PDF《基于 PLC 的MOCVD 控制系统设计》

4 所示,8 路模拟量 AI1―AI8,接入 ADG408 中,编写程序输出数字量信号控制 ADG408 的使能端 EN,信号控制端 A

2、A

1、A0,从 而实现分时选择多路模拟量中的一路, 将其输入到 PLC 的模拟量输入模块中, 数据进行相应 的存储及处理. 3.4 数字量输出控制 数字数出量的控制对象主要由电磁阀、 接触器、 电机、 气动阀等. 对于数字量输出控制, 其程序设计思想,在每步开始的时候,从相应的数据区中,调用本步对应数字量的数据,同 时为了实现上位机实时控制的功能, 首先判断上位机监控系统是否实时修改某个数字量的输 出值,如果上位机修改了, 则数字量的有效输出值以上位机修改值为准,否则按配方表的 配方设定的进行输出. 3.5 数字量输入控制 数字量输入控制主要指系统的报警及故障处理程序, 报警程序设计包括自动和手动. 报 警信号由传感器检测,传送给PLC,程序根据报警信号做出相应的安全保护动作,给出触发 信号使报警信号灯亮,蜂鸣器响,暂停系统运行,切断感应加热器、或者关闭相应的流量压 力控制器.

4 结论 本文提出的控制系统应用于西安电子科技大学第二代MOCVD系统,相对于第一代MOCVD 控制系统, 特别在步序子程序设计和模拟量输出控制上有了很大的改进, 在步序控制上采用 顺序控制设计法来控制不同步之间的动作和命令,相对于第一代移位控制方法 [2] ,本步序控 制法对于解决复杂循环的问题,更加灵活、可靠.在模拟量输出控制上采用PLC语句表(STL) 的编程方法,编写模拟量渐进爬升子程序,解决了在第一代系统中,大量的模拟量输出由上 位机来计算处理再通过PLC进行控制,造成上位机负载过大,控制延迟,响应速度较慢的问 题.系统现场试验运行表明,该控制系统稳定、快速、安全,完全满足工艺的要求,具有很 高的应用价值, 同时本系统的研制成功将促进国内微电子行业的发展, 在国内居于领先地位. 本文作者创新点:本文提出了一种基于PLC的MOCVD控制系统的设计及实现. 特别是在 软件程序设计上运用了先进的控制思想,采用顺序控制法解决了MOCVD系统中对于复杂步 序的控制,在模拟量输出控制上采用了PLC的语句表(STL)编程方法,来编写模拟量渐进 爬升子程序,其处理速度快于梯形图,内存占用少,解决了模拟量输出防止冲击的可能.本 系统提出的控制方案,完全满足了系统工艺的要求. 参考文献 1. 尚温胜,廖常俊,范广涵等.现代 MOCVD 技术的发展与展望.华南师范大学学报,1999(3) 2. 谢宝辉. MOCVD 控制系统研究与设计. 西安电子科技大学论文,2005.3 3. 郑晟,巩建平,张学. 现代可编程控制器原理与应用. 第一版 北京:科学出版社,1999 4. 廖常初. S7-300/400PLC 应用技术. 北京: 机械工业出版社, 2005.1 5. 王贵成,宋琳,徐心和. 一种基于 PLC 的远程监控系统的设计.微计算机信息,2005 作者简介:过润秋,女,1960,江苏,教授,研究方向计算机控制技术 陈贤能,男,1980,浙江,硕士研究生,研究方向计算机控制技术 Biography:GUO Run-qiu, female, 1960, jiangsu, professor, the direction of research is computer control techniques. CHEN Xian-neng, male,1980. zhejiang, master, the direction of research is computer control techniques. 作者联系方式: 联系人:陈贤能 地址:西安电子科技大学

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