PDF《RC2000 Series》

a b 型号表示方法 c d 接管口径 a Rc1/4 Rc3/8 Rc1/2 订单生产

8 10

15 RC2000

8 LN P90 GY49B3E1 机种型号 净化规格 禁油处理规格 净化规格 d 处理 使用不锈钢材料 禁油处理 P90 选择项 注1 b 0.

05 0.7MPa 0.02 0.2MPa 溢流型 无溢流型 无符号 L 无符号 N 压力范围 注2 溢流机构 附件(附加) 注1

3 c 不带附件 压力表 G49D-6- -P94 压力表 G49D-6- -P90 L型支撑件 接头(排气处理用) 无符号 GY49 GZ49 B3 E1 注1 选择多个选择项・附件时,型号符号请按从上到下的顺序记载. 选择项、附件无符号时,请去掉"-". 例RC2000-8-P90 注2 在压力范围中,选择"无符号"时,压力表为1.0MPa用(压力表型号 G49D-6-P10-P9 在压力范围中,选择"L"时, 压力表为0.2MPa用(压力表型号 G49D-6-P02-P9 注3 产品中附加2个管道螺塞 R1/8 但是,在附件中选择压力表时,附加1个. 注1 标准使用,设定压力在0.4MPa以下使用时,请使一次侧压力对于设定压力的压力差保持在0.5MPa以内. 另外,低压使用,请使一次侧压力对于设定压力的压力差保持在0.3MPa以内. 使用流体 最高使用压力 MPa 保证耐压力 MPa 使用温度范围 设定压力范围 MPa 接管口径 IN OUT 压力表接管口径 产品质量 kg 金属 连接气体部分材质 树脂 橡胶 组装・检查・安装 洗净(连接气体部分) 规格 项目 RC2000-8-P90 RC2000-10-P90 RC2000-15-P90 压缩空气 N2 1.0 低压用为0.5 1.5

5 60 标准 0.05 0.7 注1 低压 0.02 0.2 Rc3/8 Rc1/8 0.45 SUS316 PTFE FKM 在净化室内一条线生产 精密洗净 Rc1/4 Rc1/2 0.47 0.59 概要特长RC2000系列采用禁油规格、不锈钢本体,最适合半导体制造装置、 液晶制造装置总净化空气、N2的压力控制.另外,紧凑型・大流 量适合空气 N2 吹气. 禁油规格 进行精密洗净(连接气体部分),在净化室中从组装到包装进行一 条线生产.另外,连接气体部分没有使用润滑油脂. 紧凑型・大流量 面之跨距为50mm的紧凑型尺寸,但是实现了0.8m3 /min的大流量. 为一次压0.7MPa 设定压力0.5MPa 压力降0.1MPa时的流量 带可逆流机构(没有背压时) 排放一次侧压力,二次侧压力具有向一次侧排放的可逆流机能. 二次侧没有残留压力,是重视安全性的产品.

556 JIS符号 净化减压阀 RC2000 Series 接管口径:Rc1/

4、R3/

8、R1/2 RC2000-8-P90 RC2000-10-P90的IN侧装备网眼过滤器 内部构造及部件清单 流量特性 RC2000-8-P90 RC2000-15-P90 RC2000-10-P90 一次侧压力0.7MPa

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7

0 0.5

1 1.5

2 空气流量 m3 /min ANR 一次侧压力0.7MPa

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7

0 0.5

1 1.5

2 空气流量 m3 /min ANR 二次侧压力MPa 一次侧压力0.7MPa

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7

0 0.5

1 1.5

2 空气流量 m3 /min ANR 二次侧压力MPa 二次侧压力MPa 压力特性 流量特性 低压 RC2000- -L-P90 空气流量 m3 /min ANR 二次侧压力MPa 二次侧压力MPa 二次侧压力 25l/min 设定压力0.2MPa

0 0.1 0.2 0.3

0 0.2 0.4 0.6 0.8

1 0 0.1 0.2 0.3

0 0.2 0.4 0.6 0.8

1 一次侧压力 MPa 设定点 一次侧压力0.3MPa IN OUT 编号

1 2

3 4

5 6

7 8

9 10

11 12

13 14 部件名称 外壳 压力调节螺钉组件 弹簧 膜片 阀门 O形圈 板 螺钉 旋钮 安装螺母 本体 底部阀帽 底部橡胶 弹簧 材质(处理) PA66 钢SUS FKM POM 钢SUS316 FKM SUS303 SUS316 FKM FKM SUS304 钢 镀镍 POM 压锌铸件(镀镍) SUS316 FKM PTFE SUS316 FKM SUS316

3 4

5 6

7 1