PDF《大流量,手动 气体 调 压阀》

824 调压阀/过滤器 调压阀/过滤器 大流量, 手动 气体调压阀 HF 系列 结构设计紧凑, 流量达

200 std L/min 最大进口压力达

500 psig (34.

4 bar) 手动可调的出口压力达

150 psig (10.3 bar) 316L VIM-VAR 不锈钢阀体用于超高纯应用 1/4 in. VCR? 金属面密封;

1/4 in. 卡套管对焊;

1.5 in. 和1.125 in. 模块化表面安装端接 HF 系列大流量、 手动气体调压阀

825 调压阀/过滤器 直线型和 1.5 in. 模块化表面安装型 流量达

200 std L/min 可提供的出口压力范围为真空至 150?psig (10.3 bar), 配备有 四个可互换的颜色编码加载弹簧 模块化表面安装调压阀与 IGC? 兼容. 自对中提升阀芯 使蠕变减至最小 采用 PCTFE 材料以实现无泄漏关断. 窄型手柄 当系统元件与工艺管线之间空间很小时, 用此手柄更容易进行 压力调节 指尖抓紧及外表面滚花设计保证可靠操作. 技术数据 ? 进口压力每改变

100 psi 时出口压力的改变值. ? 进口压力

100 psig (6.8 bar) 和出口压力

30 psig (2.0 bar). 型号 压力额定值 psig (bar) 温度额定值 °C (°F) 供压 效应 (SPE)? 流量系数 (Cv ) 流速? std L/min 孔径 in. (mm) 内 容积 in.3 (cm3) 进口 出口 工作 灸烤 直线型和 1.5?in. 模块化表 面安装 真空至

500 (34.4) 真空至

150 (10.3) C23 至65 (C10 至150)

150 (302) 1.6 0.2

200 0.120 (3.0) 0.32 (5.2) 带VCR 端接 1.125 in.模块化 表面安装 真空至

150 (10.3) 真空至

60 (4.1)

0 至150 (32 至302)

0 至150 (32 至302) 1.5 0.1

160 0.090 (2.3) 0.172 (2.8) 1.125 in. 模块化表面安装型 用于 1.125 in. C 形和 W 形密封集成气体系统 流量达

160 std L/min 提供两种压力范围的产品: 真空至

30 psig (2.0 bar) 和真空至

60 psig (4.1 bar). 压力传感组件 采用全氟弹性体提升阀芯, 具有卓越的锁止性能. 出口压力可调 通过手柄微调调整出口压力. 可选的防篡改手柄使用户可以设定和密封出口压力. 特点 世伟洛克? (Swagelok?) HF 系列手动气 体调压阀的特点在于, 加载弹簧与独特的 压力传感组件相配合以精确控制出口压 力. 可以很方便地通过转动手柄调节出 口压力. 紧凑型大流量设计使您可以减小系统 部件和工艺管线的间隔. 创新压力传感组件采用焊接隔膜, 压力 衰减低, 在许多系统中都不必调节. 高纯设计采用连接式提升阀芯来实现 可靠关断和金属对金属的对大气密封, 同时还采用了内表面电抛光至

5 ?in. (0.13??m) Ra 的316L VIM-VAR 不锈钢阀体. 1.125 in. 模块化表 面安装型 带有卡套管对焊端 接的直线型 1.5 in. 模块化表面 安装型

826 调压阀/过滤器 调压阀/过滤器 清洁 装配与包装 工艺代号 工艺规范 润湿表面粗糙度 (Ra) 测试 采用全程监控的去离子水超声 波清洁系统进行超高纯清洁 在ISO 等级

4 工作区内操作, 调压阀在无尘室袋中进行双重 包装与真空密封. P 超高纯工艺规范 (SC?01) 机加工和电抛光的平均 值为

5 ?in. (0.13 ?m) 向内氦气泄漏测试的 泄漏率为 1??10C9 std cm3/s 非臭氧损耗化学品的 特殊清洁 在特殊清洁区域中操作, 调压阀单独包装. P1 特殊清洁与包装 (SC?11) 工艺规范 关于工艺过程, 工艺控制和工艺验证的细节请参阅世伟洛克规范特殊清洁与包装 (SC-11), MS?06?63 和 超高纯工艺规范 (SC?01), MS?06?61. 结构材料 与介质接触元件用斜体表示. ? 最低允许延伸率 20?%. 元件 直线型和 1.5 in. 模块化 表面安装型 1.125 in. 模块化 表面安装型 材料等级 / ASTM 规范