PDF《REV. 2.7》

以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器. CS200-A,C,D 型MFC/ MFM 是七星电子生产的数字型产品,为气体质量流量的控制、 测量提供了高准确度及高可靠性. 该型产品可同时支持数字信号, 0~5V 模拟信号, 4~20mA 或0~20mA 模拟信号,可以使用双电源(±8~±16 VDC)或单电源(+14~+28 VDC) .支持 自动故障报警,多气体多量程等功能.标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件 提供便利.提供功能强大的免费客户端上位机软件 Digital MFC.CS200-C 与CS200-D 产品 所有与气体接触的表面均为不锈钢金属,其中 CS200-C 金属表面符合 SEMI 标准的要求. CS200-A,C,D MFC 默认配置为: MAC 地址:32;

RS485 通信波特率:19200;

控制方式:0~5V 电压控制. 更多细节请参考产品附带光盘中的"CS 系列 MFC 通讯协议" . 第4页共30 页1.5 技术指标 CS200 型号 CS200-A CS200-C CS200-D 阀类型 常开(流量规格≤30SLM) 或常闭 无 常开或常 闭无常开或常闭 无 流量规格(N2) (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30) SLM 准确度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(