PDF《安装指南》

10 用雷尼绍栅尺擦拭布 (A-9523-4040) 或干净、干燥的无绒布清洁栅尺.

11 安装端部盖条(请参阅 端部盖条 部分).

12 在安装参考零位磁体或限位磁体之前,将栅尺静置24小时以便粘牢. M2.5安装孔 起点

8 缓慢、平稳地移动安装工具,使其通过整个运动轴,确保手动将背纸从栅尺中拉出,且不会碰到 安装工具下方. 栅尺安装方向 栅尺 分离螺丝 背纸 起点 参考零位和限位开关磁励体安装 可提供螺钉安装式或粘贴安装式参考零位和限位开关磁励体. 请参阅RGH25F读数头安装图和RGS20栅尺安装图,了解磁励体的定位方法.

7 RGH25F RGS20安装指南 为了可靠运行,读数头沿整个轴行程移动时,LED安装指示灯应 至少为绿色,理想状态应为蓝色或紫色. 读数头安装和调整 系统描述 RGH25F光栅系统包含标准形式或UHV兼容形式的通用型读数头,与接口连接后,可提供符合行 业标准的精确输出信号.REF接口有10种型号,可提供5 μm至5 nm的数字分辨率,以及一个模拟型 号,可提供1 Vpp的输出信号.数字REF接口具有各种不同的时钟输出,每种接口选项均有不同的最高 速度和最低客户计数器时钟频率,范围从1至50 MHz. 安装支架 支架须具备以下特征:安装面平整;

确保符合安装公差的要求;

允许调整读数头间隙;

具有足够的 刚性,防止在操作过程中读数头偏离或振动.为便于RGH25F的安装,在安装前,须调整支架相对于读 数头行程轴的滚摆和扭摆.可使用千分表和精密直角尺进行调整. 读数头安装 要设定标称间隙,应将带 L 型孔的读数头隔离片放置到读数头光学窗口中心的正下方,确保在 安装过程中LED指示灯正常工作.必须保持栅尺、读数头光学窗口和安装面清洁,无障碍物. 注:确保读数头固定螺钉紧固至0.5 Nm至0.7 Nm. 绿色 橙色 红色 蓝色 紫色 扭摆 0° ± 0.5° 俯仰 0° ± 1° 滚摆 0° ± 1° 间隙 0.8 ± 0.1 mm LED安装指示灯颜色 (除参考零位位置外). REF接口特性 自调节主动修正 REF接口主动修正输入信号的瑕疵,从而提高系统精度. 主要进行以下修正: 自动偏置控制 (AOC) - 分别调整正弦和余弦信号的偏移量 自动增益控制 (AGC) - 确保信号幅值一致,即1 Vpp 自动平衡控制 (ABC) - 调整增益量,保持正弦和余弦信号相等 这些修正机制在读数头整个工作速度范围内进行修正.用户可通过按下CALIBRATE(校准)按钮3秒以上禁用/启用AGC. REF接口LED指示灯状态诊断 REF接口的LED安装指示灯可对信号强度、错误状态和参考零位相位提供直观反馈,用于 安装和诊断用途. LED指示灯 指示 状态 报警输出* 安装 增量 紫灯闪烁 高信号电平报警条件;

信号电平>

135% 是 紫灯 正常安装;

信号电平110%至135% 否 蓝灯 最佳安装;

信号电平90%至110% 否 绿灯 正常安装;

信号电平70%至90% 否 橙灯 低信号电平;

信号电平>

50%且20%且........