PDF《微电子工业贮存》

微电子工业贮存 及 使用特殊气体守则 微电子工业贮存及使用特殊气体守则-1-鸣谢 承蒙英国压缩气体协会(British Compressed Gases Association) 惠允,准予转载其拥有版权的刊物「 守则18- 微电子工业贮存、处理及使用特殊气体的安全方法」(Code of Practice

18 C The Safe Storage, Handling and Use of Special Gases in the Micro-electronic Industry) ,香港特别行政区政府消防处谨此致谢.

英国压缩气体协会保留本守则所转载资料的版权.任何人士如欲转载,须事先取得该会的书面批准.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-2-引言 本守则旨在就微电子工业贮存和使用特殊气体而申领危险品牌照的事宜提供指引.本守则列明关於贮存所的坐落地点、设计和建造的规定(例如机械通风系统、气体侦测系统、灭火系统、电力装置等),以 及发牌当局所订明须遵守的相关条文.此外,本守则就建立安全工作系统一事,给予全面的指引.本守则加入了微电子工业业界、本地大学及政府其他相关部门所提供的知识和意见.遵行本守则的规定须要运用良好的工程技术.本守则是现行法例的补充,因此遵从本守则并不豁免使用者遵守本港其他相关法例.本处会定期检讨此守则,亦欢迎业界提共改善建议.消防处 是次修订:二零零五年十二月十六日微电子工业贮存及使用特殊气体守则-3-目录 部分内容页数1词汇解释52危险品牌照的申请程序63坐落地点的限制74申请危险品牌照所需的资料85发出危险品牌照的条件10

6 牌照续期的条件11

7 室外贮存12

8 室内贮存14 一般规定工作通道机械通风系统9晶片装嵌区(洁净室)18

10 贮存地方的兼容性20

11 气体侦测系统21

12 灭火系统23 微电子工业贮存及使用特殊气体守则-4-13 排放及使用气体24 气体贮存柜配送系统14 控制室27

15 电力装置及装备28

16 气瓶29 气瓶的标准气瓶的处理17 安全的工作系统31 一般规定健康及安全预防措施紧急程序训练定期检讨及审核18 消防规定35

19 气体的危害特性36 健康危害毒性职业o生标准火警危机20 查询41 附录风险评估报告I建议的最短安全分隔距离II 特殊气体一览表III 微电子工业贮存及使用特殊气体守则-5-1. 词汇解释本守则所用的某些词汇M简称定义如下,以便参考:认可人士指获当局认可的工程师,有资格进行测试、检验和核证气瓶及喉管.当局指消防处处长.具资格人士指具相关资格及经验的专业化验师或职业o生师,即他们已通过American Board of Industrial Hygiene、 Canadian Registration Board of Occupational Hygienists、British Institute of Occupational Hygienists、 Australian Institute of Occupational Hygienists、 香港职业及环境o生学会所举办的核证计划.其他持同等资历的人士亦会获承认为具资格人士.1.4 消防处指香港消防处.1.5 低层楼宇指由通往地面第一层梯级起计至最高一层的地面为止不超过30 米的楼宇.1.6 Material Safety Data Sheet (MSDS) 指物料安全数.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-6-2. 危险品牌照的申请程序2.1 关於微电子工业贮存及使用特殊气体的申请,应呈交香港消防处的危险品课,地址是香港新界葵涌兴盛路86 号消防处葵涌办公大楼3字楼.2.2 收到申请后,消防处会把申请转交相关的政府部门,例如劳工处的锅炉及压力容器监督、环境保护署及政府化验所,就压缩气体及加压系统的安全问题、环保问题及化学物质的兼容性,徵询这些部门的意见.在制定特订的消防规定时,消防处会考虑上述监督及部门的意见.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-7-3. 坐落地点的限制3.1 只有属於单一使用性质,而且易於疏散人群的低层社团楼宇或工业楼宇,才视作适合贮存和使用这些气体.3.2 贮存或检查气瓶的地点须位於街道水平,以便运货车、手推车或其他运输工具可以到达,方便运送气瓶,或在紧急情况时移走气瓶.大型消防车亦应可到达贮存区及装嵌区,以扑灭火警.3.3 贮存和使用气体的地点应有足够的逃生途径,可通往安全的地方.逃生途径须时刻保持畅通无阻.3.4 所有室内及开放式的贮存地点须小心选址,尽量减低对附近用作其他用途的地方所构成的风险.3.5 申请人应视乎情况而就土地使用的事宜向规划署或地政总署徵询意见.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-8-4. 申请危险品牌照所需的资料根段Ｏ掌(一 般 )规 例》(第 295B 章 )第