PDF《微电子工业贮存》

此系统亦需动独立的声响及视像警报,并把风扇失灵信号传送至处所内指定的控制室,以提醒管理人员立即安排进行维修.8.3.5 楼宇结构的任何部分(例如管槽)不得用作输送空气或抽气系统的整体部分.穿插间隔墙或抗火结构的抽气管,须以建筑物料围封,而围封物料的耐火时效须与楼宇结构的耐火时效相同,以保持妥为分隔.8.3.6 所有管道系统,包括入气口、排气管、空气配送及回风系统,须以符合英国标准BS476 第4部分或当局接纳的其他标准的「 不可燃」物料建造.除非有可证明的理由,否则一般来说,在执行这项规定时,应遵照《建筑物(通 风系统)规 例》进行.假如废气是易燃的,风扇组件须以可减少静电及火花的物质制成.排气系统不须装置防火闸.假如风扇是利用外置的马达驱动,应加入特别设计,以免废气经驱动装置溢出.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-17 - 8.3.7 假如气体混和时会产生火警或化学反应的危险,不同的气体贮存柜或间隔的废气管便不得连在一起.通风系统所有管道的压力须加以调校,作出平衡,以确保废气不会由一个间隔或贮存柜倒流至另一个间隔或贮存柜.贮存柜的门打开时而引致即时的压力改变,亦应加以特别考虑.8.3.8 每个通风系统须装置具备故障安全防护设计的气 流保险侦测器.除了 声响及视觉警报外,通风系统完全失灵时,会透过联锁装置自动暂停受影响间隔及贮存柜内的操作.在恢复通风前,不得自动重设警报系统及重新开始操作程序.8.3.9 抽气系统失灵时,须动气体供应系统的自动断流装置.8.3.10 由气瓶贮存所、贮存所的抽气系统、检查围、驱气设备、气体贮存柜或防超压工具所排出的废气,不得循环再流.8.3.11 废气须经适当的设备妥为处理后,才可排出户外.排放废气的地点须符合有关空气污染管制的环保规定.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-18 - 9. 晶片装嵌区(洁净室)晶片装嵌区由地面至天花板,须以耐火时效不少於2小时的不可燃物料建造.晶片装嵌区的通风系统须独立於楼宇内的其他通风系统.所选择的入风口须可避免抽入有害物质.空气管道、连接器及风扇设备须以符合英国标准BS476 第4部分或主管当局接纳的其他标准的不可燃物料建造.假如通风管道经过有抗火结构的间隔,须以有同等耐火时效的围封物完全保护.洁净室须装置经核准的自动花洒系统及火警警报系统.洁净室气流向下流的围内,须使用快速反应花洒头.火警侦测系统及手动火警警报系统动时,须在处所内发出独特的声响及视像警报.有关信号须传送至处所内的指定控制室及消防处.火警侦测系统及气体侦测系统的设计,不得干扰为处理有害气体而设的独 立抽气系统的 操作 . 气体侦测系统动时,系统内的气体供应须自动中止.微电子工业贮存及使用特殊气体守则-19 - 晶片装嵌区须设置烟雾侦测系统.烟 雾侦测系统的敏感度,须至少侦测到每米有0.01%围受烟雾覆蔽,并能侦测到10 微米或以下的粒子.工作地点或洁净室须设置独立抽气系统.抽气系统的设计,须可有效地抽走工作站围内的任何有害气体或蒸气.废气不得循环流返工作地点或洁净室.微电子工业贮存及使用特殊气体........