PDF《REV. 2.7》

REV.

2.7 CS 系列 200-A,C,D 型 气体质量流量控制器/质量流量计 使用手册2015.12 目录第一部分 产品说明 3.2 控制方式.20 1.1 声明.1 3.3 调零.20 1.2 使用须知.2 3.4 软启动.20 1.3 安全注意事项.2 3.5 延迟.21 1.4 概述.3 3.6 阀控制.21 1.5 技术指标.4 3.7 阀类型.21 1.6 标定.5 3.8 多气体多量程.21 1.6.1 标准状况.5 3.9 累积流量.21 1.6.2 制造环境.5 3.10 报警.22 1.6.3 精度调节.5 3.11 LED 指示灯.22 第二部分 安装 第四部分 维护 2.1 概述.6 4.1 概述.23 2.2 打开包装.6 4.2 注意事项.23 2.3 机械安装.6 4.2.1 介质使用要求

23 2.3.1 概述.6 4.2.2 阀口密封问题

23 2.3.2 安装.13 第五部分 故障诊断 2.3.2.1 1/4″VCR 接头安装方法.13 5.1 初步检查.24 2.3.2.2 双卡套接头的安装方法

14 5.2 故障检查.24 2.4 电气安装.14 第六部分 保证和服务 2.4.1 概述.14 6.1 七星电子有限保证.25 2.4.2 连接.15 6.2 产品保证.25 2.4.3 电缆线选型表以及连接示例

17 6.3 服务.26 2.5 工作检查.20 6.4 免责声明.27 第三部分 功能介绍 附录Ⅰ28 3.1 概述.20 附录Ⅱ31 MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER 第1页共30 页 气体质量流量控制器和质量流量计 使用手册第一部分 产品说明 1.1 声明 《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公 司(以下简称"七星电子")专有.如无七星电子的书面许可,不得部分或全部影印本使用手 册.本手册已经严格审校,但不保证手册中不含错误与遗漏,出版商不承担任何由于错误或 遗漏的责任,亦不承担由于使用本手册中的信息所导致的损失的任何责任. 北京七星华创电子股份有限公司 第2页共30 页1.2 使用须知 尊敬的用户,感谢您购买本公司生产的 CS 系列气体质量流量控制器/质量流量计产品. 本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项. 产品使用者,请务必认真参阅本手册并理解后使用,在使用过程中,请注意带有 标 志的文字及注意事项中包含的所有内容. 对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害,本公司有权不承担责任. 本手册在您安装、维护及故障维修时必不可少,请妥善留存保管. 1.3 安全注意事项 下列注意事项请结合使用手册查看.未按照注意事项进行操作所产生的一切后果本公司 不予承担. a)请勿替换产品零部件或者改动产品 不要替换产品的任何零部件或者对仪器进行任何未授权的改动.在返厂进行重新标定或 维修的时候必须保证安全标签完好无损. b)请联络专业工作人员为您服务 使用时勿擅自更换零部件,任何技术支持都必须由本公司授权的专业技术人员来为您服 务. c)使用危险气体时请特别注意 如果使用危险气体,请做好预防措施,条件允许请完全吹洗仪器.如果危险气体潮湿, 须确保潮湿的危险气体不会和仪器以及密封材料产生化学反应. d)吹洗仪器时特别注意 在从气路上拆卸仪器之前和安装仪器后都要对整个系统进行吹洗, 用干燥气体吹洗通道 内剩余气体的残渣. e)请遵照合适的步骤吹洗 产品必须在通风保护罩下进行吹洗,并且操作人员必须带上手套进行保护. f)请勿在爆炸性环境下使用本产品 为了避免产生爆炸,不要在爆炸性环境下使用本产品,除非本产品获得有效认证 . g)请使用合适的接头并按照相关的紧固规程来操作 所有仪器的接头都必须和产品说明书上的型号相符, 且与仪器所使用的接头相一致且与 仪器所使用的接头相配套.拧紧接头的时候请按照产品操作指导说明书来操作. h)请检查产品接头处是否漏气 请仔细的检查所有的零部件接口以确保在安装过后没有漏气. 第3页共30 页i)请使产品在安全入口压力下工作 请勿使仪器的入口压力超出最大工作压力(请参阅产品说明书中的最大工作压力) j)请使整个系统远离污染 系统在运行过程中,请勿使用含有污染物的气体.如气体中含有灰尘、污垢、纤维、玻 璃碎片或者铁屑等. k)请预热仪器后再使用 请预热后再使用,尤其是危险气体,更加应该注意.请使用绝对关闭的阀以确保在预热 过程中不会有错误的流量通过. 1.4 概述 气体质量流量控制器(MFC)和气体质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量.它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用.其典型的应用场合包括: 集成电路工 艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机;