PDF《用掩蔽注入法研究钛注入 ！＂# 钢的耐磨性 ！》

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分 别为铁对能量为 $# 和'

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$# 的氦离子的阻止本 领)在零级近似下, 可假设样品的总原子浓度不变, 则%! (#) , (3) 式中 %! (#) 为深度为 # 处的钛原子浓度) # 处钛的 谱高度 &

! (#) 可通过下式得到: &

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($# ) , ! ( $# ) 分别为能量为 $# 的氦离子 与铁、 钛的碰撞散射截面)处铁的谱高度 &

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($) 可简单通过从实际重叠的 *+, 谱中去掉此 能量下的钛谱高度而得到, 即&

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(#) ) (6) 综上所述, 可得到 # '

!# 处的铁、 钛浓度) 以此 类推, 可得到更深处的铁、 钛浓度, 进而得到整个注 入层中钛的浓度深度分布) 进一步考虑到离子注入 引起的总原子浓度的变化, 可从零级近似计算的结 果%(&

(#) , %! (#) 出发, 自洽改变总原子浓度并进行 迭代来得到更高级的近似结果) 考虑到注入层既不 是简单的混合物, 也不是完整的晶体, 为此可用表面 层的平均总原子浓度代替 %# 得到较高级近似, 即%# . # (%! (#)'

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(#) ) $0(, (7#) 式中# 表示对整个注入层求和, ( 为注入层厚度, 根据零级近似结果, ( 可取 5#89, 以(7#) 式中 %# 替换(7) 至(5) 式中 %# , 就可得到更高级的近似) 图1和图

2 给出六次迭代后的结果) 从图

1 和图

2 可以 看出, 钛的浓度深度分布的峰值位置在 :789 处, 样 品中保留的钛离子剂量 (;

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