PDF《建设项目环境影响报告表》

1997 年开始进入掩膜版行业,经过近

21 年的发展,已经在国 内的掩膜版行业积累了丰富的经验及较高的市场声誉,但是平板显示发展日新 月异,下游行业对掩膜版生产企业的技术要求越来越高,加之所处行业市场竞 争日趋激烈,公司需加强研发中心建设,不断提升公司研发实力. 为此,合肥清溢光电有限公司拟在合肥清溢光电有限公司 8.5 代及以下高 精度掩膜版项目(以下简称 8.5 代线项目)1#厂房的

2 楼右下角区域建设掩膜 版技术研发中心项目.本项目为 8.5 代线项目增加的配套工程,主要内容包括 研究平板显示掩膜版技术及芯片掩膜版技术,同时进行相关设备及产品开发. 该研发中心主要为物理性研究,研发过程中涉及掩膜版显影、蚀刻、清洗等工 序均依托 8.5 代线项目相关设施. 该项目已经于

2019 年3月经合肥新站高新技术产业开发区发展和改革委 员会以编号合新经[2019]157 号备案. 根据《中华人民共和国环境影响评价法》及《建设项目环境影响评价分类 管理名录》(根据生态环境部第1号令修订)等法规文件,合肥清溢光电有限 公司于2019年3月20日委托中南安全环境技术研究院股份有限公司承担 合肥清 溢光电有限公司掩膜版技术研发中心项目 的环境影响评价工作.我单位接受 委托后,及时组织有关专业技术人员赴现场踏勘、调研,收集了与项目有关的 工程技术资料,并进行了工程分析和环境影响预测,根据《建设项目环境影响 评价分类管理名录》(2018版),本项目属于 三十七,108,研发基地(其他) ,本项目编制环境影响报告表.在此基础上,编制完成了《合肥清溢光 电有限公司掩膜版技术研发中心项目环境影响报告表》. 在本报告编制过程中,得到新站区环保局和项目建设单位合肥清溢光电有 中南安全环境技术研究院股份有限公司

3 限公司的大力支持和协助,在此表示衷心感谢!

2、扩建项目建设内容及规模 项目名称:合肥清溢光电有限公司掩膜版技术研发中心项目 建设单位:合肥清溢光电有限公司 项目性质:扩建 投资总额:3000 万元 建设地点:合肥市新站区谷河路与通淮路交口东北角. 主要建设内容如下表. 表1扩建项目建设组成一览表 工程类别项目名称工程内容 工程规模 依托关系 主体工程光刻研究室项目设有

1 间光刻研究室,位于 8.5 代线项目 1#厂房的

2 楼右下角 区域.主要从事于光刻研究工 作,将设计好的图案利用光刻设 备实现图形转移,得到符合要求 的图形.主要设备有:小尺寸光 刻设和电脑. 建筑面积:110m2 . 依托 8.5 代线 项目厂房 掩膜版生产区项目不新增掩膜版生产区与生产线,涉及掩膜版显影、蚀刻、清洗等工序 均依托 8.5 代线项目. 测量研究室项目设有

1 间测量研究室,位于 8.5 代线项目 1#厂房的

2 楼右下角 区域.主要从事于掩膜版尺寸的 测量工作,主要设备有:膜厚测 量仪、粒子计数器和电脑. 建筑面积:130m2 . 依托 8.5 代线 项目厂房 检验研究室项目设有

1 间检验研究室,位于 8.5 代线项目 1#厂房的

2 楼右下角 区域.主要从事于掩膜版性能参 数检验研究工作,主要设备有: 高分辨率显微镜、3D 分析仪和电 脑. 建筑面积:110m2 . 依托 8.5 代线 项目厂房 中南安全环境技术研究院股份有限公司

4 辅助工程宿舍本项目不新建宿舍,新增员工