2,总建筑面积7140.42m2,主要建设包括一座生产厂房、一座甲类仓库、一座乙类仓库及一座综合楼等配套设施,生产车间内设集成电路前驱体正硅酸乙酯蒸馏提纯生产线一条. 2.2工艺流程 本项目生产工艺流程见图2.1和图2.2. 注:G―废气、W―废水、N―噪声、S―固废 S5为罐体清洗废水,收集暂存后委托有资质单位处理 图2.1 生产工艺流程图 注:N―噪声、S―固废 S5为罐体清洗废水,收集暂存后委托有资质单位处理 图2.2 产品罐清洗流程 2.3污染源分析及污染防治措施 2.3.1废气 本项目运营过程中排放的废气主要是工艺过程不凝气、生产设备阀门等装置散逸废气及分析室废气,均以非甲烷总烃计.本项目对废气污染物采取下列措施:
1、分析室废气 本项目分析室为百级洁净度以上,主要进行生产过程中产品的采样分析,不使用化学试剂,主要是仪器分析.分析室质检过程会产生有机废气,主要成分为正硅酸乙酯等.本项目在分析室内设置引风系统,对分析室内质检过程产生的有机废气进行收集后通过密闭管道送入1#活性炭吸附装置进行净化,处理后经1根15m高排气筒高于综合楼顶排放,废气收集效率可达100%,净化效率达90%.
2、工艺过程不凝气和车间内散逸废气 本项目蒸馏提纯装置为密闭装置,生产过程产生的废气主要为工艺过程冷凝器产生的的不凝气体和各生产设备阀门等装置散逸出的有机废气.蒸馏提纯装置不凝气通过密闭管道收集后送入车间2#活性炭吸附装置进行净化处理,收集效率100%,净化效率达90%.各生产装置阀门等处逸散出的废气较小,本项目在生产车间内设引风系统,对车间内散逸的有机废气进行收集后通过密闭管道送入车间3#活性炭吸附装置进行净化处理,收集效率可达100%,净化效率达90%.不凝气和车间内散逸废气分别经2#和3#活性炭吸附装置净化后,由车间1根15m排气筒高空排放. 通过以上处理措施,本项目排放的非甲烷总烃可满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中新污染物二级标准. 2.3.2废水
1、废水排放源 本项目废水主要是员工生活污水和纯水制备浓水..
2、废水防治措施 本项目废水经收集后排入厂区内化粪池处理,处理后的废水满足《辽宁省污水综合排放标准》(DB21/1627-2008)中"排入污水厂的水污染物最高允许排放浓度"限值,经市政排水管网排至松木岛化工园区污水处理厂. 本工程选址于松木岛化工园区,属于园区污水厂的服务范围.同时,本项目排放的废水可以满足园区污水处理厂进水水质标准的要求,因此本项目排水可依托园区污水处理厂处理. 2.3.3固体废物 根据工程分析,本项目产生的固体废物包括工艺冷凝废液、蒸馏釜残、分析室废液、清洗废水、废滤芯、废活性炭及生活垃圾等.根据国家对固体废物处置减量化、资源化和无害化的技术政策,本项目工艺冷凝废液、蒸馏釜残、分析室废液、废滤芯、废活性炭属于危险废物,须委托有资质单位进行处置.员工生活垃圾由园区市政环卫部门统一清运,送至垃圾填埋场卫生填埋. 2.3.4噪声 本项目运营期产生的噪声主要为各类设备运营噪声,生产设备选用低噪声设备,在采取减振、隔声及消音等措施后,厂界噪声值均能满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准要求. 环境质量现状 3.1环境空气质量 本项目所在区域SO
2、NO
2、PM
10、PM2.
5、CO、O3年平均质量浓度达标,大连市2018年为环境空气质量达标区域.本项目设环境空气监测点1个,检测结果表明,项目所在区域非甲烷总烃符合《大气污染物综合排放详解》标准要求,项目所在区域环境空气质量良好. 3.2声环境质量 本项目共设置四个噪声现状监测点,检测结果表明,项目东、南、西、北噪声各监测点的噪声值均低于所执行的《声环境质量标准》(GB3096-2008)中3类区标准要求. 3.3土壤环境质量 土壤监测共设置1个点位,监测结果表明:调查区域土壤本底质量良好,各因子监测值与《土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准(试行)》(GB36600-2018)相应的第二类用地筛选值标准相比较,均远低于风险筛选值标准,对人体健康的风险可以忽略. 环境影响预测与评价 4.1大气环境影响分析 根据AERSCREEN估算模型计算结果,本项目生产车间排放的非甲烷总烃在下风向最大落地浓度为9.840mg/m3,占标率为0.492%,最大落地浓度距离出现在下风向50m处;
分析室有组织排放非甲烷总烃下风向最大浓度1.659mg/m3,最大占标率为0.083%,最大落地浓度距离出现在下风向25m处,均低于《大气污染物综合排放标准详解》(国家环境保护科技标准司)中244页推荐标准值要求. 综上,根据以上分析结果,可以认为本项目在采取相应的废气污染防治措施后,对项目周边的大气环境的影响在可接受范围内,预计本项目废气排放不会对项目周边大气环境造成不利影响.项目运营期间,应对各废气处理设施进行定期检查,关注其运行情况,避免失效情况发生. 4.2地表水影响分析 本项目废水经收集后排入厂区内化粪池处理,处理后的废水满足《辽宁省污水综合排放标准》(DB21/1627-2008)中"排入污水厂的水污染物最高允许排放浓度"限值,经市政排水管网排至松木岛化工园区污水处理厂. 本工程选址于松木岛化工园区,属于园区污水厂的服务范围.同时,本项目排放的废水可以满足园区污水处理厂进水水质标准的要求,因此本项目排水可依托园区污水处理厂处理. 松木岛污水处理厂位于化工园区西南侧,设计处理规模为10万t/d,实际一级A标准处理规模为2.5万t/d,目前实际处理量约2万t/d,本项目排水量约为6.2t/d,园区污水处理厂剩余处理能力可满足本项目废水处理要求 4.3噪声影响预测 本项目位于松木岛化工园区内,周边以工业企业为主,噪声源与周边敏感点的距离间隔较远.本项目产噪设备均安置在生产车间和综合楼内,主要噪声源与厂界距离较远,噪声传播过程中受到厂区内现有构筑物衰减作用,对厂界的贡献值减小,经预测可知,厂界噪声值均能满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准要求. 4.4环境风险评价 本项目涉及的危险物质总量与其临界量比值Q