PDF《VO2/AZO 复合薄膜的制备及其光电特性研究∗》

编辑： cyhzg 2013-03-08

15 min 后 表面的XPS宽程扫描谱, 对比图

3 (a)可以发现, 刻 蚀后的薄膜表面能够检测到 Ar 离子, 这是由于在 刻蚀过程中, Ar 渗入到薄膜晶........

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